説明

ジャパンスーパークォーツ株式会社により出願された特許

1 - 10 / 90


【課題】長時間の高温条件下におけるシリコン単結晶の引き上げにおいてシリカガラスルツボの内表面にブラウンリングや開気泡の発生が抑制されるシリカガラスルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、合成シリカ粉から形成される内面層と、天然シリカ粉から形成される外面層と、を備えるシリコン単結晶引き上げ用シリカガラスルツボであって、前記内面層は、ラマン法で測定した波長492cm-1のピーク強度D1と、波長606cm-1のピーク強度D2との強度比D1/D2が、1.8以上2.0以下の合成シリカ粉を熔融して形成されるシリカガラスルツボが提供される。 (もっと読む)


【課題】シリコン単結晶引き上げ中の高温下において沈み込みが抑制されたシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】シリカガラスルツボの製造では、中空状のモールドを回転させながらモールド内にシリカ粉を供給してシリカ粉層を形成し、シリカ粉層を加熱溶融してシリカガラス層を形成する。シリカ粉層を形成する工程は、ルツボの上端から当該上端よりも下方の第1の中間位置までの範囲に属するルツボ上部に相当するモールド内の所定の位置に第1のシリカ粉を供給する工程と、第1の中間位置からルツボの下端までの範囲に属するルツボ下部に相当するモールド内の位置に第2のシリカ粉を供給する工程と、第1及び第2のシリカ粉に覆われたモールドの内面に第3のシリカ粉を供給する工程とを含み、第1のシリカ粉の粒度分布は第2のシリカ粉の粒度分布よりも広く且つより多くの微粉を含む。 (もっと読む)


【課題】内表面の状態(ルツボ内表面特性)などが適切に制御されたシリカガラスルツボを製造する。
【解決手段】回転するモールド10内で、シリカ粉末からなるシリカ粉層11を複数本の炭素電極13によるアーク放電で加熱熔融し、シリカガラスルツボを製造する方法であって、上記シリカ粉層11の複数箇所について、加熱熔融時における最適熔融温度を予め求めておく予備工程と、上記複数箇所の加熱熔融時の実温度を測定する温度測定工程と、上記最適熔融温度になるように、上記複数箇所の上記実温度を制御する温度制御工程とを有するシリカガラスルツボの製造方法。 (もっと読む)


【課題】シリカガラスルツボ製造時の熔融状態を制御して、シリコン単結晶製造時のルツボ内表面のブラウンリング発生を防止し、湯面振動を抑制するシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリカガラスルツボ製造方法は、原料シリカ粉をルツボ成形用のモールド内に成形し、そのシリカ粉層をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボを製造する方法であって、原料シリカ粉を前記モールド内部に供給してシリカ粉層を形成するシリカ粉供給工程と、複数本の炭素電極によるアーク放電でシリカ粉層を熔融するアーク熔融工程とを有し、前記アーク熔融工程では、シリカ粉層の内表面に設定した複数の測定点の温度を測定し、各測定点にて熔融の初期に現れる最初の温度の極大点Tpを検知する。 (もっと読む)


【課題】シリカガラスルツボ製造時の熔融状態を制御して、シリコン単結晶製造時のルツボ内表面のブラウンリング発生を防止し、湯面振動を抑制するシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリカガラスルツボ製造方法は、原料シリカ粉をルツボ成形用のモールド内に供給してシリカ粉層を形成し、そのシリカ粉層をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボを製造する方法であって、原料シリカ粉を前記モールド内部に供給してシリカ粉シリカ粉層を形成するシリカ粉供給工程と、複数本の炭素電極によるアーク放電でシリカ粉シリカ粉層を熔融するアーク熔融工程とを有し、前記アーク熔融工程では、前記シリカ粉層の温度を測定し、上記アーク熔融工程の初期に現れる最初の温度の極大点Tpを基準温度とし、上記基準温度に基づいてシリカガラス熔融状態を制御する。 (もっと読む)


