説明

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.により出願された特許

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【課題】サブクオーターミクロン(<0.25μm)寸法の高解像の像を提供できる新規のフォトレジスト組成物の提供。
【解決手段】光酸不安定基を有する樹脂;光酸発生剤化合物;およびフォトレジストコーティング層の未露光領域への望まれない光発生酸拡散を低減させる様に機能しうるマルチアミド成分;を含むフォトレジスト組成物。 (もっと読む)




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