説明

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.により出願された特許

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【課題】金属の無電解めっきの触媒として使用される、安定で、コスト効果的な金属ナノ粒子を提供する。
【解決手段】一般式:


(式中、R1は非置換(C14〜C30)アルキルであり、R2およびR3は同じかまたは異なっており、非置換(C1〜C6)アルキルである)を有するアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む組成物で、金属ナノ粒子が、銀、金、白金、インジウム、ルビジウム、ルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウム、銅、コバルト、ニッケルおよび鉄から選択される。 (もっと読む)


【課題】ネガティブトーン現像によるフォトリソグラフィパターン形成に有用なフォトレジスト組成物の提供、及び、ネガティブトーン現像プロセスによってフォトリソグラフィパターンを形成する方法、並びに当該フォトレジスト組成物でコーティングされた基体の提供。
【解決手段】下記一般式(I)の酸感受性である第1のポリマー;


光酸発生剤;並びに溶媒:を含むフォトレジスト組成物。当該組成物、方法およびコーティングされた基体は半導体デバイスの製造に特に適用可能である。 (もっと読む)


【課題】新規の光酸発生剤化合物(PAG)およびこのPAG化合物を含むフォトレジスト組成物の提供。
【解決手段】ラクタム、アミドまたはイミドのような構造−C(=O)N<の窒素ベースの官能性成分を含む新規のイオン性光酸発生剤化合物。特に好ましい光酸発生剤はアニオン成分がラクタム、アミドまたはイミドのような構造−C(=O)N<の部分を含む塩である。また、1種以上の本発明のPAGを含むフォトレジスト組成物も提供される。 (もっと読む)


【課題】セレン/第3a族半導体を組み込むシステムの製造において使用するためのセレン/第3a族インクを提供する。
【解決手段】a)セレン/第3a族錯体と(b)液体キャリアとを含む、セレン/第3a族インクであって;前記セレン/第3a族錯体は、セレンを含むセレン成分;RZ−Z’R’およびR2−SHから選択される式を有する有機カルコゲナイド成分(ZおよびZ’はそれぞれ独立して硫黄、セレンおよびテルルから選択され;R,R’,R2はH、C1−20アルキル基、C6−20アリール基、C1−20ヒドロキシアルキル基、アリールエーテル基およびアルキルエーテル基から選択される);並びに多座配位子と錯体形成したアルミニウム、インジウム、ガリウムおよびタリウムから選択される少なくとも1種の第3a族物質を含む第3a族錯体:の組み合わせを当初成分として含み;セレン/第3a族錯体が液体キャリア中に安定に分散されている。 (もっと読む)



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【課題】セレン/第3a族半導体を組み込むシステムの製造において使用するセレン/第3a族インクの堆積を容易にするインクを提供する。
【解決手段】(a)セレンを含むセレン成分;式R−COOH(式中、RはC1−10アルキル、C1−10ハロアルキルおよびC1−10メルカプトアルキルから選択される)を有するカルボン酸成分;多座配位子と錯体形成したアルミニウム、インジウム、ガリウムおよびタリウムから選択される少なくとも1種の第3a族物質を含む第3a族錯体:の組み合わせを当初成分として含むセレン/第3a族錯体;並びに(b)液体キャリア:を含み、セレン/第3a族錯体が液体キャリア中に安定に分散されている、セレン/第3a族インク。 (もっと読む)


【課題】光酸発生剤化合物(PAG)の合成のための新規の方法、新規の光酸発生剤化合物およびこのPAGを含むフォトレジスト組成物が提供する。
【解決手段】1)SO部分;2)1個以上のフッ素化炭素;および3)エステルケト基によって直接的にまたは非直接的に置換されている1個以上のフッ素化炭素を含む、新規な光酸発生剤化合物。好ましくは、下記式(I)の構造を含む光酸発生剤化合物。


(Rは水素、または非水素置換基であり;XおよびYはそれぞれ独立して水素もしくは非水素置換基であり;pは0もしくは正の整数であり;mは正の整数であり;M+は対イオンである。) (もっと読む)


【課題】サブミクロン寸法の高解像の像を提供することができる新たなフォトレジストの提供。
【解決手段】複数のヒドロキシル部分を含む新規の窒素含有化合物、およびこの窒素含有化合物を含むフォトレジスト組成物。好ましい窒素含有化合物は複数(すなわち2以上)のヒドロキシル置換基、および1以上の光酸不安定基を含む。 (もっと読む)



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