【課題】過渡期間中において、プロセス流れを排気することなく、多段コンプレッサを用いて低温流体を圧縮する装置及び方法が提供される。
【解決手段】第一冷却剤ループ内の冷却剤は、圧縮段の冷却ジャケット及び／又は段間熱交換器を冷却し、予圧縮熱交換器を加温する。第一熱交換器内の冷却剤の温度は、周囲空気熱交換によって加減される。プロセス流体は、プロセス流体の温度が温度基準より高い場合、各圧縮段後に段間熱交換器の一つによって選択的に冷却される。 （もっと読む）

【課題】往復ポンプ組立体を提供する。
【解決手段】本発明は、ポンプのピストン・パッキンシール部材を加熱するために、極低温往復ポンプの中間ディスタンス・ピースのノーズ内に加熱エレメントを設けることを教示する。加熱エレメントは、ピストン・パッキンシール部材の温度を高めてポンプの作業中に生じるシール部材の変形を制限する。加えて、高温の乾燥した蒸気パージを中間ディスタンス・ピースの内部に施して、霜がピストン・パッキンシール部材を妨害するのを軽減又は排除することができる。 （もっと読む）

【課題】前駆体及び膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】Ｘ_mＲ¹_nＨ_pＳｉ（ＮＲ²Ｒ³）_4-m-n-pの式Ｉを有し、式中、ＸはＣｌ、Ｂｒ、Ｉから選択され；Ｒ¹は直鎖又は分岐Ｃ₁−Ｃ₁₀アルキル基、Ｃ₂−Ｃ₁₂アルケニル基、Ｃ₂−Ｃ₁₂アルキニル基、Ｃ₄−Ｃ₁₀環状アルキル及びＣ₆−Ｃ₁₀アリール基から選択され；Ｒ²は直鎖又は分岐Ｃ₁−Ｃ₁₀アルキル、Ｃ₃−Ｃ₁₂アルケニル基、Ｃ₃−Ｃ₁₂アルキニル基、Ｃ₄−Ｃ₁₀環状アルキル基及びＣ₆−Ｃ₁₀アリール基から選択され；Ｒ³は分岐Ｃ₃−Ｃ₁₀アルキル基、Ｃ₃−Ｃ₁₂アルケニル基、Ｃ₃−Ｃ₁₂アルキニル基、Ｃ₄−Ｃ₁₀環状アルキル基及びＣ₆−Ｃ₁₀アリール基から選択され；ｍは１又は２；ｎは０、１又は２；ｐは０、１又は２；ｍ＋ｎ＋ｐは４未満であり、Ｒ²とＲ³は連結されて環を形成し又は環を形成するために連結されていない前駆体が提供される。 （もっと読む）

【課題】基板からフォトレジスト及びエッチング残渣を選択的に除去できる組成物であって、上記組成物に対して同様に露出している可能性のある金属に破壊的化学作用を及ぼさない組成物を提供することを課題とする、また、極微量の酸化シリコンを呈し、一般的に絶縁体に対するエッチング速度の低い組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、フォトレジスト及びエッチング残渣を除去するのに適切な組成物であって、ａ）少なくとも約５０重量％の、テトラフルフリルアルコール、ジアセトンアルコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール及びアルキレングリコールエーテルからなる群より選択される溶媒；ｂ）約０．００５〜約０．８重量％のフッ素ソース；ｃ）上限約４９．９重量％の水；及び、ｄ）上限約２０重量％の腐食抑制剤を含むことを特徴とする組成物を含む。また、本発明は、基板からフォトレジスト及び／又はエッチング残渣を除去する方法であって、上記の組成物と基板を接触させることを含むことを特徴とする方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】流体送出システムの複数の空気圧弁を作動させるとともに、中断しない流れの流体を供給することができるソレノイド組立体を提供する。
【解決手段】ソレノイド組立体１０は、複数のソレノイド弁２とマニホールド４とを具備しており、各ソレノイド弁２は、加圧不活性気体を供給する第１の手段に流体連通する内部圧力ポートと、非通電状態において内部アクチュエータポートに流体連通する内部逃しポートとを具備しており、マニホールド４は、各内部圧力ポートに流体連通する外部圧力ポート３と、複数のソレノイド弁２の各々に専用の外部逃しポート８とを具備しており、専用の外部逃しポート８は、ソレノイド弁２の一つが非通電にされたとき、加圧不活性気体を供給する第２の手段が外部逃しポート８に接続されて、当該のソレノイド弁２によって作動されていた空気圧弁に圧力を供給することができるように、ソレノイド弁２の内部逃しポートに流体連通する。 （もっと読む）

