動的負荷（２６０）に電力を配電するシステムおよび方法を提供する。このシステムは、ＤＣ電力を供給し、実質的に一定の電力開ループ応答を有する電源（２１０）と、ＤＣ電力をＲＦ電力に変換する電力増幅器（２２０）と、電圧、電流およびＲＦ電力と関連のある電圧ベクトルおよび電流ベクトル間の位相角度を測定するセンサ（２４０）と、電力増幅器（２２０）のインピーダンスを、動的負荷（２６０）の少なくとも実質的に整合したインピーダンスに変更する電子制御可能なインピーダンス整合システム（２５０）と、電子制御可能なインピーダンス整合システムを制御するコントローラ（２５２）とを含む。更に、このシステムは、電力増幅器によって配電される電力を決定するセンサ較正測定モジュールと、動的負荷に配電される電力を決定する電子整合システム較正モジュールと、電子制御可能なインピーダンス整合システムにおいて消散した電力を計算する電力消散モジュールとを含む。 （もっと読む）

【課題】誘導電流が形成されるのを防止するトロイダル・プラズマ・チャンバを提供する。
【解決手段】トロイダル低電場プラズマソースとともに用いられ得る金属製プラズマチャンバ１００は、第１の誘電体領域１０８および第２の誘電体領域１１０を含む。誘電体領域１０８および１１０は、プラズマチャンバ１００を、第１の領域１１２および第２の領域１１４に電気的に分離する。第１の領域１１２および第２の領域１１４の各々は、高度真空シールにより誘電体領域１０８、１１０に接続されることにより、プラズマチャンバ１００を形成している。誘電体領域１０８、１１０は、プラズマチャンバ１００の組み合わせ面１１６を分離する誘電体スペーサを有してなっていてもよい。 （もっと読む）

比較的短い処理時間で大量のデータを区分（クラスタリング）する方法およびシステム。本方法は、第１データ・マトリクスおよび第２データ・マトリクスを供給することを伴い、第１および第２データ・マトリクスの各々は、１つ又は複数の変数と、複数のデータ点とを含む。また、本方法は、部分的最小二乗（ＰＬＳ）分析または直交ＰＬＳ（ＯＰＬＳ）分析を用いて第１データ・マトリクスから第１スコアを決定すること、ならびに第１および第２データ・マトリクスを（例えば、行単位で）第１グループおよび第２グループに区分することを伴い、ソートした第１スコア、第１データ・マトリクスの分散、ならびに第１および第２データ・マトリクスの分散に関連する第１および第２グループの分散に基づいて区分する。 （もっと読む）

複数の区域内の流体の圧力を制御する圧力制御システムは、分配マニホルドと、分配マニホルドに接続された少なくとも１つの主マニホルドと、分配マニホルド及び主マニホルドに接続された少なくとも１つの使い捨てマニホルドとを有する。使い捨てマニホルドは分配マニホルド及び主マニホルドとは独立に交換できるようになっており、各区域及び少なくとも１つの真空源に接続される。分配マニホルドは、各区域内に位置する測定室に対して流体の出入り流れを生じさせるように、複数の区域に流体を分配する。主マニホルドは、各区域に対して、その区域の測定室内の圧力を測定するように形状づけられた圧力センサと、その区域を通る流体の流れを規制するように形状づけられた制御弁とを含む。 （もっと読む）

質量分光分析システムにおいて用いるための試薬イオンおよび生成イオンを発生するシステムおよび方法について記載する。また、極微小濃度の揮発性有機化合物を検出するための本システムおよび方法の応用についても記載する。マイクロ波または高周波ＲＦエネルギ源が、試薬蒸気の粒子をイオン化して、試薬イオンを形成する。試薬イオンは、ドリフト・チェンバのようなチェンバに流入し、流体サンプルと相互作用する。電界が試薬イオンを誘導し、流体サンプルとの相互作用を促進して生成イオンを形成する。次いで、試薬イオンおよび生成イオンは、質量分光計モジュールによる検出のために、電界の影響下においてチェンバから流出する。本システムは、システム・パラメータの値を設定する種々の制御モジュールと、分光分析中におけるイオン種の質量およびピーク強度値の検出ならびにシステム内部における異常の検出のための解析モジュールとを含む。 （もっと読む）

本発明は、一般的には、ＭＲＩ配電システムの安定化に関する。一態様において、ＭＲＩ配電システムと電気的に連通する安定化モジュールを提供する。この安定化モジュールは、閉ループ制御システムを含む。この閉ループ制御システムは、入力信号の少なくとも１つの特性を修正するために用いられる。修正された入力信号は、ＭＲＩ配電システムに供給される。一実施形態では、安定化モジュールは開ループ制御システムおよび閉ループ制御システムの双方を含む。 （もっと読む）

本開示の実施形態は、各々が異なる選ばれたサイズを有する複数の体積を用いることにより、広い流量範囲にわたり質量流速の高精度測定に有用であり、ソフトウエア実施を含むシステム、方法、及び装置で行われる。単一の圧力計の使用は、費用削減を容易にでき、質量流量検証装置又は関連する被試験体の全範囲内の分担流領域に従う大きさの複数チャンバー体積の使用は、流量測定におけるノイズの有害な効果を減らす一方、高精度を提供できる。 （もっと読む）

マノメータについて出力値のドリフト予測を行う、ソフトウェア実施態様を含む、システム、方法、および、装置を開示する。以前のゼロ調整イベントに関連する履歴（例えば、タイムスタンプ）に基づいて、点検、交換、および／またはゼロ調整イベントが必要となると予測または判断したときに、容量マノメータにまたは容量マノメータに関して、信号またはその他の指示を供給することができる。以前に記録したタイムスタンプを、適した関数の曲線に当てはめて、マノメータに対する今後の保守、較正、および／または交換イベントを計算または予測することができる。このような信号または指示は、画面上の指示として生成することができ、更に、ディジタル通信リンクまたはシステムを通じて、マノメータの質問時に入手可能にすることもできる。 （もっと読む）

【課題】誘導電流が形成されるのを防止するトロイダル・プラズマ・チャンバを提供する。
【解決手段】トロイダル低電場プラズマソースとともに用いられ得る金属製プラズマチャンバ１００は、第１の誘電体領域１０８および第２の誘電体領域１１０を含む。誘電体領域１０８および１１０は、プラズマチャンバ１００を、第１の領域１１２および第２の領域１１４に電気的に分離する。第１の領域１１２および第２の領域１１４の各々は、高度真空シールにより誘電体領域１０８、１１０に接続されることにより、プラズマチャンバ１００を形成している。誘電体領域１０８、１１０は、プラズマチャンバ１００の組み合わせ面１１６を分離する誘電体スペーサを有してなっていてもよい。 （もっと読む）

圧力制御システムは、圧力センサと圧力コントローラとの間に、ディジタル通信ネットワークを含む。ディジタル通信ネットワークは、圧力センサと圧力コントローラとの間で信号を伝達するように構成されている。圧力センサは、処理ツールの中にある圧力チャンバ内部の圧力を測定するように構成されている。圧力コントローラは、圧力センサによって取り込まれディジタル通信ネットワークを通じて圧力コントローラに伝達される圧力測定値に応答して、真空チャンバ内の圧力を、ツールから受信した圧力設定点に維持するように、真空チャンバ内部の圧力を制御する。 （もっと読む）