【課題】導電性ボールを基板に配置するための複数の開口を備えたマスクと前記基板とを位置合わせした状態で、前記複数の開口に前記導電性ボールを充填する装置を提供する。
【解決手段】充填装置は、マスク１１の表面の一部の２次元的な限られた広がりを備えた区域２６であって、マスク１１の表面の移動先の区域に、２次元的な広がりを備えた導電性ボールの集団１６を形成するヘッド２０と、ヘッド２０を移動する手段と、ヘッド２０とともに移動されるボール供給装置６０であって、移動先において、２次元的な広がりを備えた導電性ボールの集団１６に導電性ボールを補充するボール供給装置６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】マスクの複数の開口に導電性ボールを充填する装置によって基板に導電性ボールを搭載する方法であって、導電性ボールの搭載時間を短縮できる方法を提供する。
【解決手段】当該方法は、移動装置によって複数の動区域Ａ１〜Ａ４の相互の間隔を所定の値に保った状態でボール保持装置を往復移動させることにより、複数のヘッドを、往路および復路のそれぞれにおいて、それぞれの動区域Ａ１〜Ａ４の中心が、往復移動の方向に一連に並べられたいくつかの開口グループＭを含み、動区域Ａ１〜Ａ４が未通過の第１の開口グループ列１２１、および第１の開口グループ列１２１に隣接し、動区域Ａ１〜Ａ４が未通過の第２の開口グループ列１２２を通過するように移動させることを含む。 （もっと読む）

【課題】ワークの反りを矯正し、導電性ボールを精度よく搭載できる装置を提供する。
【解決手段】ボール搭載装置１は、ワーク１００に導電性ボールＢを搭載するための複数の開口１２を備えたマスク１０と、ワーク１００の少なくとも下面側を支持し、ワーク１００のマスク１０に対する位置を制御する保持テーブル３１と、マスク１０の上面１１に沿って移動し、マスク１０の複数の開口１２のそれぞれに導電性ボールを充填する充填ヘッド５と、充填ヘッド５の移動経路と干渉しない位置からマスクを冷却する冷却装置６０とを含む。このボール搭載装置１においては、保持テーブル３１によりワーク１００を加熱した状態で吸引支持しながらマスク１０と位置合わせし、冷却装置６０でマスク１０を冷却しながら充填ヘッド５により導電性ボールをワーク１００に搭載する。 （もっと読む）

【課題】新たなハードウェアを必要とせず、タクトタイムを変化させることなく、振動を抑制する。
【解決手段】パラメータ生成部１０２は、基準距離について、予め定めた移動時間毎に、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを生成する。データベース１０３は、パラメータ生成部１０２から供給されたパラメータを記憶する。パラメータ決定部１０４は、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを決定する。軌道計算部１０５は、決定されたパラメータから軌道を計算する。本発明は、ロボットを制御する制御装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】はんだ付けする領域が小さくなるとフラックスの量が少なくなり、はんだ付けの強度が低下することを防止し、且つはんだバンプが小さくなることにより基板の反りよるはんだ付け不良の発生を防止すること。
【解決手段】
基板を載置してはんだをリフローする超音波ホーンの面積を基板の面積以上に大きくし、且つ基板を超音波ホーンに吸引固定して、超音波振動を基板の厚み方向に印加しながら、はんだを溶融する。そして、基板搬送には、搬送アーム方式を採用し、基板の温度と、予熱台、加熱台と冷却台の温度との差を小さくしてから基板を予熱台、加熱台と冷却台に搭載することにより基板の反りを防止する。 （もっと読む）

【課題】半田の溶融に併せて基板に超音波振動を印加するリフロー半田付け装置において、基板の加熱時に発生する基板の湾曲の防止と、半田付け処理時間の短縮化を図ること。
【解決手段】
半田の溶融に併せて基板Ｐに超音波振動を印加する構成を有するリフロー半田付け装置において、半田接合部が形成される基板Ｐに搭載されている半田ボールＨＢを加熱し溶融させる加熱機構４と、この加熱を行う前に、基板Ｐを予熱する予熱機構３と、半田ボールＨＢが溶融された後、溶融された半田を冷却する冷却機構５と、予熱時、および加熱時において、基板Ｐの雰囲気を窒素雰囲気とすることができる窒素ガス噴出部３０，３１と、基板Ｐを、予熱領域５８、加熱領域５９、冷却領域６４の順で搬送する搬送機構８とを備える。 （もっと読む）

【課題】オフコンタクト印刷方法において、マスクと基板とのギャップに起因する印刷剤の印刷位置ずれとマスクと基板の寸法の製造誤差を補正する。
【解決手段】印刷装置の枠体に固定されたマスクと、マスクの下方で移動可能に配設されたステージと、このステージに固定された基板と、マスク上に供給された印刷剤をマスクの開口から基板の電極に印刷するスキージとを有する印刷装置を用いて印刷剤を基板上にオフコンタクト印刷する印刷方法において、第１の基板に印刷される印刷剤の位置ずれ量を実測し、位置ずれ量が小さくなるように、第２の基板の印刷中に基板を載置したステージをずれ量に基づいて移動する。 （もっと読む）

【課題】振動子の超音波振動をホーンに効率よく確実に伝達することができるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】超音波振動する振動子２３と、振動子とともに超音波振動するようその一端面に振動子の一端面が連結されるホーン２２と、ホーンに設けられ半導体チップに上記荷重とともに超音波振動を加えるツール部と、ホーンの一端面と振動子の一端面との間に設けられ振動子とホーンを連結したときに、一側面が振動子の一端面に密着し他側面がホーンの一端面に密着する振動伝達部材１９を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の反りを矯正して基板載置部に基板を密着させて、フラックス印刷とボール振込を行うボール振込装置を提供する。
【解決手段】ローダ・アンローダ部４と、フラックスを基板に印刷するフラックス印刷部２と、基板の電極またはバンプに対応した孔が開口しているマスクと、ボール振込部１からなるボール振込装置を用いて、基板の電極にボールを搭載するボール搭載方法である。反りのある基板は、反り矯正部３で基板載置部に複数個所を加圧され押さえ付けられ、更に真空吸着された状態でフラックス印刷部２へ送られる。 （もっと読む）

【課題】導電性ボールをマスクの複数の開口にミスが少なく、より確実に充填できる導電性ボールの搭載装置を提供する。
【解決手段】導電性ボール１５を配置するための複数の開口を備えたマスク１１を基板１０にセットした状態でマスク１１の複数の開口に導電性ボール１５を充填する搭載装置１を提供する。搭載装置１のヘッド２０の下面には、動区域２６の導電性ボール１５の密度を検出する光学センサー６５が設けられている。この光学センサー６５は、動区域２６の導電性ボールが存在する領域２６ａおよび導電性ボールが存在しない領域２６ｂの有無を検知する。 （もっと読む）