圧力センサは、本体と隔膜と流れを規定する構成体とを有する。前記本体は、内容量室を規定する。前記隔膜は、内容量室を第１と第２のセクションとに分割する。前記隔膜の少なくとも第１の部分は、第１のセクションの圧力が第２のセクションの圧力に対して増加するとき、第１の方向へ動き、減少するとき、第２の方向へ動く。前記隔膜の第１の部分と本体の少なくとも第１の部分は、静電容量で特徴付けられる。静電容量は、本体の第１の部分に対する前記隔膜の第１の部分の動きに応答して変化する。流れを規定している構成体は、前記内容量室の第１の部分から外部への流路を与える。流路の少なくとも一部は、第１から第２の位置へ延びる。流路の少なくとも一部は、全長と直線距離で特徴付けられる。全長は、第１から第２の位置への軌道を通る最短距離である。直線距離は、第１と第２の位置の間の最短距離である。全長は、直線距離の少なくとも２倍よりも長い。
（もっと読む）

穴１８及び穴まで伸びるポート２０を有する弁体と、穴内に受け入れられ、端部壁２４及び側壁２６を有するオリフィス部材２２とを備え、オリフィス部材は、弁体のポートとの流体的連通状態を提供するオリフィス２８を画成する弁組立体である。弁部材３０がオリフィス部材内に受け入れられ且つ、軸線に沿ってオリフィスに対して可動であり、薄板ばね３４がオリフィス部材の側壁に固定され、また、弁部材に固定されたアームを有している。弁座３８は、端部壁に固定され且つ、オリフィスの上方の開口部を画成し、プラグ４２は弁座に対向する弁部材の一端に固定され、弁部材が軸線に沿ってオリフィスに向けて動いたとき、プラグがシールに接触して開口部を密封する。
（もっと読む）

気体を活性化し解離する方法及び装置であって、チャンバの中のプラズマを用いて活性化気体を発生するステップを含む。下流気体入力をチャンバの出力に対して配置することにより、気体入力によって導かれる下流気体の解離を容易化し、解離された下流気体がチャンバの内側表面と実質的に相互作用しないようにする。
（もっと読む）

質量流量センサは、全てのガスに対するセンサのバイパス比の誤差を、全てのバイパスエラーがレイノルズ数の関数であるという事実に基づいて補償するため、レイノルズ数補正関数を使用する。センサは、流れを分割するセンサチューブ及びバイパスチューブを含み、センサのバイパス比は、センサを通る総流量をセンサチューブのみを通る流量で除した値に等しい。ヒーター要素がセンサチューブの上流部分及び下流部分を加熱する。ヒーター要素間の抵抗の差に基づいて電圧を発生するため、回路がヒーター要素に接続されている。電圧を基準ガスの既知の流量に基づいて較正する。センサを通る流量は、較正した電圧に多ガス補正関数及びレイノルズ数補正関数を乗じることによって得られる。
（もっと読む）

流量センサは、主導管と、この主導管の上流部分を主導管の下流部分に連結するセンサチューブ及びバイパスチューブであって、主導管を通る流れがセンサチューブ及びバイパスチューブに分割されるセンサチューブ及びバイパスチューブと、センサチューブを加熱するための少なくとも一つのヒーター要素とを備えている。多孔質媒体を含む第１流れ制限器が、主導管の上流部分とセンサチューブとの間に位置決めされており、多孔質媒体を含む第２流れ制限器が、主導管の上流部分とバイパスチューブとの間に位置決めされている。これらの流れ制限器は、所定のバイパス比の流量センサを提供する。その結果、センサは、計測されるガスの種類とは無関係に作動できる。
（もっと読む）

流れチャンネルを持つハウジング、閉鎖位置と開放位置との間で移動自在のスライドプレート、及び流れチャンネルを取り囲み、閉鎖位置でスライドプレートと係合し、開放位置でスライドプレートから離れるシールリングを含む弁アッセンブリを提供する。シールリングは、ハウジングの隣接した表面に形成された穴と夫々整合する複数のボアを有する。各ボアには、リップを画成するアンダーカットが設けられている。ハウジングの環状面の穴に複数のファスナが配置されており、シールリングの対応するボア内に延びる。ファスナの側壁にはスロットが設けられており、これらのスロットは、ファスナをシールリングのボアに挿入し、シールリングを回転したとき、シールリングのボアのリップを捕捉する。
（もっと読む）

本発明はスペーサ素子および封止ビーズを利用して、静電容量圧力変換器の筐体とダイヤフラムとの間に置かれるシールを形成する。封止ビーズはスペーサ素子の融解温度より低い融解温度を有する。封止ビーズは融解され、非融解スペーサ素子の回りを流れ、取り囲む。これにより、凝固すると、封止ビーズとスペーサ素子とがシールを形成する。シールの厚みは、スペーサ素子の高さを調整することにより正確に均一に生成できる。正確で均一な厚みを有するシールを利用することによって、静電容量圧力変換器の対向する導体は、製造プロセスの間において、相互に正確に位置合わせおよび方向付けすることができる。 （もっと読む）

圧力変換器の基準チャンバ内に基準圧力を容易に生成する方法および装置。圧力変換器は筐体とカバーとを有し、筐体は基準チャンバと開口とを形成している。溶融可能な封止材料がカバーと筐体のうちの少なくとも一方の上に配置されている。装置は、第１位置と第２位置との間を回転可能な圧力チャンバと、圧力チャンバに接続された圧力源と、開口近くで変換器に取り付け可能な案内部と、封止材料を溶融するのに十分な高温度まで圧力チャンバを選択的に加熱するための加熱器とを含んでいる。カバーは、案内部の内部空間内に位置している。案内部は開口近くで変換器に取り付けられている。変換器とカバーと案内部は圧力チャンバ内に配置され、圧力チャンバは第１位置まで回転し、圧力チャンバ内に圧力源によって圧力が生成される。基準圧力が基準チャンバ内に生成された後、圧力チャンバは第２の位置まで回転する。圧力チャンバが第２の位置まで回転すると、重力によってカバーが空間内で開口の方に移動する。その後、加熱器が圧力チャンバを加熱して封止材料を溶融する。冷却すると、封止材料は、変換器の基準チャンバ内に基準圧力を封止するシールを形成する。 （もっと読む）

弁座により画成された開口部を有するハウジングと、弁座から非係合状態となった完全に開放した位置と弁座と係合する完全に閉塞した位置との間にてハウジング内で可動の弁胴と、長手方向軸線に沿って長手方向に動き且つ、長手方向軸線の周りにて回転可能なスリーブとを有する弁組立体である。スリーブは弁胴に接続され、弁胴はスリーブと共に回転し且つ、スリーブに対し長手方向に動くことができる。ハウジング及びスリーブの一方はカム面を有し、また、ハウジング及びスリーブの他方はカム面に受け入れられるカム従動子を有している。回転可能な軸はスリーブと螺着係合し、軸の回転によりスリーブはカム従動子に対し回転動作及び長手方向への動きの少なくとも一方を行う。
（もっと読む）

製造プロセスの故障条件を検出する方法であって、製造プロセスの複数の出力に対する複数の製造関係変数に基づいて、データを取得し、モデルを展開する。この方法は、更に、前記製造関係変数の中のどの変数が、前記製造プロセスの誤った出力を検出する前記モデルに対して実質的な影響を有するのかを識別するステップを含む。本発明による方法は、また、前記モデルに実質的影響を有すると先に識別された製造関係変数を用いることによって前記モデルを更新し、製造プロセスの誤った出力を検出する前記モデルの能力を強化するステップを含む。
（もっと読む）