【課題】蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスク１６を洗浄するための蒸着マスク洗浄装置としての電解洗浄装置１３は、蒸着マスク１６を収容する洗浄槽としての電解槽２０と、電解槽２０にアルカリ性の電解液を供給するポンプ２１および貯留槽２２からなる電解液供給部と、洗浄槽内に設けられている陽極電極２３および陰極電極２４の電極と、陽極電極２３および陰極電極２４の電極間に通電する通電部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】使用されずに放置されている医療機器を無くすことにより、医療機器の効率的な利用を図る。
【解決手段】医療機器１００の消費電流を検出し、その検出結果と医療機器１００のＩＤとを関連付けて送信する稼働状態検出装置１３と、稼働状態検出装置１３から送信された情報を受信し、受信した情報に基づいて、医療機器１００が稼働状態にあるか否かを医療機器管理者に報知する稼働状態報知装置１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査の定量性を確保するとともに、作業効率を改善するフォトマスク洗浄システムを提供する。
【解決手段】フォトマスクを洗浄する洗浄装置と、フォトマスクに付着している異物を検出する異物検出手段を有し洗浄装置により洗浄されたフォトマスクを検査する検査装置と、検査装置による検査結果に基づいてフォトマスクに異物が付着している箇所を再生部位として指示する指示手段を有し当該フォトマスクを再生する再生装置と、洗浄装置、検査装置および再生装置との間でフォトマスクを運搬する運搬装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化を招くことなく、また、溶接部位との位置関係などに関わらず、検出器を溶接部位に対して垂直に保持する保持機構、およびその保持機構を用いたスポット溶接検査装置を提供する、
【解決手段】固定板１１と、固定板１１に対向し貫通孔３３が形成された可動板１２と、固定板１１側の端部が当該固定板１１に固定され可動板１２側の端部に当該可動板１２が軸方向に往復自在に装着される連結部材１３と、連結部材１３により連結された固定板１１と可動板１２とを互いに離間する方向に付勢するコイルばね１４とを設け、可動板１２の貫通孔３３を、固定板１１に対向する側から反対側に向かうにしたがってその内径が徐々に大きくなるテーパ状に形成し、可動板１２側の端部が当該可動板１２の貫通孔３３に嵌合するテーパ状に形成された連結部材１３を、貫通孔３３に前記固定板１１と反対側から挿入する。 （もっと読む）

【課題】溶接部位の検査時間を短縮しつつ、製品の品質のばらつきを抑制するスポット溶接自動検査装置を提供する。
【解決手段】スポット溶接自動検査装置２０は、溶接検査機２１、リカバリ溶接機２２および検査用制御装置２３を備えている。スポット溶接自動検査装置２０は、第一溶接工程と第二溶接工程との間において、溶接検査機２１によりスポット溶接機３により溶接された溶接位置の検査を行い溶接の良否を判定するとともに、判定結果が否である溶接位置に対してリカバリ溶接機２２による再溶接を実施する。 （もっと読む）

【課題】構造の複雑化を招くことなく、回転軸部材の軸方向にかかる力を受け止めて位置ずれを抑制する複合駆動モータを提供する。
【解決手段】回転軸部材１８を、フランジ部２０と支持部２１とを有するスラスト軸受１５により軸方向から支持する。このスラスト軸受１５を駆動部１６によって軸方向に駆動することにより、回転軸部材１８を軸方向に往復移動させる。また、スラスト軸受１５のフランジ部２０および支持部２１をそれぞれ磁石で形成することにより、フランジ部２０と支持部２１との間に磁力による反発力を生じさせ、摩擦が発生しない非接触状態で回転軸部材１８を支持する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）

【課題】ユーザーによって誤った情報が入力されるおそれを抑制すること。
【解決手段】水噴霧量測定装置は、複数のスプリンクラーがそれぞれ噴霧した水の流量を個別に検出する複数の流量検出手段と、各スプリンクラーが噴霧した水の流量に関する信号を複数の流量検出手段から取得する制御装置と、を備え、制御装置は、並んで配置される複数の流量検出手段の実際の順序に関する情報を取得し、各流量検出手段が流量の検出を担当するスプリンクラーを指定するための入力を補助する画像として複数の入力欄８１−８６を、複数の入力欄を複数の流量検出手段の実際の順序と同様の順で画像表示装置に表示させ、各流量検出手段が複数のスプリンクラーのうちのどのスプリンクラーが噴霧した水の流量を検出するのかを指定する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】稼動状態の管理対象とする設備の内部構成を変更すること無く、設備の稼動状態を適切に管理する。
【解決手段】稼動状態の管理対象とする設備が第１の設備１１について、外部と第１の設備１１とを接続する４本の信号線１３ａ〜１３ｄにクランプ式検出センサ１４ａ〜１４ｄを接続し、これら４本の信号線１３ａ〜１３ｄに流れる電流を電磁誘導作用の原理を利用して検出し、クランプ式検出センサ１４ａ〜１４ｄから出力される複数の検出信号をサンプリングして第１の設備１１の稼動状態を判定可能となる信号条件を特定し、その信号条件が成立したときに稼動中信号を選択的に出力するラダー回路を編集し、その編集したラダー回路を第１のμＰＬＣ１５に設定する。 （もっと読む）