真空における基板の取扱いのための基板プロセスシステムにおいて、プロセスモジュールの２つのリニアアセンブリは、一方が他方の上に重ねられ、かつ、少なくとも１つのリフトモジュールによって接続されるので、第１のセットから第２のセットへの搬送が可能になる。第１および第２のプロセスモジュールのセットを通る移動経路に沿って、リニア同期モータが設けられる。プロセスシステムに取付けられる、ローラと相互に作用するレールを有する基板搬送体は、リニア同期モータの引力によって垂直の位置で保持されている。
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スピンコーティング工程の前にまたはその間に、基板を熱的に、局所特定的に調整することによって、粘性の液体を基板（１）、たとえば半導体ウェハまたはデータ記憶媒体の表面にわたって分配するための方法および装置が示される。
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真空処理プロセスから所定の２次元の処理結果の平面分布を有する基板の表面を実現するために、不均一な密度分布のプラズマ（５）が発生され、このプラズマが所定の移動により基板（９）に対して相対的に移動し、プラズマ放電を供給する電気出力が時間的に変化される。
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多段階基板真空処理を簡素化し、柔軟性を改善するために、ロードロックおよび処理タワーＬＬＰＴ１はロードロック装置ＬＬＡならびに処理装置ＰＭＡを含む。運搬装置ＴＡにおいて、ロードロック装置ＬＬＡは一方では外部雰囲気ＡＴと、他方では真空雰囲気Ｖと連通する。プロセスモジュール装置ＰＭＡおよび運搬装置ＴＡ間の基板のハンドリングは開放部を介して行われる。
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垂直に配置された閉止可能なドア開口部（１０）を備える真空ロックは、次の各構成要件を備えており、すなわち、ａ）スライドドア（１）が開閉のためにドア開口部（１０）の平面と平行に、かつこれから若干間隔をおいて配置されており、ｂ）ドア（１）はその裏面で駆動ロッド（２）と作用接続されるとともに、ドア開口部に対して所定の間隔をおいて支承されており、ｃ）ドア（１）は誘導メカニズムを介して駆動ロッド（２）と連結されており、ドア開口部（１０）の領域にある障害物（７）によって閉止プロセスが妨げられると、ドア（１）が、ドア開口部（１０）を取り囲むシール部（４）へ横向きに圧着されるようになっており、ｄ）ドア（１）は、駆動ロッド（２）および／または駆動ロッド側の誘導メカニズムとばね部材（８）によって連結されており、このばね部材がドア（１）の重量をちょうど補償するようになっている。それにより、閉止プロセスでロック開口部へ意図せず差し込まれた場合に、怪我が起こり得ないことが保証される。
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スパッタ面（７）に沿ってマグネトロン磁界パターン（９）が周期的（Ｍ_y）に移動され、かつ基板（１１）がスパッタ面（７）を通過するマグトロンスパッタ成膜において基板に付着する材料量分布を最適化するために、磁界パターン（９）の周期的移動（Ｍ_y）と位相同期して、スパッタ速度が変調配列（３）によって変調される。
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本発明は、接点面の少なくとも部分上に析出された、少なくとも支持層と接着層から成るカバー層を有する差込み式もしくは締付け式接続としての使用のための銅含有合金から成る導電性材料に関し、その際、減摩層が４０原子％以上７０原子％以下の炭素含量を有する。 （もっと読む）

真空またはほぼ真空の条件下で使用するための浮上装置は、ガス用の複数の噴射点（１）および隣接する吸引点（２）を有する浮上プレート（３）を含み、空気ベアリング（４）を作り出して、それにより薄いプレート状基板（５）を支持する。さらに別の実施例は、支持された基板用の搬送機構、および／または浮上プレートを傾ける傾斜機構を含む。
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発明の工作物は、その表面の少なくとも部分上に、Ａｌ_l-a-b-c-dＣｒ_aＸ_bＳｉ_cＢ_dＺの組成を含む耐摩耗性ハードコートを特徴として有し、ここで、ＸはＮｂ、Ｍｏ、Ｗ、またはＴａからの少なくとも１つの元素であり、ＺはＮ、Ｃ、ＣＮ、ＮＯ、ＣＯ、ＣＮＯからの１つの元素または化合物であり、かつ、０．２≦ａ≦０．５、０．０１≦ｂ≦０．２、０≦ｃ≦０．１、０≦ｄ≦０．１である。このような耐摩耗性コーティングを堆積させるためのＰＶＤプロセスがさらに開示され、少なくとも１つの工作物が真空コーティングシステムに設置され、前記システムは低圧アルゴン雰囲気中で動作し、少なくとも１つの反応ガスの少なくとも一時的な添加とともに、少なくとも２つの金属または合金のターゲットを利用し、基材に負の電圧を加える。
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本発明は、１つの放射源と１つのフィルタとを備える自動車用赤外線照射装置、たとえば前照灯に関する。この装置は軸方向に８００〜１２００ｎｍの波長域の所定の強度の白色および赤外放射を送出し、フィルタは第１の角度下で放射源の第１の可視部分を透過させるとともに、第１の角度とは異なる第２の角度下で放射源の第２の可視部分を透過させることができ、透過させられた双方の部分はそれぞれ白色光を形成する。
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