説明

エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッドにより出願された特許

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【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適(MAO)制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】MAO制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ124及びバルブ126が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたSISOフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのSISO制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、MAO制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 (もっと読む)


【課題】オゾン発生器用の電源装置において、変圧器を不要とし、かつ電力を適正に制御する。
【解決手段】電力発振器310は、変圧器を有しておらず、電源320と、共振インダクタ及び共振キャパシタを備えかつ10以上のQ値を有する共振回路330とで構成される。該共振回路330は、電源320とオゾン発生器(Oセル)110との間に直接接続される。電源310は、第1のAC電圧を共振回路330に提供し、該共振回路は、共振機能により、第1のAC電圧よりも大きい第2のAC電圧を、オゾン発生器110を駆動するために出力する。コントローラ340は、所望の第2のAC電圧に対応する第1のAC電圧を出力することができるように、電源320を制御する。 (もっと読む)


【課題】MRI配電システムの安定化方法を提供する。
【解決手段】MRI配電システムと電気的に連通する安定化モジュールを提供する。この安定化モジュールは、閉ループ制御システムを含む。この閉ループ制御システムは、入力信号の少なくとも1つの特性を修正するために用いられる。修正された入力信号は、MRI配電システムに供給される。一実施形態では、安定化モジュールは開ループ制御システムおよび閉ループ制御システムの双方を含む。 (もっと読む)


【課題】離れて位置する区画内部における圧力を精度高く制御することができるシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】圧力制御システムは、各エンクロージャに対して流入および流出する流体の流量を制御することによって、1つ以上の区画の内部圧力を遠隔的に制御する。各区画は、導管を介して1つのエンクロージャにそれぞれ接続されている。流体の圧力を、各エンクロージャ内において測定する。各区画内における推定圧力を、エンクロージャ内の測定圧力と、導管および区画の既知の特性との関数として計算する。区画毎に、各エンクロージャの入口比例弁および出口比例弁を動作させて、それぞれのエンクロージャに流入する流体の入力流速と、エンクロージャから流出する流体の出力流速とを、圧力設定点と推定圧力との関数として制御することにより、圧力設定点に応じて区画内部の圧力を規制する。 (もっと読む)


【課題】効率的な誘導結合によるトロイダルプラズマ発生と金属含有フッ素ガス処理装置を提供する。
【解決手段】金属含有フッ素ガスを減少させるための装置は、金属含有フッ素ガスを閉じ込めるプラズマチャンバ20と、プラズマチャンバ20の一部分を取り囲む一次巻線18および磁心16を有する変圧器12を備え、一次巻線18に結合されたスイッチング電源26がトロイダルプラズマを直接生成し、トロイダルプラズマが、変圧器12の二次回路を完成させ、金属含有フッ素ガスと反応し、固体金属材料、固体金属酸化物材料又は固体金属窒化物材料の少なくとも1つを生成する。さらに、生成材料をプラズマチャンバから出力する出口と、出口と流体連通し収集するための交換可能な構成要素とを構成要素とを備える。 (もっと読む)


【課題】チャンバ内の上昇する圧力の影響を実質的に受けない上昇率流量検出器の提供。
【解決手段】流体送達被試験デバイス(DUT)110からの流体の流れを収容するように構成されるチャンバ130と、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも1つの温度センサ180と、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも1つの圧力変換器170と、DUTからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズル140とを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。 (もっと読む)


【課題】有毒な化学物質を求めて周囲空気を監視する分光検出システムを提供する。
【解決手段】このシステムは、10億分の1(ppb)以下のレベルの、様々な神経ガスおよびびらん剤、ならびに有毒工業用化学製品を含む広範囲の化学成分を検出しかつ識別し、小型で携帯型の複数気体分析器とすることができる。このシステムは、誤警報(たとえば、偽陽性または偽陰性)を最小限にし、高い特定性を特徴とし、適用分野に応じて、数秒〜数分程度の応答時間で動作することができる。システムは、フーリエ変換赤外(FTIR)分光計10、気体試料セル22、検出器30、埋込み式処理装置34、表示装置38、電源、空気ポンプ、加熱要素、および他の構成部品が、試料を収集するための空気取入れ口と、外部装置と接続して機能するための電子通信開口とを備えるユニットに搭載された、完全に内蔵式の分析器とすることができる。 (もっと読む)


【課題】圧力変換器内の、改良された電極と、電極のための取り付け具とを提供する。
【解決手段】圧力変換器アッセンブリは、第1の本体と、第2の本体と、ダイアフラムと、電極とを有する。第1の本体とダイアフラムとは、第1のチャンバを、また、第2の本体とダイアフラムとは、第2のチャンバを形成している。電極は、第1のチャンバ内に配置されている。電極とダイアフラムとの間のキャパシタンスは、チャンバの間の圧力差を表す。電極は、ハブから吊り下げられ、スポーク取り付けされている。幾つかの実施形態では、電極は、完全に金属である。電極は、導電性フィルムが形成されたセラミック製ディスクを有しても良い。このディスクは、セラミック製のロッドを備えたハウジングに結合されている。変換器はまた、温度の変化に応じたねじりを減少するために、ハウジングに接続された、熱係数の低い膨張部材を有する。 (もっと読む)


【課題】パルス化された質量流量の前駆気体(precursor gases)を半導体処理チャンバの中へ搬送するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】搬送チャンバ12と、チャンバ12の中への質量流量を制御する第1の弁14と、チャンバ12からの質量流量を制御する第2の弁とを含み、実際に、プロセス・チャンバの中へ流れ込む物質の量(質量)を測定する。チャンバ12内部の圧力の測定値を提供する圧力トランスデューサ18と、チャンバ12の表面上又は内部の温度の測定値を提供する温度センサ20とを有する。入力装置22は、所望の質量流量を受け取り、コンピュータ・コントローラ24が、圧力トランスデューサ18と温度センサ20と弁14及び16と入力装置22とに接続され、出力装置26は、コントローラ24に接続されており、システム10によって搬送される質量に関する指示。 (もっと読む)


【課題】遮蔽密封効果をもち、手細工による金属部品を不要にし、着座面に対して不透過性の非金属材料を使用し、安定的で長期間の制御弁の遮断能力をもつ弁組立体を提供する。
【解決手段】穴18及び穴まで伸びるポート20を有する弁体と、穴内に受け入れられ、端部壁24及び側壁26を有するオリフィス部材22とを備え、オリフィス部材は、弁体のポートとの流体的連通状態を提供するオリフィス28を画成する弁組立体である。弁部材30がオリフィス部材内に受け入れられ且つ、軸線に沿ってオリフィスに対して可動であり、薄板ばね34がオリフィス部材の側壁に固定され、また、弁部材に固定されたアームを有している。弁座38は、端部壁に固定され且つ、オリフィスの上方の開口部を画成し、プラグ42は弁座に対向する弁部材の一端に固定され、弁部材が軸線に沿ってオリフィスに向けて動いたとき、プラグがシールに接触して開口部を密封する。 (もっと読む)


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