熱エネルギの実質的な部分の伝導を許容する、改良された液体流れ制御弁１５ａは、第一の部分６０と、第二の部分６２と、可動の要素６４とを含む。第一の部分は、流体源と流体的に連通する開口６６を含む。第二の部分は、第一の開口６６と少なくとも部分的に整合された第二の開口６８を有する。可動の要素は、第一の部分と第二の部分との間に配設され且つ第一の部分及び第二の部分から隔てられて、熱エネルギの少なくとも実質的な部分を第一の部分から第二の部分まで伝導するのを許容する。可動の要素は、可動の要素が開放した位置にあるとき、第一の開口及び第二の開口と少なくとも部分的に整合すると共に、可動の要素が閉じた位置にあるとき、第一の開口及び第二の開口の少なくとも一方と非整合状態となる開口７０を含む。 （もっと読む）

【解決手段】
センサ閉塞体と、センサ閉塞体に受け入れられた圧力センサと、圧力センサと接続され且つ流体源と接続し得るようセンサ閉塞体から伸びる管と、圧力センサと電気的に接続された電子回路板と、電子回路板を保持し且つ、センサ閉塞体に固定されたエレクトロニクス閉塞体とを含む圧力変換器組立体である。エレクトロニクス閉塞体は、熱伝導性材料にて製造された外部ハウジングと、熱伝導性材料にて製造された熱伝達板とを含む。熱伝達板は、電子回路板の熱発生要素と物理的に接触し且つ、外部ハウジングと物理的に接触し、熱発生要素からの熱が外部ハウジングを通して放散することができるようにする。この配置は、センサが加熱されたときでさえ、回路板が低温度のままであることを許容する。
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単一の質量流量を少なくとも二つの流れライン（１２２ａ、１２２ｂ）に分割するための流量比率制御装置（１０６）を含むガス送出システム用の反対称最適制御アルゴリズムを提供する。各流れラインは、流量計（１２４）及びバルブ（１２６）を含む。流量比率制御装置の両バルブは、単一の入力信号出力ＳＩＳＯ制御装置と、インバーターと、二つの線型飽和器とを含む反対称最適制御装置によって、比率フィードバックループを通して制御される。ＳＩＳＯ制御装置の出力を、二つのバルブに加えられる前に分割し変更する。二つのバルブ制御コマンドは、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に対し、実際上、反対称である。これらの二つのバルブコマンドが、夫々の線型飽和器を、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置で二つの飽和限度の一方として通過するため、一方のバルブが、任意の時期に、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に保持されると同時に、他方のバルブが、流量比率を維持するように能動的に制御されるという正味の効果が得られる。
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オリフィス（５２）を持つバルブ本体（１６）と、バルブ本体に受け入れられ、軸線（Ａ）に沿ってオリフィスに関して移動自在のバルブ部材（２０）とを含むバルブ組立体（１０）である。バルブ部材は、バルブ部材の端部（２２）にカップ（２４）を有し、このカップの端壁（２５）がバルブ本体のオリフィスに面する。支点（２８）が、カップの端壁からオリフィスに向かって延びており、プラグ（３０）がカップに受け入れられて支点に当たり、バルブ本体のオリフィスと向き合っている。バルブ部材を軸線に沿ってオリフィスに向かって移動すると、プラグがバルブ本体と接触してオリフィスをシールする。バルブ組立体（１０）は、更に、バルブ部材の端部に固定された外部分（３４）と、プラグをカップ内に保持する可撓性アーム（３６）とを持つ平らなばね（３２）を含む。これにより、プラグは、支点を中心として関節連結でき、バルブ本体に関して適切に整合され、バルブ部材を軸線に沿ってオリフィスに向かって移動したとき、オリフィスを完全にシールする。
