【課題】α型結晶であって、その粒径が5〜60μmであると共に内部が緻密な、球状炭化ケイ素粒子、その製造方法、及び、それを原料として用いた焼結体又は有機樹脂複合体を提供する。
【解決手段】平均粒径が5〜60μmで細孔径が１μm以下の内部細孔体積が0.02cc/g以下、且つ、比表面積が１m²/g以下で平均（短径／長径）アスペクト比が0.65以上である球状α型炭化ケイ素を製造するために、少なくとも、（１）平均粒径が1μm以下でα型結晶である原料炭化ケイ素のスラリーをスプレイドライして多孔質で球状の粒子を得る工程、及び、（２）得られた多孔質で球状の粒子を焼結する工程を含む工程からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＣやＳｉの固体微粒子を含む液から比較的大粒径の固体微粒子を分離して回収するだけでなく、その固体微粒子より小粒径である超微細な固体微粒子を効率よく固液分離し、それら全ての固体微粒子を回収する方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＣ及び/又はＳｉの固体微粒子回収方法は、ＳｉＣ及び/又はＳｉの固体微粒子を含む液を、遠心分離又は／及び液体サイクロンにより該固体微粒子中の比較的大粒径の固体微粒子を分離して回収し、比較的小粒径の固体微粒子が残存する液を排出する第一工程と、第一工程から排出された液に、有機凝集剤を添加して該比較的小粒径の固体微粒子が凝集して形成される凝集体が含まれる液を、遠心分離又は濾過して該凝集体を回収する第二工程とを有する方法である。 （もっと読む）

【課題】高絶縁性の炭化ケイ素粉体、及び、耐熱性に優れると共に、高熱伝導性と高絶縁性を同時に有する複合組成物を提供すること。
【解決手段】表面が、焼成によって設けられた、厚みが10nm〜500nmの酸化物被膜によって被覆されてなることを特徴とする炭化ケイ素粉体。 （もっと読む）

【課題】 凝集性を改良した炭化ケイ素微粉を提供する。
【解決手段】 炭化ケイ素粗粉体に、金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子を加えてなる炭化ケイ素微粉であって、そのＢＥＴ比表面積比（＝金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子のＢＥＴ比表面積／炭化ケイ素粗粉体のＢＥＴ比表面積）が２０〜８０で、且つ、金属酸化物微粒子または炭化ケイ素微粒子の含有量が１〜１０％であることを特徴とする。前記炭化ケイ素粗粉体のＢＥＴ比表面積が１〜１０ｍ^２／ｇであること、前記金属酸化物が、ケイ素、アルミニウム、チタンの酸化物の少なくとも１種からなること、が好ましい。 （もっと読む）

【課題】溶液や廃液中のＳｉＣやＳｉを排水汚濁なく回収可能し、研削材、砥粒、研磨材として利用可能な炭化珪素を製造する。
【解決手段】ＳｉＣ微粒子及び／又はＳｉ微粒子を少なくとも含む溶液又は廃液を、炭素粉及び酸化珪素粉を少なくとも含む分離助材を用いて固液分離して固体分を得るステップと、この固体分を必要に応じて炭素粉及び／又は酸化珪素粉を含む添加剤と混合するステップと、炭化珪素を得るために、この固体分又は添加剤と混合された固体分を、非酸化性雰囲気で１８５０℃を超えて２４００℃未満に加熱反応させるステップとを少なくとも含んでなる炭化珪素の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】高熱伝導性で圧縮永久歪が小さく、かつ耐熱性にも優れ、定着ロールや定着ベルトの被覆材として好適に用いられるシリコーンゴム組成物、及びこの組成物を用いて形成された高熱伝導性熱定着ロール及び高熱伝導性熱定着ベルトを提供する。
【解決手段】熱硬化型シリコーンゴム組成物１００質量部に、表面鉄含有量０．２質量％以下で平均粒子径が１〜５０μｍの炭化珪素を５０〜８００質量部配合してなることを特徴とする高熱伝導性熱定着ロール又は高熱伝導性熱定着ベルト用シリコーンゴム組成物。 （もっと読む）

【解決手段】研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に配設される修正用砥石形状が、円形の中心部角度で１８０°〜９０°の扇紙形である定盤修正用砥石。
【効果】本発明によれば、研磨ワークを、実際に遊離砥粒を用いて研磨する際、定盤表面に存在する開放された粒状黒鉛穴に十分に砥粒が保持され、その保持力増加により安定した研磨力が得られ、尚且つ微細定盤面が研磨ワークに転写され、表面粗さが良い被加工物を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体の各製造工程で生じるシリコンウェハの切削屑、研削屑、研磨屑等の屑中のシリコンを再利用することができる成形品の製造方法を提供すること。
【解決手段】フェノール樹脂を揮発性溶剤に溶かし、ワニスを製造し、このワニスと、切削屑、研削屑、研磨屑等の屑中に含まれるシリコンとを混練し、硬化させた後、粉砕して成形材料とする（成形材料製造工程、処理Ｓ１）。その後、成形材料を加圧下で加熱して硬化させる（プレス成形工程、処理Ｓ２）。
その後、プレス成形された成形品を外周面を締付けながら、冷却し（冷却工程、処理Ｓ３）、さらに、熱処理を行なう（熱処理工程、処理Ｓ４） （もっと読む）

【解決手段】研磨ワーク保持用孔部を有する研磨ワーク用キャリアーを下定盤と上定盤との間にそれぞれ研磨パッドを介して挾持し、前記キャリアーの孔部に研磨ワークを保持し、前記両定盤及びこれと一体に研磨パッドと前記キャリアーとをそれぞれ回転させると共に、前記研磨パッドに遊離砥粒を供給して、該研磨パッドにより前記研磨ワークを研磨する研磨装置において、前記研磨パッドを表面調整するためのパッド表面調整用砥石であって、ロックウェル硬度（ＨＲＳ）が−５０〜−１２０である合成樹脂製弾性砥石からなる研磨パッド表面調整用砥石。
【効果】本発明の研磨パッド表面調整用砥石を用いることにより、研磨パッドに対する研磨力が向上し、しかも安定した研磨力を得ることができると共に、研磨ワークの仕上がり面粗さバラツキが少なく、安定した表面コンディショニング状態を可能にする。 （もっと読む）

【解決手段】 研磨定盤上に研磨ワーク保持用孔部を有する研磨ワーク用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に研磨ワークを保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して上記研磨ワークを研磨する研磨装置において、前記研磨定盤を表面調整するための定盤表面調整用砥石であって、ロックウェル硬度（ＨＲＳ）が−３０〜−１００である合成樹脂製弾性砥石からなることを特徴とする定盤表面調整用砥石。
【効果】 本発明によれば、シリコンウエハー、合成石英ガラス等の研磨ワークを効率よく研磨することができ、研磨時間を短縮化し得、これにより研磨コストを低減できる。また、研磨ワーク表面の粗度バラツキも小さく、安定品質の研磨品を得ることができる。 （もっと読む）