【課題】製造工程でのルツボの取り違えを防止することができるシリカガラスルツボの製造方法を提供する。
【解決手段】シリカガラスルツボの外形を規定するモールドの内面にシリカ粉を堆積させてシリカ粉層を形成するシリカ粉層形成工程と、前記モールド内で前記シリカ粉層をアーク加熱により溶融させると共に前記シリカガラス層と前記モールドの間に未溶融シリカ粉層が残留するようにアーク加熱を終了するアーク加熱工程と、取り出した前記シリカガラスルツボの外面にある未溶融シリカ粉層を除去するホーニング工程とを備え、前記ホーニング工程の前に、1又は複数の溝線で構成された識別子を前記シリカガラスルツボの外面にマーキングするマーキング工程をさらに備える。前記溝線は、前記ホーニング工程後の深さが0.2〜0.5mmであり、前記溝線の開口部での幅が0.8mm以上である。 (もっと読む)


【課題】内表面の状態(ルツボ内表面特性)などが適切に制御されたシリカガラスルツボを製造する。
【解決手段】回転するモールド10内で、シリカ粉末からなるシリカ粉層11を複数本の炭素電極13によるアーク放電で加熱熔融し、シリカガラスルツボを製造する方法であって、上記シリカ粉層11、上記熔融時に発生するヒューム、上記アーク放電で生じるアーク火炎からなる群より選ばれる1以上について、加熱熔融時における最適温度を予め求めておく予備工程と、最適温度が求められた上記群より選ばれる1以上について、加熱熔融時における実温度を測定する温度測定工程と、実温度が測定された上記群より選ばれる1以上について、最適温度になるように、実温度を制御する温度制御工程とを有するシリカガラスルツボの製造方法。 (もっと読む)


【課題】シリカガラスルツボの製造において製造中に正確な温度測定を可能とすること。
【解決手段】シリカ粉末をルツボ成形用のモールド内に供給してシリカ紛層を形成し、そのシリカ紛層をアーク放電によって加熱熔融してシリカガラスルツボを製造する装置であって、
シリカ粉を供給してシリカ紛層を形成するためのモールドと、複数本の炭素電極および電力供給部とを具備するアーク放電部と、少なくとも前記モールド内の熔融部分の温度測定を行う温度測定部とを有し、
前記温度測定部が、波長4.8〜5.2μmの放射エネルギーを検出して温度を測定する放射温度計とされてなる。 (もっと読む)


【課題】耐熱強度が高く長時間の引き上げに使用することができ、さらに低コストで製造可能なルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複合ルツボ10は、石英ガラスルツボ本体11と、ルツボの上端部に設けられた補強層14を備え、補強層14は、アルミナとシリカを主成分とするムライト質な材料で構成されている。石英ガラスルツボ本体11は、ルツボの外表面側に形成された不透明石英ガラス層12と、ルツボの内表面側に形成された透明石英ガラス層13とを備えており、不透明石英ガラス層12と補強層14はルツボの外層を構成しており、透明石英ガラス層13はルツボの内層を構成している。 (もっと読む)


【課題】シリコン単結晶引き上げ中の高温下において沈み込みが抑制された石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】石英ガラスルツボ10は、ルツボの外表面側に設けられた多数の気泡を含む不透明石英ガラス層11と、ルツボの内表面側に設けられた透明石英ガラス層12とを備え、不透明石英ガラス層11は、ルツボ上部に設けられた第1の不透明石英ガラス部分11aと、ルツボ下部に設けられた第2の不透明石英ガラス部分11bとを有している。第1の不透明石英ガラス部分11aの原料石英粉のOH基濃度が第2の不透明石英ガラス部分11bの原料石英粉のOH基濃度よりも高いため、第1の不透明石英ガラス部分11aの比重は第2の不透明石英ガラス部分11bの比重よりも小さい。 (もっと読む)


1 - 10 / 90