説明

八千代マイクロサイエンス株式会社により出願された特許

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【課題】両面ラップ盤用回転定盤においてキャリアの破損を防ぎつつ、効率よく研磨を実施する。
【解決手段】両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面(11)の少なくとも内側周縁(21)と外側周縁(22)に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有し、断面が矩形をなした棒状の研磨片(23)を、相互にこれら研磨片(23)の横巾と同等かより狭い巾の空隙(16)を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定して研磨片環状配列群(29)(30)を形成すると共に、内側周縁(21)寄りの研磨片(23)と外周周縁(22)寄りの研磨片(23)に挟まれた中間領域に、金属紛とダイアモンド粉とを焼結せしめて所定の厚さと直径を有する円柱状をなしたダイアモンドペレット(10)をほぼ均等かつ同心円状に固定した。 (もっと読む)


【課題】キャリアの破損を防ぎつつ、効率よく研磨を実施する。
【解決手段】ガラス板が嵌め込まれているキャリアの表裏を上下一対の平行な回転定盤3の摺り合せ面11で挟み込み、それぞれ逆方向に回転させることによりキャリア1に自転運動及び公転運動を与えながらガラス板9の表裏を摺り合せ面11との摺接によって同時に研磨する両面ラップ盤用回転定盤において、摺り合せ面11の内側周縁21と外側周縁22に沿って、金属粉とダイアモンド粉とを焼結せしめた所定の厚みと幅を有する長方形をなした研磨片23を、相互にこれら研磨片23の横巾と同等かより狭い巾の空隙16を保って、ほぼ均等かつ同心円状に固定したと共に、内側周縁21寄りの研磨片23と外側周縁22寄りの研磨片23に挟まれた中間領域に、同じく長方形の研磨片23をその長手方向軸芯がこの摺り合せ面11の直径方向に対してそれぞれ斜めになる様に傾けて固定した。 (もっと読む)


【解決手段】 平板状の被研磨体を研磨する際に被研磨体を保持する研磨治具において、カーボン繊維を含む樹脂材料からなる研磨治具。
【効果】 研磨時治具として、カーボン繊維を含む樹脂材料を用いることで、被研磨体の保持能力にすぐれ、研磨治具の寿命を改善することができる。 (もっと読む)


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