【課題】硬脆材プレートの研磨作業中に、ヒゲの発生した研磨布などで構成される研磨部材を取り替えることなく、格別なメインテナンス作業も不要とし、不織布本来の研磨仕上げ効果を得ることのできるノッチ研磨用装置を提供すること。
【解決手段】硬脆材プレート４に設けられたノッチ部５を研磨するための研磨部材３は、少なくともその両側面側が、ポリアミド系繊維の不織布にウレタン樹脂の溶剤を含浸させた研磨樹脂層から構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの研磨作業中に、ヒゲの発生した研磨布などで構成される研磨部材を取り替えることなく、不織布本来の研磨仕上げ効果を得ることのできるノッチ研磨用装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハ４に設けられたノッチ５部を研磨するための研磨部材３が、中央部分側に位置する合成繊維や天然繊維を主原材料とした研磨布層７と、その側面側に形成された樹脂層８とから構成されていることにより、側面の樹脂層８が、ノッチ５端部領域の鏡面加工に関与する部分になるため、この樹脂層８によりノッチ端部領域のヒゲの出現が抑制または皆無となり、ヒゲの影響が半導体ウェーハ４のノッチ外部に位置する他の部分にまで及ぶことはなくなり、かつ中央部分側に合成繊維や天然繊維を主原材料とした研磨布層が存在するため、不織布本来の研磨仕上げ効果を得ることができる。 （もっと読む）