【課題】研削液を周方向及び径方向に対し円滑に流通させることにより、砥石部の目詰りや砥粒の研削熱による磨耗や脱粒を抑制して、ワークの良好な加工精度を実現することが可能な平面ホーニング加工用超砥粒ホイールを提供する。
【解決手段】取付孔４を備えた円盤状の基盤２上に、その内周縁２ａから外周縁２ｂに至る筋条の砥石部３が固着されて成る平面ホーニング加工用超砥粒ホイール１において、上記砥石部３を、複数の短冊状の砥石片５同士を、上記基盤２の回転方向に対し鈍角から成る略等しい連接角度θで一列に連接することにより、上記回転方向に凸を成して曲がる弓形形状に形成した。 （もっと読む）

【課題】高い砥粒の保持力を維持しつつ、切屑の排出性も高く、しかも高張力での長時間の切断が可能な固定砥粒ワイヤーソーを提供する。
【解決手段】導電性を有する単線のワイヤー２の外周面に、有機接着剤により螺旋状の接着剤層５を形成し、この接着剤層５に砥粒４を付着させることにより該砥粒４をワイヤー２の外周面に一次固着すると共に、その上からさらに電着による金属メッキ層６で二次固着することにより、上記ワイヤー２の外周面に砥粒層３を螺旋状に形成する。 （もっと読む）

【課題】砥粒の保持力を十分に確保しながらも、安定的かつ良好な加工精度を得ることができ、しかも生産性にも優れた固定砥粒ワイヤーソーを提供する。
【解決手段】高強度で導電性を有する芯線２の外周面に対し、ダイヤモンド砥粒４を、電着により生成された金属メッキ層３で単粒固着させた固定砥粒ワイヤーソー１において、上記ダイヤモンド砥粒を、その砥粒本体４ａの表面に対し導電性粒子４ｂを点状に多数分散させて被着させることにより形成し、それにより、上記金属メッキ層を、上記芯線の外周面及び上記ダイヤモンド砥粒の基部４ｃを被覆すると共に、該砥粒の刃先部４ｄを露出させるように生成させた。 （もっと読む）

【課題】超砥粒ブレードをドレッシングした際に、より効率的に遊離砥粒を発生させることができ、ブレードの超砥粒の刃先にダメージを与えずに、均一且つ十分な超砥粒の突き出し量を確保することが可能なドレッシングボード及びその製造方法を提供する。
【解決手段】結合材３中に、砥粒としての研磨材２の粉末が略均一に分散させた状態で保持されて成るドレッシングボード１において、上記結合材３を、熱硬化性樹脂を炭化焼成することにより得られるアモルファスカーボンで形成した。 （もっと読む）

【課題】 研磨布用ドレッサーが研磨布表面に均一な研磨面を創出し、特に脱粒に起因する研磨布によるウェハのスクラッチがなくなり、しかも、保持材の焼結温度を低くできるようにした研磨布用ドレッサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 台金１の表面にドレッシング部が形成されてなる研磨布用ドレッサーであって、そのドレッシング部は多数個の砥粒２とそれを保持する平板状の保持材３によって形成される。この保持材３は、周期律のＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族遷移金属、それらの酸化物、炭化物、窒化物、ホウ化物、及びこれらの複合化合物の１種又は２種以上とケイ素を主成分とし、これにフラックス剤として、上記保持材重量に対して１〜６％の二酸化ケイ素を添加してなる混合粉成形体を焼結して構成される。 （もっと読む）

【課題】十分な砥粒保持力を確保することができると同時に、加工効率や加工精度に優れ、しかも、寿命が長く生産性にも優れた固定砥粒ワイヤーソーを提供する。
【解決手段】高強度で導電性を有する断面略円形の芯線２の外周面上に、表面に導電性被覆３ａを有する多数の砥粒３を、電着による金属メッキ４によって固着させて成る固定砥粒ワイヤーソー１において、上記金属メッキ４を内側の第１メッキ層４ａと外側の第２メッキ層４ｂとの２層により形成し、外側の第２メッキ層４ｂの硬度が内側の第１メッキ層４ａの硬度よりも小さくなるように調整した。 （もっと読む）

【課題】被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝から接着用ワックスを容易に除去可能とし、通路用溝の内部に接着用ワックスが塗着された状態で溜まることなく、回転切断刃表面への接着用ワックスのこびりつきや切断加工中の研削抵抗の上昇を抑制可能とした接着用ワックスの除去具と、該除去具を用いた接着用ワックスの除去方法を提供する。
【解決手段】被加工物固定用治具２における多数の通路用溝２１に対応させて平行且つ等間隔に配列され、通路用溝２１の溝底部２１ａを被覆可能な幅Ｗに形成された多数のマスキング部材１１と、それらのマスキング部材１１の両端を支持する支持部材１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】金属、セラミックス、プラスチックス、あるいはガラス等の切断又は研磨に用いられる研削・研磨シートを、エレクトロスピニング法によるナノファイバーシートの成膜技術を利用して製造し、特に加工面に高い平滑性・面精度が要求される超精密加工物の研削・研磨に最適な研削・研磨シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】高分子化合物溶液中に平均粒子径が１ｎｍ〜５００００ｎｍの範囲内にある超微粒子径の砥粒を分散させたポリマー溶液２を用い、エレクトロスピニング法による紡糸によりナノファイバーシート１０に成膜してなり、該シートを構成するナノファイバーに上記砥粒を保持させている。 （もっと読む）

【課題】刃厚が極めて薄いにもかかわらず曲がりが少なく、精度の良い加工が可能で、低コストで製造できる多層構造薄刃ブレード及びその製造方法を提供する。
【解決手段】円盤状のグリーンシートを積層して焼結したところの、中心層１１及び側面層１２，１３を有する多層構造の焼結体ブレードの上記中心層１１が、砥粒１１ａと結合材１１ｂとを有する焼結体で構成され、該多層構造の焼結体の切断に寄与する周縁部３において、側面層１２，１３の一部がドレッシング等の機械的方法で除去され、それにより、多層構造薄刃ブレードの周縁切断刃部が、砥粒１１ａが表面に露出した中心層部分１１ｃだけで構成される。 （もっと読む）

【課題】砥石を構成する結合材中に超砥粒を均一に分散させ、かつ研削・切断抵抗の低減等に寄与する気孔を適度に分散させ、しかもそれに伴って砥石内部にクラックが形成されることがない有気孔砥石及びその製造方法を提供する。
【解決手段】溶媒で希釈した液状のフェノール樹脂中に超砥粒２を均一に分散させて混合物とし、上記混合物を無加圧焼成してフェノール樹脂を硬化させ、硬化物とし、その硬化物を粉砕し、粉砕した粉砕粒１Ａを粒間気孔５が存在する状態に加圧成形して成形体とし、次に、上記成形体を不活性ガス中又は真空中で高温焼成し、上記フェノール樹脂をアモルファスカーボン化すると共に、それに伴って発生するガスによりアモルファスカーボン中に微細気孔３を形成させ、有気孔砥石を得る。 （もっと読む）