説明

カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハーにより出願された特許

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【課題】レーザスキャナを操作する方法であって、より短時間で且つ/又は高精度でレーザスキャナに対する開口等の特定の検出断面の位置を決定する。
【解決手段】レーザスキャナを用いて走査経路に沿ってレーザビーム17を走査し、検出断面に入射するレーザビーム17のレーザ光により生じる光強度を検出するステップと、検出された光強度に基づきレーザスキャナに対する検出断面の位置を決定するステップとを含み、走査経路は、検出断面を含む平面内に第1部分経路223及び第2部分経路225を含み、第1部分経路223及び第2部分経路225は、検出断面を含む平面内の検出断面の直径とレーザビーム17の直径とを足したものよりも短い距離であり、また検出断面を含む平面内のレーザビーム17の直径の0.3倍よりも大きいか又は検出断面の直径の0.3倍よりも大きい距離だけ相互に離れて、相互に隣接して延在する方法。 (もっと読む)


【課題】荷電粒子線装置の高電圧変動を測定する簡単な構造の測定装置を備える高圧電源ユニットを提供する。
【解決手段】高圧電源ユニット100は、高電圧を供給する少なくとも一つの高電圧ケーブル101及び高電圧を測定する測定装置105を備え、測定装置105はケーブルの長手軸線に沿って延在する内部導体と絶縁体及びシールドより形成されるの少なくとも一つの第1のキャパシタ108を有し、第1のキャパシタ108のシールド電圧を測定装置105により測定する。 (もっと読む)


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