【課題】 高純度の水を高い量精度で封入することが可能な水封入方法および水封入装置を提供すること。
【解決手段】 イオン交換樹脂を内蔵する純水製造装置４３で不純物イオンを除去して不純物イオンを所定率以下とし、ヒータ４４により加熱脱気するとともに貯留タンク４６内で貯留するときに減圧することで溶存酸素濃度を所定率以下として貯留タンク４６内に高純度水を貯留する。そして、貯留する高純度水を質量流量計５３で流量検出しつつガン１０から容器体１内に注入する。したがって、容器体１内に高純度の水を高い量精度で封入することができる。 （もっと読む）