【課題】デバイス性能および寿命が向上した二層デバイスを提供する。
【解決手段】ポリチエノチオフェンおよびコロイド形成性ポリマー酸の水性ディスパージョンを含む組成物が提供される。本発明の組成物から得られる膜は、例えば有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）ディスプレイ等のエレクトロルミネッセンスデバイスを含む有機エレクトロニクスデバイスにおける正孔注入層として、有機光電デバイス等の有機オプトエレクトロニクスデバイスにおける正孔引抜き層として、金属ナノワイヤーまたはカーボンナノチューブと組み合わせて薄膜電界効果トランジスタにおけるドレイン、ソースまたはゲート電極等の用途に有用である。 （もっと読む）

【課題】化学薬品前駆体の高流速または高真空下もしくは高差圧条件下での流動を可能にする一方で、高水準なスプラッシュガードの機能を与える。
【解決手段】本発明は、浸漬管入口；該浸漬管の出口および該容器の排出口の間に配置され、該邪魔円盤および該容器の該側壁の間に狭い環状の間隙を与え、液滴が該容器の該排出口および該容器の側壁の内側表面に入ることを防止する少なくとも１つの邪魔円盤、ならびに該邪魔円盤の近傍の該側壁上に半径方向の内側に張り出した環状の偏向突起を有する容器である。また、本発明は上記の構造を有する容器から化学薬品前駆体を供給する方法である。液体および蒸気供給の両方が想定されている。 （もっと読む）

【課題】金属窒化ケイ素ベース膜、金属酸化ケイ素又は金属酸窒化ケイ素ベース膜を形成させるために好適な前駆体の提供。
【解決手段】次の構造により表される有機金属錯体。


（式中、Ｍは、元素周期表の４族から選択される金属）。上記錯体を用いるＣＶＤ及びＡＬＤ堆積法がまた、含まれる。 （もっと読む）

【課題】ケイ素を含む誘電体膜を形成する方法を提供すること。
【解決手段】ここに記載されるのは、低いウェットエッチ耐性、６．０以下の誘電率、及び／又は高温急速熱アニールプロセス耐性、といった特性のうちの少なくとも１つを示す、酸化ケイ素、酸炭化ケイ素、炭化ケイ素及びこれらの組み合わせなどの、とは言えこれらに限定はされない、ケイ素を含む誘電体膜を形成する方法である。同様にここに開示されるのは、例えば半導体ウェーハなどの処理すべき対象物上に誘電体膜又は被覆を形成するための方法である。 （もっと読む）

基板表面上に薄膜を堆積するための化学気相成長(CVD)法が記載されている。当該CVD法は、処理チャンバ内の基板ホルダ上に基板を設ける工程、及び、化学前駆体を有する処理気体を前記処理チャンバに導入する工程を有する。前記処理気体は、前記基板ホルダとは別個の非電離熱源に曝されることで、前記化学前駆体の分解を引き起こす。薄膜が前記基板上に堆積される。
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【課題】改良されたガス輸送装置を提供する。
【解決手段】ガス供給源を含むベッセル、始端と、使用のポイントへのガスの輸送に適合した終端とを有するピグテール導管、第一端と、ボディーセクションと、第二端とを有するサージチャンバーであって、前記第一端は前記ピグテール導管の始端と連絡されており、前記サージチャンバーの前記ボディーセクションは前記ピグテール導管の断面よりも大きい断面を有し、第二端は前記ガス供給源を含む前記ベッセルと連絡されている、サージチャンバー、前記ピグテール導管内で、前記終端からガス供給源を含むベッセルに向かう方向へのパージガスの輸送のためのパージガス供給源であって、前記パージガスでの前記ピグテールの加圧の交互サイクルの間に用いられるパージガス供給源、及び、前記ピグテール内に保持された不純物ガスの除去を可能にする、前記ピグテール導管内の脱圧源を含む、ガスを輸送するための装置。 （もっと読む）

【課題】第２族金属含有多座β−ケトイミネートの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｒ^７ＯＨおよび（ＯＨ）_ｎＲ^８（式中、Ｒ^７およびＲ^８は、アルキル基およびアリール基から独立して選択される。）から成る群から選択された少なくとも１種を含むアルコールと、三座ケトイミン配位子とを含む反応混合物中でＭ（Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、およびＢａから成る群から選択される金属）を反応させることを含む、第２族金属含有多座β−ケトイミネートの製造方法。ある態様において、この反応混合物は、有機溶媒をさらに含む。 （もっと読む）

【課題】硬化可能なエポキシド系組成物の提供。
【解決手段】エポキシド及び硬化剤の組み合わせを含み、エポキシドがフェニルグリシジルエーテル系ポリエポキシドから選択され、硬化剤がＮ−アルカノールピペリジン及びカルボン酸からなる塩化合物であるエポキシド系組成物。 （もっと読む）

【課題】吸着材を用いて反応物ガスと製品ガスを含むガス混合物から製品ガスを分離する方法において、流出する製品ガス濃度の変動をより抑制する方法を提供する。
【解決手段】並列に接続された少なくとも３つの吸着剤容器Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３を使用した吸着サイクルを用いて反応物ガスと製品ガスを含むガス混合物から製品ガスを分離する方法において、一つの吸着剤容器に吸着させた製品ガスを回収するスイープ段階の時間が、他の一つの吸着剤容器におけるスイープ段階の時間と一部重複して実行されるように吸着サイクルを設定することにより、製品ガスの濃度変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】放電によるオゾン発生器と吸着による分離および酸素の回収、リサイクルを備えるオゾン発生システムにおいて、ＮＯxなどの望ましくない副生物を生じさせずに、効率よくオゾンを製造する方法と装置を提供する。
【解決手段】オゾン発生器へ導入される酸素流に添加物質としてヘリウムを導入し、発生器の流出物を吸着プロセスへ導く。オゾンの発生及び回収プロセスを維持するのに必要とされる補給ヘリウムと酸素の量を減らすようにされる改良ＰＳＡサイクル。 （もっと読む）