【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】冷熱サイクル耐用性に優れ、実用的であるサニタリ用オイルレス圧力センサを提供する。
【解決手段】一面が測定流体に接する金属製測定ダイアフラム１と、前記測定ダイアフラムの他面に順次積層蒸着された絶縁薄膜２、薄膜歪ゲージ３および電極パッド薄膜４と、前記電極パッド薄膜に接続され、前記薄膜歪ゲージの電気信号を取り出す中継リード線５とを備えた圧力センサにおいて、前記電極薄膜の膜厚を２．０〜６．０μｍに選定し、前記中継リード線を前記電極パッド薄膜に直接溶接する。 （もっと読む）