【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ及びバルブが設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

アーク検出システムは、高周波（ＲＦ）信号プローブを含み、前記高周波（ＲＦ）信号プローブは、ＲＦプラズマ室の入力部においてＲＦ信号を検知し、前記ＲＦ信号の電圧、電流、および、電力のうちの少なくとも１つに基づいて信号を生成する。信号解析器が、前記信号を受信し、前記信号に基づいて、前記ＲＦ信号の基本周波数よりも高いまたは等しい周波数を有する周波数成分を監視して、前記周波数成分に基づいて出力信号を生成する。前記出力信号は、前記ＲＦプラズマ室でアークが発生していることを示している。
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無線周波数（ＲＦ）電力をプラズマ室に印加するための無線周波数発生装置はＤＣ電源（Ｂ+）を含む。無線周波数スイッチは中心周波数ｆ₀の上記ＲＦ電力を発生させる。低域通過散逸終端回路網はＤＣ電源（Ｂ+）とスイッチとの間に接続され、第一遮断周波数にて作動する。スイッチはシステムの忠実度を向上させる出力回路網へ信号を出力する。出力回路網は所定周波数を超えるＲＦ電力を通過させる高域通過サブ高調波負荷絶縁フィルターへ送られる出力信号を発生させる。低域高調波負荷絶縁フィルターが出力回路網と高域通過サブ高調波負荷絶縁フィルターとの間に挿入されてもよく、高調波終端回路網が出力回路網の出力に接続されてもよい。高域通過終端回路網は所定周波数を超える周波数のＲＦ電力を散逸させる。オフラインショートまたは分路回路網はスイッチの出力と出力回路網の入力とに接続され、所定周波数にてスイッチの出力を短絡させてもよい。
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フィードバック制御利得を有する質量流量コントローラは、コントローラを通過する流体の流れを検知するように構成されているセンサと、コントローラを通過する流体の流れを調節するように配置されている弁と、センサが検知する流体の流れの関数として、弁を制御するように構成されているプロセッサとを備えている。センサおよび弁は、フィードバック系内に配置され、プロセッサは、少なくとも１つの較正気体パラメータの少なくとも１つの動作気体パラメータに対する比に基づいて、フィードバック・コントローラ利得をリアル・タイムで更新し、較正状態とは異なる動作状態において一定の制御挙動を有するように、フィードバック系の閉ループ伝達関数が、動作状態には関係なく、実質的に一定となるようにする。 （もっと読む）

１ＭＨｚから１ＭＨｚ以上およびそれよりも高い周波数で動作するＲＦプラズマ処理システムにおける動的負荷による不安定性を防止するために、電力供給装置を制御する方法および装置。本装置は、電源（３２）と、電源（３２）から電力を受電する電力変換器（７２）であって、入力電圧またはスイッチング周波数の少なくとも１つを変化させることによって制御する一定出力電力を供給する、電力変換器（７２）と、電力変換器から一定電力を受電するＲＦ発電機（７５）とを含む。 （もっと読む）

有毒な化学物質を求めて周囲空気を監視する分光検出システムが説明される。このシステムは、１０億分の１（ｐｐｂ）以下のレベルの、様々な神経ガスおよびびらん剤、ならびに有毒工業用化学製品を含む広範囲の化学成分を検出しかつ識別することができる、小型で携帯型の複数気体分析器とすることができる。このシステムは、誤警報（たとえば、偽陽性または偽陰性）を最小限にし、高い特定性を特徴とし、適用分野に応じて、数秒〜数分程度の応答時間で動作することができる。システムは、フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）分光計、気体試料セル、検出器、埋込み式処理装置、表示装置、電源、空気ポンプ、加熱要素、および他の構成部品が、試料を収集するための空気取入れ口と、外部装置と接続して機能するための電子通信開口とを備えるユニットに搭載された、完全に内蔵式の分析器とすることができる。
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半導体デバイスを湿式清浄化するときに採用される装置、システム及び方法が提供される。特に、所望のＣＯ２濃度の脱イオン水を供給することのできるシステム、及び半導体デバイスを湿式清浄化するときに使用するため、所望のＣＯ２濃度の脱イオン水を生成する方法が提供される。
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静電容量圧力変換器のセンサインタフェースボードにわたって電力損失を実質的に一定に維持するためのシステム及び方法が記載される。短絡ダイヤフラムレベル検出器が、１つ又は複数の基準電極へのダイヤフラムの短絡を検出する。静電容量圧力変換器内の静電容量検出回路を駆動する発振器の近くに、電力散逸抵抗器が配置される。この抵抗器は、短絡が検出されると、電源に接続するように切り替えられ、それによって、ダイヤフラムが短絡すると、電流が抵抗器を通じて流れるようにし、発振器による電力損失を実質的に一定に維持するだけの十分な量だけ電力を加えることができるようにする。 （もっと読む）

流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）による測定値を検証するための流量検証器が、ＤＵＴからの流体の流れを収容するように構成されるチャンバと、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサと、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズルとを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。それゆえ、流量検証時間中にチャンバ圧力が変化しても、ＤＵＴの下流圧力には実質的に影響がなく、流量検証器とＤＵＴとの間の外部体積は流量検証計算に実質的に無関係である。 （もっと読む）

ネットワークを通じて、マスタ弁および少なくとも１つのスレーブ弁が接続されており、マスタ弁の位置設定点をブロードキャストして、少なくとも１つのスレーブ弁が、短縮した時間期間以内に、対応する位置に到達する。このようなネットワークは、専用ネットワーク、または位置設定点を優先する高速共有ネットワークである。 （もっと読む）