【課題】非接触で導体パターンに容量結合する電極を用いた回路パターン検査装置において、電極と対向する導電パターン部分の欠陥を検出可能にする。
【解決手段】回路パターン検査装置１は、ガラス基板等の絶縁性を有する基板１００上に形成された複数列の導電体パターン１０１上方に所定距離を離間して設けられる検査部２と、検査部２の離間（非接触）状態を維持し、導電体パターン１０１上方を交差する方向ｍに移動させる移動機構３と、移動機構３を駆動制御する駆動制御部４と、検査部２に交流からなる検査信号を供給する検査信号供給部１３と、検査部２から検出された検出信号に信号処理を施す検出信号処理部５とを備える。検査部２は、検査電極対２１の電極が対向する導電パターン部分に対して欠陥を検出する補完電極対２２とで構成される。 （もっと読む）

【課題】導体パターンに非接触で容量結合した電極を用いた回路パターン検査装置においては、検査対象の導電パターンの微細化が進むと共に、得られる検査信号値が小さくなり、欠陥の判定が難しくなっている。
【解決手段】回路パターン検査装置は、間隔を空けて配置された２組のセンサ対を備える検査部を移動しつつ、各導電パターンに交流信号からなる検査信号を容量結合により印加し、且つ導電パターンを伝搬した検査信号を容量結合により検出して、一度の移動による検査により各導電パターンから検査信号をそれぞれに検出し、これらの検出信号を判定基準値と比較して欠陥候補を選出し、各検査信号における導電パターンの位置を一致させて、欠陥候補どうしを比較し、同じパターン位置に共通して欠陥候補が存在する導電パターンを不良と判定する。 （もっと読む）

【課題】後の製造工程で発生する可能性がある進行性の欠陥を見出す方法の提供。
【解決手段】基板９、配線パターン（第１の配線パターン）１０、層間絶縁膜１１および配線パターン（第２の配線パターン）１２によって構成される回路基板に対して、バイアス電源８に接続したグリッド部５を通過したプラズマ生成部２で発生させたプラズマを照射して、前記回路基板に電気的ストレス及び熱ストレスを掛けることにより、進行性を有する欠陥を顕在化させるスクリーニング装置１及びそれによるスクリーニング方法である。 （もっと読む）

【課題】導電パターン間の短絡を検出する際に、同一の周波数の検査信号を用いることのできる回路パターン検査装置を提供する。
【解決手段】隣接する２つの導電パターン２ａ、２ｂに同じ周波数で同じ波形を有し、位相が反転した２つの検査信号Ｓ１、Ｓ２をそれぞれに印加し、導電パターン２ａ、２ｂ上方を非接触でセンサ部４を移動させて検査信号を検出部５においてそれぞれに検出する。センサ部４が短絡した箇所に接近するに従い、印加された検査信号が互いに打ち消されて、その検出値が急峻に減少することにより、短絡発生位置１００を見出す。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサユニットで導電パターンのオープン／ショートを検出可能な回路パターン検査装置およびその方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板３上に列状に配設された導電パターン２の良否を非接触で検査する際、検査信号を供給する給電部１２と、その信号を検知するためのセンサ１３とを近接して配する。かかる構成とすることで、オープン状態のない正常な導電パターン上にセンサ１３がある場合と、オープン箇所のある導電パターン上にセンサ１３が位置したときとで、そのセンサ１３による検査電流の検出レベルに顕著な相違が生じるため、オープン状態の検出を確実に行える。 （もっと読む）

【課題】非接触センサにより導電パターンの検査を行う検査装置は、より大型化された基板により生じる検査ステージ表面の高低差や基板の反りにより、検査時のセンサ部の移動機構の移動精度と技術的な難易度が高くなり、製造コストにも影響している。
【解決手段】検査時に非接触センサ部と検査ステージが固定され、搬送される基板が検査ステージから定距離の浮上した状態で通過し、検査対象となる基板上の導電パターンとセンサ部との距離が一定となり、検出された検出信号の電位レベルにおけるうねり等の上下変動が抑制され、簡易な搬送機構を用いて構成される回路パターン検査装置である。 （もっと読む）

【課題】交流の検査信号を用いる非接触センサにより導電パターンを検査する検査装置は、導電パターンの切断面同士が極近接して断線であれば、交流の検出信号は断線部分を容量結合した状態で伝搬され、断線不良が判断しづらい。
【解決手段】検査用プローブと検査対象との間の大気圧の空間を不活性ガス雰囲気下に生成し、電子線を照射して不活性ガスのイオンを発生させる。このイオン下で検査プローブに直流検査信号（バイアス電圧及び検査信号電圧）を印加した放電を利用して、検査用プローブと検査対象との電気的な導通を図る検査支援システムであり、このシステムを搭載して、検査信号を印加及び取得して回路配線の導通検査における良不良を判定する回路検査装置である。 （もっと読む）

【課題】従来の電子部品が実装された基板検査は、目視検査による実装の有無及び実装状態を判定しているため、検査時間を要し負担が大きく人為ミスが発生する虞がある。
【解決手段】本発明は、基板に実装された各電子部品に対して当接する可動軸を有するリニアスケールプローブが複数配置された検査パネルを備え、検査パネルを基板に宛がい、電子部品に当接した可動軸の移動により、リニアスケールプローブ内の高周波電力が印加される励磁コイルから発する磁界中を磁性体が移動し、磁性体の磁界移動から検出コイルにより検出された電圧信号に基づき、基板に実装される電子部品の有無及びその実装状態を検査して判定する基板検査システムである。 （もっと読む）

【課題】従来のハーネス検査は、目視検査による挿嵌位置と挿嵌状態の検査を信号ケーブル毎に手作業により検査しているため、検査時間を要し負担が大きく人為ミスが発生する虞がある。
【解決手段】本発明は、リード端子をコネクタ部の端子孔に挿嵌した際に、対向側から可動軸を有するリニアスケールプローブが配置された検査治具が装着され、予め指定された端子孔に挿嵌した際に、リニアスケールプローブの可動軸の移動距離と電気的な位置検出により、挿嵌位置と挿嵌状態を検査するため、製作作業と検査作業が同時に行われるハーネス検査システムである。 （もっと読む）

【課題】従来のプローブは、筐体からフリーな状態で引き出された配線であるため、配線引き廻しのためのスペースが必要であり、検査パネル製作時や補修時の曲げ伸ばしによる被覆の破れや断線する事態が想定される。
【解決手段】本発明は、筐体内を移動可能な磁性体を有する可動軸と、磁性体と対向し電界を発する一次コイルと、磁性体の移動による誘導電流を取り込む二次コイルと、一次コイル及び二次コイルに電気的に接続する第１及び第２のリード端子用電極が設けられるコンタクト部と、外部機器のハウジング部と嵌脱し、コンタクトピンと接続が可能で、第１及び第２のリード端子用電極に電気的接続されるリード端子が設けられたハウジング部とで構成され、基板に実装された複数の電子部品に可動軸を当接し、実装状態を検出する基板検査システムの検査パネルに用いられるリニアスケールプローブである。 （もっと読む）