【課題】アーキングへの感度が増加されないが積載量の調和（ｌｏａｄ ｍａｔｃｈｉｎｇ）が改善されているところの、プレアンブルに従う装置を提供する。
【解決手段】主に円筒状である共鳴体２を備えているプラズマ化学蒸着法を行うための装置であって、該共鳴体は、円筒軸Ｃに関して実質的に回転対称な形状を有する共鳴空洞５を取り囲む、外側円筒状壁４を備えており、該共鳴体は向き合う円筒軸方向において共鳴空洞の境界を定める複数の側壁部分をさらに備えている該装置において、該装置は、該外側円筒状壁を通って共鳴空洞へと延在している端を有するマイクロ波のガイド３をさらに備えており、かつ円筒方向における共鳴空洞の長さは円筒軸までの半径方向の距離の関数として変化する。 （もっと読む）