細くて長い管腔、可撓性もしくは剛性を有する誘電性の管、筒体、または別の中空体（以下では管と呼ぶ）内で、減圧、常圧、または過圧範囲内で物理的にプラズマを発生させる装置及び方法であって、これらの管の内壁またはプロセス媒体自体の洗浄、活性化、コーティング、修飾、及び生物学的浄化（殺菌、消毒、滅菌）のために、ガスもしくはガス混合物、１つもしくは複数の流体、気泡を含む流体、流体とガスの混合物、エアロゾル、及び／または泡（以下ではプロセス媒体と呼ぶ）で部分的にまたは完全に管を満たすか、またはそれらを管に流すことを特徴とする。この装置は、高圧供給機構と、プロセス媒体供給機構と、少なくとも１つの導電性接地電極と、少なくとも１つの導電性高圧電極とを含み、どちらの電極も管の壁内に埋め込まれている。 （もっと読む）