【課題】エッチング処理が行われる処理槽内のエッチング液中の溶存物質の含有量が精度良く一定にコントロールされるようにエッチング液を再生できるエッチング液再生システムを提供すること。
【解決手段】エッチング槽又は循環経路内のエッチング液に溶存する物質の含有量を測定する溶存物質含有量測定手段３１０を設け、溶存物質含有量測定手段３１０で測定される溶存物質の含有量に基いてエッチング液再生手段からエッチング槽へ戻される再生エッチング液の液量を決定する。溶存物質含有量測定手段３１０はエッチング液Ｍとの界面をなすプリズム３１２の境界面３１２ｂに光源からの光を入射させて、該プリズム境界面３１２ｂからの反射光Ｒ２の反射度を検出する光学部１と、該光学部１の検出信号に基づいて、エッチング液中の溶存物質含有量を算出するデータ処理部２とで構成する。 （もっと読む）

【課題】エッチング液から高い除去率でケイ素化合物を除去することができ、エッチング液を処分することなく再利用する。
【解決手段】取り出されたエッチング液を霧化する霧化手段１１と、霧化によって析出および／または凝集されるエッチング液中のケイ素化合物を、エッチング液から分離除去して再生エッチング液を得る分離手段１２を備えている。また、エッチング液の温度調整を行う温度調整手段２３を備えて、エッチング液が霧化手段１１によって霧化されたときのケイ素化合物の析出および／または凝集を制御して分離手段１２によるケイ素化合物のエッチング液からの分離除去が制御された残留濃度に調整し、ケイ素化合物濃度を任意に調整し得るようにしている。 （もっと読む）

【課題】吸光度と溶存成分（無機物質）の濃度との間に十分な相関係数が得られない液体であっても、溶存する無機物質の濃度をプロセスのインラインで高精度に測定することができる溶存無機物質濃度測定方法及び測定装置の提供。
【解決手段】無機物質が溶存する液体に、互いに波長が異なる複数種の光を順次透過させて、前記液体についての前記単一波長光又は前記互いに波長が異なる複数種の光の各光の透過率を検出する光学部１、前記液体の温度を低下させる冷却手段３１、前記液体の温度を検出する温度検出手段３３と、前記光学部および温度検出手段の検出値に基いて、前記液体の最初に透過率変化が現れた温度の前記無機物質の飽和溶解度を前記液体の溶存無機物質濃度として導出するデータ処理部１６とを備えた溶存無機物質濃度測定装置。 （もっと読む）

【課題】トレンチ、コンタクトホール、ディープパターン、或いは多孔質基板の細孔等の窪み内を確実に処理しうる処理方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの表面にアルコール類Ｘを接触させて、該アルコール類Ｘを窪みＷ−１内に進入させ、基板Ｗを収容する処理槽１内に基板Ｗが漬かる水位まで薬液Ｍを送り込んで薬液Ｍを窪みＷ−１内に進入させ、処理槽１内から薬液Ｍを排液し処理槽１内を減圧することにより窪みＷ−１内に進入してアルコール類Ｘと混ざった薬液Ｍの一部を蒸発させる処理を数回にわたって繰り返す。 （もっと読む）