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気体フローを調節して前記気体フローに関連する圧力変化率の測定を改善する装置が、内部体積に特長付けられた内部部分と前記気体フローを受け取る入口ポートとを有する測定チャンバ（１０２）を含む。この装置は、圧力センサ（１０４）と信号プロセッサとを含む。信号プロセッサは、前記センサ（１０４）から前記圧力信号を受け取り、サンプリングし、圧力信号の時間導関数を計算する。この装置は、更に、前記入口ポート配置された入口ダンパ（１０８）を含み、よって、前記気体フローは前記入口ポートを通過する前にこの入口ダンパ（１０８）を通過する。この入口ダンパは、気体フローをダンパ伝達関数に従って修正する。チャンバ体積とダンパ伝達関数とは、前記測定チャンバの中の圧力の変動に関連する周波数を前記サンプリング周波数の所定の分数に制限するように選択される。
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デバイスによる流体の流率の測定値を確認するフロー確認装置であって、フロー制限手段を含む。このフロー制限手段は、流率の確認を、フロー制限手段の上流側にある要素が実質的に感知させない。このフロー確認装置は、前記デバイスからの前記流体のフローを受け取るように構成されている容器と、前記容器の内部の前記流体の圧力を測定するように構成されている圧力センサと、を含む。出口弁が容器からの流体のフローを受け取り、フロー制限手段が前記流体のフロー経路に沿って、前記容器の上流側に隣接するように配置されている。前記フロー制限手段は、前記フロー経路に沿った前記流体のフローを制限して前記フロー経路においてショックを誘導するように構成され、更に、前記流率の確認を前記フロー制限手段の上流にある要素に対して実質的に非感知的とするのに十分な時間間隔の間だけ前記ショックを維持するように構成されている。
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蒸発装置１０は、液体の入口１２と、ガスの出口１４と、蒸発装置１０の出口１４へのガスの流れを制御するガス弁１６と、液体の入口１２とガス弁１６との間を流れる液体を加熱する手段２０とを備えている。蒸発装置１０は、また、液体の入口とガス弁との間を流れる液体に対する熱伝達量を増す手段１８を備え、液体の圧力は、ガス弁に到達したとき、液体の蒸気転移圧力以下に降下するよう液体にて圧力降下を生じさせる。圧力降下は、等温状態下にて生じ、弁１６が開いたときにのみ、液体は、需要に応じて蒸発する。熱伝達量を増し且つ圧力降下を生じさせる手段１８は、多孔性媒質の栓とすることができる。
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改良されたアポダイゼーション関数を用いた信号分光測定のための方法及び装置が開示されている。この方法及び装置は、（ｉ）サンプル及び基準時間領域波形を取得するステップと、（ｉｉ）サンプル及び基準アポダイゼーション波形を、サンプル及び基準時間領域波形に適用し、実質的に同じウェイトがサンプル及び基準時間領域波形の実質的に同じ延長を有する範囲に適用されるようにするステップと、（ｉｉｉ）時間領域からのサンプル及び基準アポダイゼーションのなされた波形を周波数領域に変換するステップと、（ｉｖ）変換されたサンプル・スペクトルと基準周波数スペクトルとの比率から信号分析のための基準となるスペクトル分析波形を発生するステップと、を含んでおり、スペクトル分析波形は、アポダイゼーションのなされたサンプル及び基準時間領域波形の対応する実質的に同じ延長を有する範囲と関連する周波数を実質的に除外している。
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本バルブ組立体は、出口（２０）まで延びる流路（１４）を持つハウジング（１２）と、流路内にあり且つ出口の周囲に設けられた弁座（２４）と、前記ハウジング内に配置された、弁座と接触して流路を通る流れを遮断する閉鎖位置と、流路を通る流れを許容する開放位置との間で、流路の長さ方向軸線に対して横方向に移動自在の摺動板（２６）とを含み、摺動板及び弁座の少なくとも一方が、摺動板と弁座との間に所定量の導通性を提供する少なくとも一つの通路（７６）を備えている。
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金属含有ガスを処理するための方法および装置が、プラズマチャンバ内にトロイダルプラズマを発生することを伴う。金属含有ガスが、プラズマチャンバ内に導入されて、トロイダルプラズマと反応する。トロイダルプラズマと金属含有ガスとの相互作用が、金属材料、金属酸化物材料、または金属窒化物材料の少なくとも１つを生成する。
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