【課題】試料ガス中のキセノンガス等の測定対象ガスを、バックグランド放射能の影響を受けずに高感度で測定し、しかも、試料ガスの制約を少なくする。
【解決手段】試料ガス中の、キセノンガス、クリプトンガス及びラドンガスのうちの少なくとも１つのガスである測定対象ガスを測定する測定装置１は、前記試料ガスとアルゴンガス及び／又はヘリウムガスとを混合して混合ガスを得る混合手段３４と、混合手段３４により得られた前記混合ガスから不活性ガス以外の成分を選択的に低減させる低減手段３３と、低減手段３３により前記成分が選択的に低減された前記混合ガスが導入され、当該導入されたガスの質量分析を行う大気圧イオン化質量分析装置２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】物品が配置された加熱室を通流したガスの分析を、低コストで行う。
【解決手段】物品１７３が配置された加熱室１７４を通流したガスを分析する昇温脱離ガス分析方法において、加熱室１７４を通流したガスを、電圧が印加される２つの電極を配置した放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じた信号を得て、該信号に基づいて脱離ガスの分析を行う。 （もっと読む）

【課題】微量試料用昇温脱離ガス発生装置を開発する。
【解決手段】加熱手段領域内のキャリアガスの流入方向上流側に石英ウールが挿入されており、下流側に試料を導入すべき試料導入管が挿入されている、熱脱離ガス発生装置（ＴＤＳ）用の微量試料留置手段であって、該試料が生体関連試料である微量試料留置手段、ならびにキャリアガス供給手段と、加熱手段領域内のキャリアガスの流入方向上流側に石英ウールが挿入されており、下流側に試料を導入すべき試料導入管が挿入されている試料留置手段と、該試料留置手段を加熱する加熱手段、該加熱手段に接続された温度調節手段とを含むことを特徴とする微量試料用ＴＤＳであって、該試料が生体関連試料である微量試料用ＴＤＳ。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置などにおける高純度ガス供給システムの現地での施工時間等を短縮する。
【解決手段】表面清浄化部品の施工方法は、複数個の表面清浄化部品２ｃを組み立てるに際し、高純度不活性ガスを流しながら、ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側へと組み立てを行っていく。前記表面清浄化部品２ｃは、所定の表面清浄化を行った後、大気に暴露させる事なく高純度不活性ガスを充満させて気密封じを行ったものである。 （もっと読む）

本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチックの吸湿量によりガスバリア性の評価がばらつくという課題を克服し、容器をはじめとしてプラスチック成形体のガスバリア性をその吸湿量によらず、測定値の応答が良く且つ精度良く測定することを目的とする。 本発明に係るプラスチック成形体のガスバリア性測定方法は、プラスチック容器、プラスチックシート又はプラスチックフィルム等のプラスチック成形体を透過する測定対象ガスの透過量をガス分析装置により測定するガスバリア性測定方法において、前記プラスチック成形体を変形又は熱劣化させない温度範囲にて加熱して乾燥させる加熱乾燥工程を有することを特徴とする。
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【課題】本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチックの吸湿量によりガスバリア性の評価がばらつくという課題を克服し、容器をはじめとしてプラスチック成形体のガスバリア性をその吸湿量によらず、測定値の応答が良く且つ精度良く測定することを目的とする。
【解決手段】本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチック容器、プラスチックシート又はプラスチックフィルム等のプラスチック成形体を透過する測定対象ガスの透過量をガス分析装置により測定するガスバリア性測定方法において、前記プラスチック成形体の不純物濃度を低減する工程を有することを特徴とする。この工程にはプラスチック成形体に紫外線を照射するか、或いは、プラスチック成形体を減圧雰囲気におくか、或いは、プラスチック成形体を放電洗浄するかの少なくともいずれか一種を行なってプラスチック成形体を乾燥させる乾燥工程が含まれる。 （もっと読む）