【課題】吸水ロールを取り外して絞ることなく長期間、連続的に使用することができ、メンテナンスや洗浄時に取り外す場合においても脱着が容易であり、効率的に表面処理を行なえる吸水装置に用いられる吸水ロール及び表面処理装置を提供する。
【解決手段】吸水ロール１３内の空気を吸引することで、吸水ロール本体１４の多孔質吸水体３５に備えられたスポンジ体３６により基板から吸収された水分が、吸水シャフト３７及びインナパイプ３９の周壁に形成された孔３８，４０を通過してバキューム管へ流出させることができるため、多孔質吸水体３５は取り外して絞ることなく長期間使用することができる。
また、当接フランジ３３とワンタッチ継手２５を、付勢手段のみで密着当接させることができるため、メンテナンス時や洗浄時の着脱が容易になる。 （もっと読む）

【課題】 ドライフィルムレジストを確実に剥離液とレジスト残渣とに分離して、さらにこの分離されたレジスト残渣に含まれる剥離液分を確実に処理して完全に剥離液とレジスト残渣とに分離処理することができるレジスト残渣回収機を提供する。
【解決手段】 フレーム１１にレジスト残渣を剥離液から分離する分離プレート１８を水平方向に揺動自在に設け、分離プレート１８の搬入側にはレジスト残渣を剥離液から分離し剥離液を通過させる網状部材を設けるとともに、搬出側には剥離液から分離されたレジスト残渣を下方に落とす開口部を設け、分離プレート１８の搬出側に分離プレート１８に対して間欠的に衝撃を与える衝接機構３８を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）