説明

帝通エンヂニヤリング株式会社により出願された特許

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【課題】研磨精度を維持するために定期的に交換が必要な消耗部品点数を削減できる研磨装置を提供する。
【解決手段】ワークの端面を研磨する研磨面20aを表面に有する研磨盤20と、研磨盤20の裏面20bを所定平面に沿って移動自在に支持する支持機構30と、研磨盤20の研磨面にワークの端面が当接するようにワークを保持するワークホルダ50と、研磨盤20に円運動をさせつつ往復直線運動をさせる駆動機構70とを有する。 (もっと読む)


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