【課題】ホットプレス法によるナノプリントに使用されるスタンパの型押面に取付けられるスタンパ用表面材について、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を備えるとともに、そりが生じないようにする。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターン１が形成された薄片形からなる。表面がダイヤモンド２とされ表面のダイヤモンド２の背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドであるダイヤモンドライクカーボン３の層が存在する積層体からなる。 （もっと読む）

【課題】その表面が超硬材料からなり、高温でも変形しにくいため寿命の長いナノインプリント用スタンパとその製造方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが形成されたそのスタンプ面が、ダイヤモンドにより構成されているナノインプリント用スタンパ。とくにスタンプ面のダイヤモンドが、平均結晶粒径１μｍ以下の微細結晶からなる上記のスタンパ。また、基板上にリソグラフィーによりマザーモールドとなる微細パターンを形成するステップと、該微細パターンの表面に化学的気相成長法によりダイヤモンド膜を形成するステップと、このダイヤモンド膜が形成されたマザーモールドからダイヤモンド膜を分離するステップとを具備するナノインプリント用スタンパの製造方法。 （もっと読む）