【課題】 ＣＺ法操業で発生する変形や破損を防止した耐久性に優れた長寿命の黒鉛ルツボとその製造方法を提供すること。
【解決手段】 ３点曲げ強度で４０ＭＰａ以上、水銀圧入法により測定される平均気孔径が３．５〜７．５μｍで、且つ常温における窒素ガスのガス透過率で１．０〜２．５ｃｅｎｔｉｄａｒｃｙｓであって、１６８０℃における塑性降伏応力が４ＭＰａ以下であり、且つ表面炭化珪素化に伴う反りが０．４ｍｍ以下である黒鉛ルツボ素材で形成されていることを特徴とするシリコン単結晶製造用黒鉛ルツボの製造方法。 （もっと読む）