カプセル内の圧力が予め決定された値にあるか、或いはその値以上であるかを決定する方法を提供する。テストされるべきカプセルは、カプセルの口からのガス漏れを防止する一時的なシールとして作用する可動シール部材を有するタイプのものである。カプセルは、プレナムに連結され、プレナムの圧力は、引き続いて高められる。カプセルがこの高圧にさらされるとき、プレナム内の圧力は監視される。監視された圧力から、高圧力下でシール部材がカプセルと密封接触しているかを決定することができる。これは、カプセル内の圧力が予め決定された値以上であるかを示す。
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本体（４２）と脆弱なステム（４４）を有するカプセル（４０）から送出装置までガスを放出するためのガスディスペンサー（１０）を提供する。ガスディスペンサーは、カプセルの本体を収容するための第１ハウジング部分（１５）と、第１ハウジング部分を送出装置に連結するための第２ハウジング部分（２０）とを有する。第１ハウジング部分は、第２ハウジング部分によって収容されたカプセルのステムを収容するためのキャビティ（４７）を有する。少なくとも１つのハウジング部分が、互いに可動であり、この相対的な動きにより、カプセルに作用するせん断力が生じ、カプセルが破裂してカプセルからガスが放出される。 （もっと読む）

真空ポンプのプラスチック構成要素にコーティングを形成する方法は、金属層を構成要素につける工程と、金属層を電解プラズマ酸化することによって金属層からコーティングを形成する工程とを含む。
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真空ポンプ（５０）が、ポンプ排出装置と、ポンプ排出装置を駆動するシャフト（１０）と、シャフト（１０）を回転させるモータ（６０）と、シャフト（１０）を回転可能に支持する支承装置とを有し、支承装置は、シャフト（１０）の第１の部分を支持する転がり軸受（１２）と、スラスト軸受（３０）とを有する。スラスト軸受（３０）は、複数の転がり要素（３６）が転がり軸受（１２）の外レース（１８）及びスラスト軸受（３０）のレース（３４）と支承接触状態に維持されるようこれら転がり要素（３６）を収容する。このようにして、転がり軸受（１２）の半径方向運動を許容しながら転がり軸受（１２）の軸方向運動に抵抗することができる。
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真空ポンプに用いられる静止用シール装置の保護のためのシール組立体。シール組立体は、互いに密封的に連結される少なくとも２つの部品と、これら２つの部品相互間に係合してこれら２つの部品相互間におけるポンプへの流体の出入りを阻止するＯリングシールと、流体チャネルとを有する。流体チャネルは、Ｏリングシールの平面内に位置し、Ｏリングシールとプロセスガス流路との間に設けられている。流体チャネルは、装置の使用中にバリヤガスを送る経路となる。チャネルは、バリヤガスの外部源に連結可能であり、ポンプの押退け容積部と流体連通している出口を有する。
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【課題】マイクロ波プラズマを信頼性高く起動できるようにすること。
【解決手段】半導体製造プロセスツールからの排ガス流を処理するための装置が開示されている。この装置は不活性のイオン化可能なガスからグロー放電を発生させるためのプラズマトーチを含み、ガス流はプラズマを点弧するためのガス放電へ送られる。プラズマを持続させるよう、排ガス流に電磁波ソースによって電磁波が印加される。この装置は特に排ガス流内の過フッ素化化合物およびハイドロフルオロカーボン化合物を処理するのに特に適す。
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移動するサンプルの質量を決定する方法が記載され、該方法では、サンプルを、制御された速度で質量呼掛帯域および温度呼掛帯域の中に移動させ、該温度呼掛帯域は質量呼掛帯域より上流あるいは下流であってもよい。磁気共鳴法を用いて、第１の信号を、サンプルが質量呼掛帯域を通るときに発生させ、第１の信号は、サンプルの質量およびサンプルの温度で変化する特性を有する。テラヘルツ周波数あるいは近赤外線波長の電磁放射のビームを発生させ、且つ温度呼掛帯域の中に差し向ける。サンプルが温度呼掛帯域の中を移動すると、サンプルから反射された、あるいはサンプルを透過した電磁放射が検出され、その検出された電磁放射から、サンプルの温度で変化する特性を有する第２の信号を発生させる。第１の信号の特性を、第２の信号を用いて調整して、温度補償された特性を生じさせ、該特性を、既知の質量の同様のサンプルから得られた同様の特性と比較して、サンプルの質量を決定する。 （もっと読む）

【課題】ガス流から希ガスを回収する方法及びそのための機器を提供する。
【解決手段】１つが希ガスであり、他が典型的にヘリウム及び／又は窒素、アルゴン、及び比較的軽質のフッ化炭素である複数の成分を含む第１のガス混合物からキセノン又はクリプトンのような希ガスを回収する方法。ガス混合物は、ガス混合物の他の成分から希ガスを分離するためにガスクロマトグラフィーカラムまで最初に運ばれる。希ガスは、カラムを通って比較的ゆっくり進むので、他の成分は、比較的遅い希ガスの前にカラムから排出される。これらの他の成分の排出に続いて、搬送ガスがカラムに供給されてそこから希ガスを追い出す。希ガス及び搬送ガスを含む排出ガスは、再利用のためにカラムに再循環して戻すことができる希ガスリッチなガス流及びパージガスリッチなガス流に第２のガス混合物を分離する膜分離器までカラムから運ばれる。希ガスリッチなガス流は、次に、その再利用の前に浄化される。 （もっと読む）

ガス状化学廃棄物の処理方法が提供される。ガススクラビングユニット及びイオン吸収ユニットを組み込んだ本質的に閉鎖状態のループ中へ水を連続的に循環させる。イオン吸着ユニットは、透水性イオン吸着手段を有する。次に、排ガス又はその反応生成物を循環水中への溶解のためにガススクラビングユニットに送り、それにより排ガスから取り出されたイオン種を含む水溶液を生じさせる。循環水を連続的にイオン吸着ユニット内のイオン吸着手段に接触させる一方で電位差をイオン吸着手段の厚さを横切って印加する。次いで、濃縮されたイオン種の水溶液をイオン吸着手段から取り出す。イオン吸着ユニットから取り出したイオン種の水溶液の量に相当する量の水を閉鎖ループに連続的に添加する。
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ガスカプセルが、中空本体部分（１）と、充填オリフィス（３Ａ）を備えたステム（２）付きのキャップ（２）とを有する。本体部分（１）とキャップ（２）の組立てに先立って、ストッパ部材（４）が、カプセル内にルーズに挿入する。カプセルにガスを充填する際、カプセルのオリフィス（３Ａ）のところでのガス圧力の放出に先立って、ストッパ部材をカプセルの本体内に配置し、そして例えば、カプセルを逆さまにしてストッパ部材が重力の作用でカプセル（１）の本体と充填オリフィス（３Ａ）との間の位置に落下するようにすることによってカプセルからのガスの経路を遮断するようストッパ部材を移動させる。次に、ガス圧力を放出してストッパ部材（４）がガスの圧力を受けてステム（３）内へ押し込められてオリフィス（３Ａ）を閉鎖するガス密シールを形成する。次に、オリフィス（３Ａ）を溶接すると永続的なクロージャを形成することができる。
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