【課題】 高加重時においてもスムーズな駆動及び位置合わせを行うことがスライド機構を提供すること。
【解決手段】 下面板１２と、上面板１４と、中間板１６とを備える。台形状に形成された中間板１６は、ネジ１８により上面板１４に締結され、中間板１６と上面板１４とで、アリが形成された第２の部材を構成する。下面板１２（第１の部材）には、当該アリに嵌合するアリ溝が形成されている。中間板１６の側面に、コロ３２、３４を配置し、中間板１６の底面に、コロ３６を配置する。 （もっと読む）

【課題】高加重時においてもスムーズな駆動及び位置合わせを行うことが可能なステージ装置を提供すること。
【解決手段】下面板１２と、上面板１４と、中間板１６とを備える。台形状に形成された中間板１６は、ネジ１８により上面板１４に締結され、中間板１６と上面板１４とで、アリが形成された可動部材を構成する。下面板１２（不動部材）には、当該アリに嵌合するアリ溝が形成されている。中間板１６の側面に、コロ３２、３４を配置し、中間板１６の底面に、コロ３６、３８を配置する。 （もっと読む）

【課題】 高い精度で被測定物の変位を測定することが可能な光学式変位計及び光学式変位測定方法を提供すること。
【解決手段】 被測定物４０からの反射光の位置変化を検出して被測定物４０の変位ｄを測定する光学式変位計において、光源１２から出射した光を第１のレンズ１４を介して平行光に近い収束光として円アパーチャ１６に照射させ、円アパーチャ１６から出射した発散光を第２のレンズ１８を介して平行光に近い発散光として被測定物４０に投射させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】被測定物が高速回転する場合であっても、その表面に傷等を付けることなく、２次元平面内変位を測定する。
【解決手段】変位計は、被測定物１０の表面の第１スポットＳ１で反射されたビームに含まれる前記２次元平面内を通過するビームを、第１偏光反射ビーム４０として受光するとともに、第２スポットＳ２で反射されたビームに含まれる前記２次元平面内を通過するビームを、第２偏光反射ビーム４２として受光し、ビームスプリッタ６００を介して、光軸に平行なビームが撮像手段の撮像面に結像するように形成されたテレセントリック光学系に導く。二つの光路には、前記第１、第２偏光ビームを前記２次元平面内と交差する方向に光学的に位置シフトさせるプリズム４００，４１０が設けられ、更に第２の反射光路には、撮像面までの光学倍率を第２の反射光路の光学倍率と等価的に同一に補正する光学倍率補正光学系５００が設けられている。 （もっと読む）

【課題】収差補正等の対物レンズの基本的な性能を確保することとは独立に、フレアー光による画像の劣化を防止することが可能である。
【解決手段】対物レンズ12、ビームスプリッター18、凹面鏡20、チューブレンズ22、照明用光源14、及びコリメートレンズ16を具えて構成される対物レンズ光学系である。物体面10に対する照明の方式は、照明光がビームスプリッターの反射面18Rで反射され、対物レンズを介して物体面に照射されることによって実現される落射照明方式である。凹面鏡の反射面20Rの幾何学的形状は、対物レンズの最近接物体面12Rの幾何学的形状と同一の形状とされている。最近接物体側面で反射されて結像面に入射するフレアー光と、凹面鏡の反射面で反射されて結像面に入射する反フレアー光が、結像面において互いに干渉して弱め合う構成とされている。 （もっと読む）

【課題】光学素子の表面形状に依存することなく、しかも低コスト、小電力でしかも短時間で、光学素子表面に形成されたナノオーダの凹凸をエッチングして平滑化する。
【解決手段】イオンが予め打ち込まれて異屈折率領域６１を点在させた光学素子２を原料ガス雰囲気中に配置し、原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上の光を光学素子２に照射することにより、異屈折率領域６１に発生させた近接場光に基づいて原料ガスを解離させて選択的にエッチングし、また異屈折率領域６１に発生させた近接場光に基づいて温度上昇を起こさせることにより脈理を除去する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の表面形状に依存することなく、しかも低コスト、小電力でしかも短時間で、光学素子表面に形成されたナノオーダの凹凸をエッチングして平滑化する。
【解決手段】光学素子２を原料ガス雰囲気中に複数段に亘り重ねて配置し、原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上の光を光学素子２に照射することにより、これを光学素子２の上段から下段へ順次透過させ、各光学素子２表面に形成された凹凸における少なくとも先鋭化部分において発生させた近接場光に基づいて原料ガスを解離させてエッチングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学素子の表面形状に依存することなく、しかも低コスト、小電力でしかも短時間で、光学素子表面に形成されたナノオーダの凹凸をエッチングして平滑化する。
【解決手段】原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、太陽光を光学フィルター１５により原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上のみ透過させ、光学フィルター１５の透過光を光学素子に照射することにより、光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも先鋭化部分４３に近接場光を発生させ、発生させた近接場光に基づいて原料ガスを解離させることにより、少なくとも先鋭化部分４３をエッチングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学素子の表面形状に依存することなく、しかも低コスト、小電力でしかも短時間で、光学素子表面に形成されたナノオーダの凹凸をエッチングして平滑化する。
【解決手段】光学素子２の表面を所定の溶質分子を含む液体表面へ向けて近接させつつ、光学素子２に対して溶質分子の吸収端波長以上の光を照射し、光学素子２の表面が液体表面へほぼ接触した時において、照射した光に応じて光学素子２表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて溶質分子を解離させてエッチングすることを特徴とする。 （もっと読む）