【課題】簡単な操作手順で、付着した酸化亜鉛膜を確実に除去できる酸化亜鉛膜のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】透明導電膜として酸化亜鉛膜を生成する透明導電膜生成装置のチャンバー内面に付着した酸化亜鉛膜クリーニングするに当たり、チャンバー内を塩化メチルガスと水素ガスとで水素リッチの塩化メチルー水素混合ガス雰囲気に形成し、この塩化メチルー水素混合ガス雰囲気にあるチャンバー内にプラズマを発生させてチャンバー内面に付着した透明電極膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】オゾン濃度を精度よく検出できるコンパクトなオゾン検出センサを提供する。
【解決手段】透光性基板４ａ、４ｂの対の対向間隙５にオゾン含有流体Ｏを装入する測定セル４と、一方の基板４ａに紫外光ＵＶを照射する光源２０と、他方の基板４ｂの透光側に設けたドーピング又は真性欠陥により紫外光感度を増大させたＰ型又はＮ型の所定膜厚ｄの酸化亜鉛（ＺｎＯ）の薄膜１０と、薄膜１０に一定電圧を印加する電極対１１、１２と、電極対１１、１２間の電流を検知する計測回路１６とを備え、酸化亜鉛薄膜１０の所定膜厚ｄをＡ領域紫外光に対するＣ領域紫外光の感度比率（ＵＶＣ／ＵＶＡ）が所定比率以上となるように選択する。好ましくは、酸化亜鉛薄膜１０の所定膜厚ｄを、電極対１１、１２間の電流の時定数が所定値以下となる範囲内においてＡ領域紫外光に対するＣ領域紫外光の感度比率（ＵＶＣ／ＵＶＡ）が最大となるように選択する。 （もっと読む）

【課題】バブリング量の変化に追従してピックアップ量を制御することができるバブリング気化供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】熱交換器１１が内蔵された密閉原料槽１０内に液体原料Ｌを貯えると共に導入管８を挿入し、熱交換器１１に所定温度の熱媒Ｍを循環させつつ導入管８にキャリアガスＣを所定流量で導入して液体原料Ｌをバブリングし、バブリングによる気化ガスＧとキャリアガスＣとの混合ガス（Ｇ＋Ｃ）を原料槽１０の気相部から抜出して供給する。好ましくは、導入管８上に熱交換器１４を設け、所定温度の熱媒Ｍを原料槽１０内の熱交換器１１及び導入管８上の熱交換器１４に循環させつつキャリアガスＣを導入する。更に好ましくは、原料槽１０に原料補充管１５を接続すると共に補充管１５上に熱交換器１６を設け、その熱交換器１６にも熱媒Ｍを循環させながら液体原料Ｌを補充する。 （もっと読む）

【課題】安定した成膜レートを得ることができ、電気的パスを形成するための事前作業をすることなく安定した放電を得ることができるイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、真空チャンバ３の内部にプラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、真空チャンバ３の内部においてプラズマビームＰが照射されるハース５と、成膜用のタブレット２１をハース５から真空チャンバ３の内部に露出するように支持するタブレット支持棒２５とを備え、タブレット支持棒２５は、導電性であり、ハース５は、真空チャンバの内部においてタブレット２１と絶縁され、真空チャンバ３の外部においてハース抵抗１７を介してタブレット支持棒２５と電気的に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）