説明

株式会社トヤマにより出願された特許

1 - 2 / 2


【課題】非破壊で且つ高精度にイオンビームの照射位置の位置決めが可能なイオンビーム照射位置決め装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム照射位置決め装置は、試料台10と観察装置20とイオンビーム装置30とマッピング処理部40と位置決め部50とマニピュレータ60とからなる。観察装置20は、試料の顕微鏡像を出力するものである。イオンビーム装置30は、試料にイオンビームを照射するものである。マッピング処理部40は、観察装置により得られる顕微鏡像を用いて試料を座標にマッピングする。位置決め部50では、マッピング処理部によるマッピング座標を用いて、イオンビームの照射位置座標を決定する。そして、イオンビーム装置によるイオンビームの照射前に、マニピュレータ60により、位置決め部により決定される照射位置座標に対して、観察装置の視軸とイオンビーム装置の視軸とが同軸となるように試料台を移動させる。 (もっと読む)


【課題】蒸着源からの蒸気を遮ることなく、試料のほぼ外周全域にわたって存在させながら、試料の外周表面の全面に蒸着膜を形成することができる蒸着装置とこの蒸着装置を用いた蒸着方法を提供すること。
【解決手段】中心軸を水平方向に向けたコイルバネ状の形状を有するホルダー2と、試料1をホルダーの内側に保持した状態においてホルダーをその中心軸の周りに回転させる回転手段とを備え、回転手段によってホルダーをその中心軸周りに回転させることにより、試料をホルダーに対して回転させ、蒸着源に対する試料の向きと姿勢を変更し、向きと姿勢を変更させながら試料の外周表面全面に前記蒸着源からの蒸気による蒸着膜を形成させる。 (もっと読む)


1 - 2 / 2