【課題】原子層堆積及び化学気相成長からなる群より選択されるプロセスを用いてゲルマニウム−アンチモン−テルル合金膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】原子層堆積及び化学気相成長からなる群より選択されるプロセスを用いてゲルマニウム−アンチモン−テルル合金膜を製造する方法であって、シリルアンチモン前駆体が該合金膜のためのアンチモン源として用いられる方法が提供される。新規のシリルアンチモン化合物もまた開示される。 （もっと読む）

【課題】有機シリケート（ＯＳＧ）膜内の炭素含有種の少なくとも一部分を除去すること。
【解決手段】本明細書中に記載されているのは、酸化剤等の、しかし酸化剤に限られない薬品を用いてＯＳＧ膜を処理する工程、ＯＳＧ膜紫外線を含むエネルギー源に曝す工程、またはＯＳＧ膜を薬品で処理する工程およびＯＳＧ膜をエネルギー源に曝す工程により、有機シリケート（ＯＳＧ）膜内の炭素含有種の少なくとも一部分を除去するための方法である。 （もっと読む）

【課題】塗料剤中の気泡や泡は、望ましくないクレーター、ピンホールなどの表面欠点を形成して残すことがあるので、塗料の仕上がりに対して有害である。大きい泡又は微小な泡それぞれを防止するために、脱泡剤又は脱気剤としての塗料に添加するシリコーン含有組成物を提供する。
【解決手段】水素、メチル基、アセチル基又はブチル基でキャップされたポリエーテル改質シリコーン（ＰＥＳ）を含有する組成物を開示する。このＰＥＳ含有組成物は、塗料組成物、特にエアレススプレーされる組成物において脱泡剤又は脱気剤として使用することができる。 （もっと読む）

【課題】高温セラミック膜反応装置の分野では、これらの潜在的な運転上の問題に対処しこれらを克服する新しい膜モジュール及び反応装置システム設計に対するニーズが存在する。
【解決手段】（ａ）各々反応物質ゾーン、酸化剤ゾーン、該反応物質ゾーンと該酸化剤ゾーンを分離する単数又は複数のイオン輸送膜、反応物質ガス入口領域、反応物質ガス出口領域、酸化剤ガス入口領域及び酸化剤ガス出口領域を含む２つ以上の膜酸化段；（ｂ）各々の膜酸化段対の間に配置されかつ該対の第１の段の反応物質ガス出口領域を該対の第２の段の反応物質ガス入口領域と流動連絡状態に置くように適合されている段間反応物質ガス流路；及び（ｃ）各々、任意の段間反応物質ガス流路又は段間反応物質ガスを収容する任意の膜酸化段の反応物質ゾーンと流動連絡状態にある、単数又は複数の反応物質段間フィードガスライン、を含んで成るイオン輸送膜酸化システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】乾燥ガスの供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】低い水分含有量を有する本質的に窒素を含まないガスのボンベ用内蔵式浄化装置であって、ガスから水を吸着するための分子篩３Ａ吸着材を備え、前記３Ａ吸着材が窒素に関して特に低い吸着能力を有するボンベ用内蔵式浄化装置が提供される。 （もっと読む）