説明

株式会社サキコーポレーションにより出願された特許

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【課題】被検査体の高さを少ない撮像回数で求める。
【解決手段】外観検査装置10は、周期的に明るさが変化する第1縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第1投影画像を撮像する。外観検査装置10は、第1縞パターンとは異なる周期で明るさが変化する第2縞パターンを異なる複数の位相で被検査体に投射して複数の第2投影画像を撮像する。外観検査装置10は、第2縞パターンに対応する被検査体の計測点の明るさ変動の位相を、第1投影画像及び第2投影画像における当該計測点の明るさと、第1縞パターン及び第2縞パターンのそれぞれに対応する明るさ変動の既知の関係とに基づいて求める。 (もっと読む)


【課題】基板の表面の高さを求める。
【解決手段】外観検査装置は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体12を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体12を検査する。外観検査装置は、被検査体12にパターンを投射する投射ユニットと、パターンが投射された被検査体12のパターン画像に基づいて被検査体12の表面の高さ分布を求める高さ測定部と、を備える。高さ測定部は、高さ分布における高さ値の出現頻度に基づいて基板表面の高さを特定する。 (もっと読む)


【課題】検被検査体の立体的な情報を用いて検査する放射線検査装置を提供する。
【解決手段】輪郭抽出部42は、基板および電子部品を含む被検査体の断面画像を画像解析し、当該断面画像の中から基板と電子部品とを接合するはんだ領域の輪郭を抽出する。法線ベクトル取得部48は、はんだ表面の3次元形状における法線ベクトルを求める。はんだ重心取得部44は、はんだ表面の3次元領域における重心の位置を取得する。接合状態検査部50は、前記法線ベクトル取得部が取得した法線ベクトルのうち、前記はんだ重心取得部が取得した重心位置を向く法線ベクトルの割合を取得し、当該割合が基板と電子部品とを接合するはんだの接合状態を判定するために定められた所定の割合を超える場合はんだの接合状態が良好と判定し、そうでない場合は不良と判定する。 (もっと読む)


【課題】処理に必要な資源を抑える技術を提供することにある。
【解決手段】照明ユニット30の点灯状態に応じて、増幅制御ユニット62が増幅器60による画像信号の増幅率を調整することにより、複数の検査用画像の光量を平衡させる。したがって、複数の検査用画像に対する画像処理を円滑化できる。 (もっと読む)


【課題】放射線検査装置全体としての撮像手順は最適化されているとまではいえず、計測速度には改善の余地がある。
【解決手段】放射線検査装置において、撮像手段は、被検査体の複数の箇所に複数方向から放射線を照射し、複数の放射線透過画像を撮像する。撮像経路取得手段は、放射線透過画像を撮像するための撮像条件に基づいて、複数の放射線透過画像を撮像するために要する時間が短くなる撮像経路を組み合わせ最適化問題を解くことで求める。撮像手段は、組み合わせ最適化問題を解くことで求めた撮像経路にしたがって複数の放射線透過画像を撮像する。 (もっと読む)


【課題】放射線を用いた検査装置の撮像系を簡便に補正する手段を提供する。
【解決手段】保持部は、治具と一体に構成されている、被検査体を固定する。検出部は、前記被検査体または前記治具を透過した放射線を検出して透過画像を生成する。ずれ量特定部36は、前記治具の透過画像を取得してその透過画像に映し出された治具の特徴点を特定し、当該透過画像に映し出された治具の特徴点と前記透過画像全体の中心とのずれ量を算出する。撮像制御部40は、前記ずれ量に基づいて前記被検査体と透過画像を取得する放射線検出器との位置関係を補正する。 (もっと読む)


【課題】検査ウインドウを自動的に精度よく設定する。
【解決手段】外観検査装置10は、基板と該基板に実装されている部品とを備える被検査体12を撮像して得られる被検査体画像を使用して被検査体12を検査する。外観検査装置10は、被検査体12にパターンを投射する投射ユニット26と、パターンが投射された被検査体12のパターン画像に基づいて被検査体12の表面の高さ情報を生成する高さ測定部32と、高さ情報を用いて特定される被検査体画像上での部品の配置に基づいて被検査体画像に検査ウインドウを設定する検査データ処理部34と、を備える。 (もっと読む)


【課題】検被検査体を簡便に検査することができる放射線検査装置を提供する。
【解決手段】基板表面検出部38は、基板および電子部品を含む被検査体の断面画像を画像解析し、前記断面画像の中から基板表面を映し出す表面画像を特定する。疑似断面画像生成部40は、前記表面画像を基準として前記断面画像に映し出されている前記基板と前記電子部品とを接合するはんだの領域を特定し、前記はんだを映し出す前記断面画像を積み上げることにより擬似的に撮像範囲に厚みを持たせた疑似断面画像を生成する。検査部42は、前記表面画像に映し出された前記はんだの領域および前記疑似断面画像に映し出された前記はんだの領域を画像解析することにより、前記はんだの接合状態の良否を推定する。 (もっと読む)


【課題】対象物を撮像し、その画像に基づいて行う局所的な位置補正の精度を高める。
【解決手段】検査装置は、複数の検査対象要素を有する被検査体を撮像して検査する。この検査装置は、被検査体画像において検査対象要素を相互に接続するパターンから特徴点を生成し、特徴点の基準位置からの変位に基づいて被検査体画像の位置ずれを補正する位置補正部と、位置が補正された被検査体画像を検査する検査部と、を備える。位置補正部は、パターンを表す折れ線上に特徴点を生成してもよい。位置補正部は、パターンを表す折れ線に含まれる線分の延長線上に特徴点を生成してもよい。 (もっと読む)


【課題】被検査体の観察に好適な断面画像が得られる放射線検査装置を提供する。
【解決手段】撮像部は、基板および電子部品を含む被検査体の複数の箇所に複数方向から放射線を照射し、複数の放射線透過画像を撮像する。断面画像生成部38は、前記複数の放射線透過画像に基づいて前記被検査体の複数の断面画像を再構成する。検査画像特定部74は、前記複数の断面画像に基づいて検査画像を取得する。補助画像特定部76は、前記被検査体の少なくとも一部が映し出されている補助画像を取得する。周波数解析部42は、前記検査画像と前記補助画像とが共通に含む周波数成分を特定する。周波数成分除去部44は、前記共通に含む周波数成分の影響を前記検査画像から軽減する。 (もっと読む)


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