長手方向端領域におけるスパッタターゲットの利用改善のための装置および方法が提供される。端領域の腐食の集中は広げられ、これによりターゲットの有用寿命が延びる。これは、より広い中央領域においてより大きな比率のターゲット材料が取り入れられ、ターゲットはより長期間利用されるので、効率の改善をもたらし、無駄を低減する。
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円板状の工作物（２，３，４，５，７）のための搬送装置は、水平方向へ可動の搬送アームおよび工作物を載せるためにこれに配置された２つの長尺状の支持部材（２６，２７）と、工作物（７）を収容するために２つの向かい合う側に櫛形構造部（１８）を有するカセット（２０）とを含んでおり、前記支持部材（２６，２７）と前記櫛形構造部（１８）は、工作物（７）を垂直方向に持ち上げたり置いたりするために、工作物が置かれている場合に２つの隣接する櫛（１９）の間へ該支持部材を接触させずに挿入することができるように構成されており、前記支持部材（２６，２７）は、カセットへ係合するときに実質的にそれぞれ前記櫛形構造部と隣接して平行に櫛に沿って位置決めされるように配置されており（１８）、当該領域には工作物検出（７）およびその位置のための走査ビーム（３５）が設けられており、前記走査ビーム（３５）は前記カセット（２０）に対して相対的に高さに関して位置決め可能であり、前記走査ビーム（３５）は水平方向の工作物平面に対して小さい角度（３４）だけ傾いた状態で案内されている。
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この発明は、プロジェクタの照明システムに用いられるカラーホイールに関する。この発明によるカラーホイールは、ロータおよびロータを回転させるためのモータを含み、ロータはカラーフィルタセグメントによって形成されたリング状の半透明の領域を含み、半透明の領域はロータが回転すると連続的に光路に延在するよう適合され、回転軸に直交する第１の面のロータはさらに第１の釣合せ手段を含み、回転軸に直交する第２の面のロータはさらに第２の釣合せ手段を含み、第１および第２の面は間隔を置かれる。２面釣合せ手段により、カラーホイールは一層よく釣合せされる。
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本発明は、透明な物体で表面の下に位置するマーキングを生成する方法に関する。本発明によると、表面の下の５００μｍ以下にあるマーキングは、基材よりも高い破壊閾値をもつ、基材表面に塗布された層システムが塗布されることによって実現される。層システムが、読取り波長について反射減少性の層システムとして構成されると、読取り時のコントラストが高まる。層システムが、書込み波長について鏡として構成されると、強度を下げて反射で書込みをすることができる。
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ＰＥＣＶＤ反応装置の金属内面が、大表面基板（１５）上に蒸着されるμｃ−Ｓｉ層（１９）の厚み均一性および特性均一性に影響を及ぼすことを回避するために、各基板を単独処理する前に、言及した壁の少なくとも一部を、誘電体層（１３）でプレコートする。
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マグネトロンスパッタリング源は、複数の電極（１２）とスイッチング回路（１４）とを含む。スイッチング回路（１４）は複数の電極（１２）の各々を接地基準に連続的に接続してそれらをアノードにする一方で、複数の電極の残りをカソードとして接続する。マグネトロンスパッタリング源を動作する方法は、複数のターゲット配列を与えるステップと、複数のターゲット配列をカソードとして作動するようにさせるステップと、複数のカソードの各々を一時的にアノードとして作動するよう連続的にさせるステップとを含む。
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第１の波長を有する蛍光励起光とともに用いるためのサンプル基板を提供する。レフレクタはベース上に配置される。レフレクタは、少なくとも２つの層を有する反射する多層干渉コーティングを含む。すべての層Ｌが４分の１波長の条件、すなわちｄＬ・ｎＬ＝（２Ｎ＋１）・１／４、（ここでｄＬは層Ｌの物理的な厚さ、ｎＬは第１の波長における層Ｌの屈折率、Ｎは０に等しいまたは０よりも大きい整数、１は第１の波長である）を満たすわけではない。層の厚さは、当該多層干渉コーティングの上部に配置された如何なる蛍光のサンプル材料も、当該基板上で入射する第１の波長を有する励起光によって形成された定在波の波腹の近くに配置されることを保証する。
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本発明は、スクリーン印刷によって２つの表面を接着する改良された方法を開示している。本発明による方法は、スクリーンが目詰まりする危険の低減につながり、それに伴って、塗布される接着剤膜の印刷品質の改善につながる。このことは、印刷媒体に粒子が添加されることによって実現される。これに加えて、粒子のサイズを選択することで、スペーサ部材としての粒子が、接着時に接着継目の厚みを定義されたとおりに規定するようにできる。これに加えて、接着されるべき各表面を定義されたとおりに接近させるための方法ステップが記載されている。
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工作物あるいは部品であって、組成（Ａｌ_yＣｒ_1-y）Ｘの少なくとも１層を含む層システムを有し、Ｘ＝Ｎ、Ｃ、Ｂ、ＣＮ、ＢＮ、ＣＢＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＢＯ、ＣＮＯ、ＢＮＯまたはＣＢＮＯでありかつ０．２≦ｙ＜０．７であり、上記層中の層組成は、実質的に一定であるか、または層厚にわたって連続的あるいは段階的に変化する。さらにその製造方法。
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プロジェクタのためのカラーホイールは、中心軸を中心として回転可能な、支持体に取り付けられた平坦で一体的なカラーフィルタセグメントを有する円筒形の支持体を備えている。該カラーフィルタセグメントは半径方向で回転軸の方を向くとともに、中心に対して同心的に配置された円環状の領域を支持体周辺部で形成しており、前記カラーフィルタセグメントの外周はそれぞれ少なくとも１つの切り込みを備える２つの半径方向領域を含んでいる。それにより、隣接する前記カラーフィルタセグメントの切り込みは共同して穴を形成し、前記支持体に設けられたピンが前記穴へ嵌合により嵌り込む。
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