【課題】 上面に試料が載置される設置テーブルを秒単位角度の傾斜姿勢となるように、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベース体１０に対し、上面に試料が載置される設置テーブル２０を揺動自在に組み付ける位置決めステージであって、固定ベース体１０に、ボールネジ３１を設置テーブル２０の揺動軸に直交する方向に沿って貫通架設すると共に、ボールネジ３１に前進後退動自在且つ回動不能にナット体３４を螺合組み付けし、弾性変形自在なプレート状の連結体４０の一端をナット体３４に固定すると共に他端を設置テーブル２０に固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザー変位計を用い、予めの測定情報の設定を行うことなく、簡便且つ精度高く測定物の表面状態を検査できるようにすることにある。
【解決手段】 測定物１の表面状態を検査するレーザー変位計による計測方法であって、レーザー変位計３をリニアエンコーダー５を実装したＺ方向への移動ステージ４に装着し、測長範囲ｄのｄ／２の位置レベルの電圧出力が常に０Ｖとなるようにリニアエンコーダー５を介して移動ステージ４をＺ方向に移動させることにより、測定物１の表面とレーザー変位計３との距離Ｄを一定に維持することを特徴とするレーザー変位計による計測方法とその制御回路である。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージのテーブルを所定位置にミクロン単位で移動させた際、テーブルが傾斜してしまうことを精度高く抑制することができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベース体１０１に対し、テーブル１０２を、水平方向或いは揺動方向或いは鉛直方向に摺動組み付けする位置決めステージにあって、固定ベース体１０１とテーブル１０２とをクロスローラガイド機構を介して摺動組み付けし、テーブル１０２側のクロスローラガイド機構のローラレース１０９に対向する固定ベース体１０１面に磁石１０５を配した構成で、テーブル１０２を所定位置に移動させた状態で固定ベース体１０１とテーブル１０２とを磁石１０５相互磁着させることによりテーブル１０２の静止状態を確実に維持する。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージを、所定位置にミクロン単位で鉛直移動させるに際し、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベースプレート１０２と、この固定ベースプレート１０２上に立設される四角筒形状のガイド筒１０３と、このガイド筒１０３内に昇降動自在に遊嵌され、上端にテーブル１０４を連設した昇降柱１０５と、ガイド筒１０３と昇降柱１０５との間に配されるフラットローラ１０６と、から構成され、フラットローラ１０６は、針状コロ１０９の複数本を相互に平行にして保持プレート１０７に可回転的に組み込んだ構成とし、針状コロ１０９を水平姿勢とした。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージを、所定位置にミクロン単位で移動させ或いは秒単位角度の傾斜姿勢となるように、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベースプレート１１と、この固定ベースプレート１１上に、Ｘ方向に延出する一対のＸ方向クロスローラガイド１４を介してＸ方向に水平移動可能に組み付けられる中テーブル１２と、この中テーブル１２に、Ｙ方向に延出する一対のＹ方向クロスローラガイド１５を介してＹ方向に水平移動可能に組み付けられ、上面に試料が載置される設置テーブル１３とから構成され、Ｘ方向クロスローラガイド１４とＹ方向クロスローラガイド１５とを同一平面上に配する構成で、Ｘ方向クロスローラガイドをθＸ方向に、Ｙ方向クロスローラガイドをθＹ方向に夫々湾曲延出する形態として、揺動移動可能にすることもできる。 （もっと読む）

【課題】 気密室内を高真空状態にできるだけ短時間で達成できるようにするため、内部に設置される装置に使用される螺子体の螺子溝内の残留気体をも、迅速且つ確実に除去できるようにすることにある。
【解決手段】 周面に螺子溝４を刻設した螺子桿３に頭部２を付設した構成の螺子体１にあって、螺子桿３の一部を軸方向に沿って削切して切欠部５を形成し、或いはこの螺子体１に装着される座金６であって、一部に周縁から中心にかけての径方向に沿ってスリット７を開口形成した構成とし、気密室内に於けるディバイスに開設された螺子孔１１に、座金６を装着した螺子体１を螺合締付けした形態で、螺子孔１１内に螺子桿３の切欠部５との間で、螺子溝４と連通する気体通路１２を形成し、更にスリット７と気体通路１２とを連通させた姿勢にして気体の流出通路を確保する。 （もっと読む）