サンユー電子株式会社により出願された特許

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【目的】本発明は、電子銃あるいは試料から放出あるいは反射されたスピン偏極した電子線を任意の方向に回転させるスピン偏極装置に関し、簡略な構造にして照射系全体をコンパクトにすることを目的とする。
【構成】電子銃から放出、あるいは試料から放出または反射されたスピン偏極した電子線をフォーカスさせる第1のコンデンサレンズと、第1のコンデンサレンズで電子線がフォーカスされた点がレンズ中心であって、かつ電場および磁場を発生可能な多極子を有するスピン回転器と、スピン回転器を構成する多極子に、指定された角度だけ電子線のスピンを回転させかつ電子線を直進させるウィーン条件を満たす電圧および電流を印加するウィーン条件発生手段と、スピン回転器でスピンの回転された電子線をフォーカスする第2のコンデンサレンズとを備える。 (もっと読む)


【目的】本発明は、蓋付ハースライナーおよび蓋付ハースライナーを用いた蒸着方法に関し、簡単な構成で材料の突沸を防止し、材料がチャンバー内の広範囲に蒸着することを制限し、電子ビーム量を制御して温度制御して所望の蒸発速度にしたりすることを目的とする。
【構成】蒸着する対象の材料を入れる凹形状のハースライナーと、ハースライナーの上部に配置し、かつ1つ以上の孔を設けた蓋とを備え、ハースライナーの内部に材料を入れて蓋を載せて閉めた状態で、電子ビームを蓋の部分に照射して蓋を電子ビーム加熱し、加熱された蓋の熱によりハースライナーの内部の材料を間接加熱して蓋の1つ以上の孔から噴出させる蓋付ハースライナーである。 (もっと読む)


【課題】 イオンビームを試料に照射してミリングを行う際、試料におけるイオンビームの照射面を直接冷却することができるイオンミリング装置とイオンミリング方法とを提供する。
【解決手段】試料Sが設置される試料台1と、試料Sに照射するイオンビームを発生させるイオン源2と、試料台1の収納空間を所定の真空に保持する試料チャンバ3と、試料Sを冷却するための気体冷媒を試料チャンバ3内に供給する冷媒供給手段5とを備えるイオンミリング装置である。気体冷媒を試料チャンバ内に供給することで、試料Sにおけるイオンビームの照射面を直接気体冷媒で冷却することができる。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、イオン化スパッタ真空ポンプに関し、超高真空域から熱電子を導入して極高真空域での排気速度の低減を最小にすることを目的とする。
【解決手段】2n個(n=1.2.3・・・)の平板マグネトロン型イオンポンプ素子を対向して配置し、その中間部分に配置した高周波コイルに高周波電力を供給して発生させた高周波電界によるイオンおよび電子の衝突確率を向上および誘電体のイオン化促進すると共に、その中間部分に円筒陽極を設けこれを臨む周辺に配置した熱電子供給源から熱電子を供給して超高・極超真空域における放電を継続させたイオン化スパッタ真空ポンプ。 (もっと読む)


【目的】本発明は、顕微鏡用の試料台・試料ホルダ・試料ステージに関し、試料を固定した試料台を簡単な作業で固定して動かないようにして拡大された画像を表示させることを目的とする。
【構成】側面にピンセットで保持するための少なくとも2つの穴を設けた試料台と、試料台を挿入する穴、カット面、スプリング、および側面に2つの穴を設けた試料ホルダと、試料ホルダを挿入する穴、カット面、およびスプリングを設けた試料ステージとから構成される顕微鏡用の試料台・試料ホルダ・試料ステージである。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、走査型高精細画像処理装置に関し、走査型顕微鏡で数万画素×数万画素という極めて高精細の走査画像を直接に印刷して観察することを実現すると共に必要な部分を抽出して表示して観察することも併せて実現することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子を走査する走査手段と、高精細走査される試料上の領域中の指定された場所あるいは予め設定された場所について、焦点および非点の調整を行うために表示装置に表示可能な500画素×500画素から1800画素×1800画素までの表示用の第1の走査信号を走査手段に入力して第1の走査をさせる、あるいは高精細走査させるための第2の走査信号を走査手段に入力して第2の走査をさせる走査信号切替手段と、検出手段によって検出された信号が第1の走査による信号の場合には表示装置上に表示させ、一方、第2の走査による信号の場合には画像蓄積手段に蓄積させる制御手段と
を備える。 (もっと読む)


【目的】本発明は、電子顕微鏡による観察状態にある試料の引張を行う引張装置に関し、試料室内で回転、傾斜、移動して、引張状態の試料上の任意の場所、角度などの画像を容易に撮影することを目的とする。
【構成】引張対象の試料を固定すると共に試料を引張する引張機構と、引張機構と直交あるいは平行に、引張機構に接続して電気駆動可能な駆動源とを配置して固定したベースを備え、電子顕微鏡の試料室の側面に設けた交換棒あるいは交換機構で、電子顕微鏡の試料室内に設けたXY方向に移動可能なステージ上に固定されているベースを取り外して予備排気室に移動させたり、あるいは予備排気室内のベースを移動してステージ上に固定する。 (もっと読む)


【課題】直径100μm以下の微小領域において、溶接、融合、焼鈍などの熱処理を行うことができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】タングステンフィラメントからなる電子源1と、ポールピース3を有する集束レンズ2と、対物レンズ6とを備えた電子線照射装置において、ポールピース3の上部ポールピース31における上部通過孔31a、下部通過孔33aの直径を4mm以上として、電子線の電流値を高める。被照射体に照射される電子線の電流値を、直径100μm以下の照射領域において1nA以上とすることによって、100μm以下の微小な領域において、溶接、融合、焼鈍などの熱処理を行うことができる。 (もっと読む)


【目的】本発明は、集束した電子線ビームを試料に照射しつつ平面走査して放出された2次電子を検出して画像を生成する画像生成方法および画像生成装置に関し、試料中の穴の部分を裏面に開口させて当該裏面から2次電子を引き出し、2次電子を収集して画像を生成し、試料中の穴の内部の鮮明な画像を生成することを目的とする。
【構成】 電子線ビームを試料の表面に照射しつつ平面走査したときに試料に対して表方向に放出された2次電子を収集して検出、および電子線ビームを試料中の貫通する穴に照射しつ平面走査したときに試料に対して裏方向に放出された2次電子を検出する2次電子検出器を設け、電子線ビームで試料中の穴のある部分を照射しつつ平面走査して試料の穴の表方向および裏方向に放出された2次電子を2次電子検出器によって検出するステップと、2次電子検出器によって検出した2次電子信号をもとに穴の画像を生成するステップとを有する。 (もっと読む)


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