説明

中央精機株式会社により出願された特許

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【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Wを区画して得た各微小セルW〜WC1毎の波面分布面側法線k〜kC1の各々が干渉計1による測定時に被検体13の球心Oに収束する光路を辿って被検面13aに入射した照明光(入射光)の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Wの微小セルW〜WC1における波面分布面側法線k〜kC1すなわち被検面13aからの反射光に相当する波面分布面側法線k〜kC1毎に、これに対応する照明光波面側法線l〜lC1つまり入射光の光路を突き止め、これら2つの光路すなわち波面分布面側法線k〜kC1と照明光波面側法線l〜lC1の交点位置R(1)〜R(C1)を求めて被検面13aの実面形状のデータとする。 (もっと読む)


【課題】角柱状ガイドレールの高さを冗長することなくガイドローラを大型化してクロスローラガイドの耐荷重性能を向上させることのできるクロスローラガイドを提供する。
【解決手段】リテーナの表裏を平坦化して舌片状突起の形成に必要とされる曲げ加工を廃し、ガイドローラの上下に突出するリテーナの突出量つまりポケット加工部の周りに必要とされる外周部残し代を板厚と同等の値tにまで縮小する。リテーナのポケット加工部に形成された塑性変形部によってガイドローラを回転自在に保持することでポケット加工部の外周部残し代の幅を板厚と同等の値tに維持したままガイドローラを回転自在に保持できる。 (もっと読む)


【課題】回転体の回転に伴って生じる都合5軸方向の運動誤差を高精度で測定することのできる5自由度誤差測定装置を提供する。
【解決手段】回転体2の外周面に回転体2の回転軸の方向に一定の間隔を置いて設けられた複数の周溝から形成された回折格子面3を設け、回転体2の径方向に相当するセンサ座標系第1軸と回転体2の軸方向に相当するセンサ座標系第2軸に沿った回折格子面の相対移動変位を検出する2軸干渉センサユニットS1,S2,S3を回転体2の外周面から径方向外側に間隙をおき、かつ、相互に重合しないようにして回転体2の周方向の相異なる少なくとも3つの位置に固定配備し、3つの2軸干渉センサユニットS1,S2,S3のセンサ座標系第1軸の干渉信号とセンサ座標系第2軸の干渉信号に基いて都合5軸方向の運動誤差Δx,Δy,Δz,Δu,Δvを同時に求める。 (もっと読む)


【課題】回転体の回転に伴って生じる都合5軸方向の運動誤差を高精度で測定することのできる5自由度誤差測定装置を提供する。
【解決手段】回転体2の一端面に同心円状の溝で形成された回折格子面3を設け、同心円の径方向に相当するセンサ座標系第1軸と回折格子面の法線方向に相当するセンサ座標系第2軸に沿った回折格子面の相対移動変位を検出する2軸干渉センサユニットS1,S2,S3を回転体2の一端面から間隙をおき、かつ、相互に重合しないようにして相異なる少なくとも3つの位置に固定配備し、3つの2軸干渉センサユニットS1,S2,S3のセンサ座標系第1軸の干渉信号とセンサ座標系第2軸の干渉信号に基いて都合5軸方向の運動誤差Δx,Δy,Δz,Δu,Δvを同時に求める。 (もっと読む)


【課題】平行配置された2つの圧電素子に接続された梁状本体部に形成された柱状突起の先端に楕円運動を生起させることで駆動対象に送りを掛けるようにした圧電アクチュエータの動作効率を向上させる。
【解決手段】第1,第2の圧電素子PZT1,PZT2の先端に固着された梁状本体部5の中央から左右に等しい間隔をおいて同一形状同一寸法の2つの柱状突起6,7を設けると共に、梁状本体部5の中央部には柱状突起6,7と逆方向に向けて突出する中央支持体8を設け、第1,第2の圧電素子PZT1,PZT2および中央支持体8の基部をベースプレート11に固着し、何れかの圧電素子を正弦波または三角波からなる高速送り用駆動信号で駆動することにより、柱状突起6,7の先端に位相の異なる楕円運動を生起させ、圧電素子の1振動周期の内に柱状突起6,7を利用して2回の送り動作をかける。 (もっと読む)


【課題】圧電素子と他の部品との接続箇所に破断を生じたり圧電素子自体が疲労したりする可能性が低く、高速な送りと精密な位置決めのための送りが共に可能であって、制御回路やアンプの構成も簡便な圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】略T字型の弾性体7の梁状本体部5の全長に匹敵する間隔をおいて第1,第2の圧電素子PTZ1,PTZ2を相互に略平行な状態で配置した構成を適用し、高速送りに際しては一方の圧電素子のみを振動させて柱状突起6を共振させることで柱状突起6の先端に楕円運動を生起させてスライダ2に送りを掛け、また、微動送りに際しては何れか一方の圧電素子を伸縮させて他方の圧電素子の先端を支点に弾性体7を揺動させることで柱状突起6の先端を圧電素子の伸縮方向と交差する方向に移動させてスライダ2に送りを掛ける。 (もっと読む)


【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ(自由形状レンズ)の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源2から出た光S0を複屈折光学素子7で出射角度が微小に異なる2つの光束S1,S2に分割して第一,第二の検査光として被検体13の被検面13aに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子7に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面12に投影することで干渉縞を生成する。第一,第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源2から受光面12に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 (もっと読む)


【課題】 小型のリニアステージに搭載することが可能な大きさであって、管路やコード類の引き回しや屈曲による周辺設備との干渉、更には、移動ステージの駆動抵抗の変動や其れに伴う位置決め精度の劣化といった問題を生じることのないリニアステージ用現位置保持機構を提供すること。
【解決手段】 移動ステージ3をベースプレート4に固定するために必要とされるローラ14,14および付勢手段としての板バネ15ならびにロック解除部材16とアクチュエータ24をベースプレート4側に纏めて配備することで、アクチュエータ24に電力を供給するコード類の引き回しや屈曲による周辺設備との干渉を防止し、駆動抵抗の変動に伴う位置決め精度の劣化を解消する。 (もっと読む)


【課題】 角柱状ガイドレールの高さを冗長することなくガイドローラを大型化してクロスローラガイドの耐荷重性能を向上させることのできるクロスローラガイドを提供する。
【解決手段】 角柱状ガイドレール105a,106aにおけるV溝の谷部に形成したリテーナ収容溝1,2にリテーナ104の幅方向の縁部を突入させてリテーナ104を摺動自在に保持することによってガイドローラ103の上下にリテーナ104の幅方向の端部が突出する不都合を解消し、角柱状ガイドレール105a,105bの高さの範囲でガイドローラ103の大型化を許容する。 (もっと読む)


【課題】 細胞やオルガネラの隔壁の任意の選択箇所に穿孔を施して目標とする箇所に微小物質を的確に移送することができる低侵襲の微小物質移送方法を提供すること。
【解決手段】 電極あるいは超音波発振器等を内装した微小物質移送用ピペットの先端を細胞やオルガネラの隔壁に位置決めして局限的な範囲でエレクトロポレーションあるいはキャビテーション,ソノポレーションを実施することで、細胞にダメージを与えずに隔壁の目標箇所のみを穿孔する。更に、直流電圧や交流電圧の印加によって生じる移送力もしくはキャビテーションやソノポレーションで生じるエネルギーを利用して、この穿孔箇所を介して微小物質移送用ピペット内の微小物質のみを目的とする箇所に移送する。 (もっと読む)


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