【課題】液体原料のクラスターと気体原料のクラスターの比率を容易に制御することのできるクラスタービーム合せい装置を提供する。
【解決手段】クラスタービーム２６を発生させるクラスタービーム発生装置１０において、気体原料と液体原料とを混合する混合器４０と、前記混合器４０において混合された前記気体原料及び前記液体原料をクラスターとして供給するノズル２１と、前記ノズル２１の温度を調整する温度調整部２３と、を有し、前記温度調整部２３により、前記ノズルの温度を変化させることにより、前記クラスターにおける前記液体原料のクラスターと前記気体原料のクラスターとの比率を調整することを特徴とするクラスタービーム発生装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板等の表面の平坦性を向上させる表面処理方法を提供する。
【解決手段】窒素を含まない原料のガスクラスターイオンビームを発生させ、被処理部材に照射する第１の処理工程と、窒素のガスクラスターイオンビームを発生させ、前記被処理部材に照射する第２の処理工程と、を有することを特徴とする表面処理方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】光入射面内で任意の大きさと方向とを有する複屈折分布が形成された光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子は、４００〜１７００ｎｍの範囲の波長を有する光に対して０．００１〜０．７の範囲の複屈折を有する媒質を含み、波長の０．０１〜１倍の大きさを有した周期間隔を有した周期構造が表面に設けられ、媒質では複屈折の大きさと方向とが異なる複数の領域を有していることを特徴とする。これらの領域の各々では、媒質を構成する分子の配向方向と秩序とが異なっていることが好ましい。また、周期構造はナノインプリント技術により形成されることが好ましい。分子の配向方向と秩序とは、媒質に偏光照射を施し、さらに熱処理を施すことで制御されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】設計自由度が高く曲げ強度が高く極めてアスペクト比が高いニードルを提供する。
【解決手段】最小幅１μｍ以上の連続領域を保護する膜であるリード保護膜Ｒ１をシリコン基板１００の主面１０１の一カ所以上に形成する工程と、シリコン基板１００の主面１０１のリード保護膜Ｒ１から露出している領域を垂直方向にエッチングすることによって直柱体１０２を形成する工程と、直柱体１０２の内部に酸化されずに残る直柱体領域１０４の横断面最大幅が１μｍ未満になるまでシリコン基板１００を熱酸化する工程と、シリコン基板１００に形成された酸化膜１０３を除去することによって、直柱体領域１０４からなるリードと、底に向かって広がるフレア面を側面とし頂からリード１０４が突出するマウント１０５とを有しシリコンからなるニードル１０を形成する工程と、を含むシリコンナノニードルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、ビームラインの方向をほとんど変えずに、Ｘ線の吸収による減衰を抑えながら、Ｘ線を集束又は平行化することができるＸ線屈折方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線Ｂ１が入射又は出射する第１面２と、前記第１面２から離れた位置から当該第１面２の反対側へ前記第１面２に垂直にかつ互いに平行に延びる複数の第２面４及び各前記第２面４の先端からその内側に隣り合う他の第２面４の基端に至るように延びる複数の第３面５を有し、前記第２面４の基端を通り前記第１面２に平行な面、前記第２面４及び前記第３面５により規定される複数のプリズム部６を有する屈折部３と、を備えたＸ線屈折素子１を、前記第１面２がＸ線Ｂ１の入射又は出射軸Ｂ_ｉｎに対して垂直な角度位置から前記第２面４に垂直なＺ軸の回りに所定角度θ回転した位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型であっても、従来の性能を少なくとも維持したまま電極を設けることが可能な慣性センサを得る。
【解決手段】本発明の慣性センサは、基板１０上面部の所定位置に配設された電極２１〜２９（Ｚ軸方向慣性検出用）、電極３１〜３９（Ｘ軸方向慣性検出用）と、該電極間の所定箇所に配設された圧電素子６１〜６８（Ｚ軸方向慣性検出用）、圧電素子７１〜７８（Ｘ軸方向慣性検出用）とを備えている。圧電素子６１〜６８は、各圧電素子で出力された電圧が加算されるように設けられている。また、圧電素子７１〜７８も、各圧電素子で出力された電圧が加算されるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】キクなどの短日植物の開花遅延の回避又は開花反応の制御を行いつつ、防虫効果を得ることのできる植物の栽培管理方法および照明装置を提供する。
【解決手段】本発明は、植物の照明栽培方法であって、照明は、出射光が緑色から赤色の領域に発光ピーク波長を有する複数の光源を用いて行い、複数の光源の各光源は、所定の明期幅と、該明期幅より時間平均明るさが小さい暗期幅とを１周期とする点滅パターンで同期して又は独立して発光強度が変化するものであり、パターンは、下記式（１）で示されるデューティが５０％以下であり、
デューティ（％）＝明期幅／（明期幅＋暗期幅）×１００ （１）
複数の光源により照明される領域の少なくとも一部は、複数の光源からの照明のパターンの合成により、照明されることにより防虫効果を備える、植物の照明栽培方法である。 （もっと読む）

【課題】ブラシ機構を用いることなく、ボビンの過剰な糸巻き出しを抑制し、シャトル移動の十分な高速化を図れることができる織機の糸張力装置を提供する。
【解決手段】糸張力装置は、経糸（縦糸）の周囲を回転移動するシャトルに設けられたボビンの糸の張力装置であって、ボビンの回転軸の周囲に設けられた複数の翼と、シャトルの停止位置でボビンの糸の巻きだし回転方向とは逆方向に翼に風圧を付与する空気噴出し部と、空気噴出し部に空気を送り込むエアーコンプレッサーと、エアーコンプレッサーに対してシャトルの停止と同期した制御信号を送る制御部とを備えた構成とされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有効微生物コーティング種子の品質管理・品質保証に関する新規な方法を提供することを目的とする。
【解決手段】有効微生物コーティング種子における有効微生物の活性を評価する方法であって、有効微生物コーティング種子から幼植物を得る第一工程、前記幼植物における遺伝子の発現量を測定する第二工程、および前記発現量を指標として、有効微生物コーティング種子における有効微生物の活性を評価する第三工程、を含む方法。 （もっと読む）

【課題】製造コストの高い真空プロセスに頼らずに、再現性よく高い光電変換効率が得られる、ＣＩＳ太陽電池等に適した光電変換素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、金属酸化物半導体層、及びＩｎ_２Ｓ_３からなるバッファー層を備え、
該バッファー層は、金属酸化物半導体層上にスプレー法により形成され、厚みが０．２〜１．０μｍである、光電変換素子。 （もっと読む）