説明

フォトプレシジョン株式会社により出願された特許

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【課題】 積層型のマイクロチップを用いて化学反応を行わせるに際して、その温度制御を精度高く行うことができるようにする。
【解決手段】 シリコン基板10の表裏両面に、化学物質を通す1mm以下の幅の流路を形成する。前記流路は、前記シリコン基板10を貫通する孔により連絡されている。積層チップは、前記シリコン基板10の表裏両面に接合して積層された第1および第2のガラス板20,30を有し、前記第1および第2のガラス板20,30の少なくとも一方には、加熱手段としてのITO膜と、白金及び電極よりなる温度検知手段とが設けられている。 (もっと読む)


【課題】 マイクロチップを用いて、微量成分の濃縮が再現性よく行えるようにする。
【解決手段】 シリコン基板11の表面に、ICP加工で、流路13を形成する。流路13内に堰部14を設け、堰部14で分断される流路13a、13b連絡する連絡流路15を堰部14内に複数設ける。堰部14の前には、活性炭等の吸着剤からなる吸着部16が形成される。かかる構成の流路13を設けたシリコン基板11は、ガラス板12aと陽極接合されてマイクロチップ10として構成される。 (もっと読む)


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