【課題】 半導体チップの尖端バンプの高さを測定する。
【解決手段】 尖端バンプを含む複数の半導体チップが形成された半導体ウェハ２１の上方に面照射装置３３が配置されて、面照射装置３３が半導体ウェハ２１の上面に光を照射する。一対の撮像装置３４，３５が、半導体ウェハの斜め上方に配置されて、半導体ウェハ２１上の尖端バンプを含む半導体チップを斜め上方から撮像する。コンピュータ３６は、一対の撮像装置３４，３５によって撮像された一対の画像に基づいて尖端バンプの底から先端までの長さをそれぞれ検出して、前記検出した一対の長さと、一対の撮像装置３４，３５の光軸が半導体ウェハ２１の上面となす角度を用いて尖端バンプの高さを計算する。 （もっと読む）

【課題】 搬送路（搬送面）の繋ぎ目の隙間や段差をなくすことで、ワークの破損を防止し安定姿勢で高速搬送することが可能な構成のワークの整列搬送装置を提供する。
【解決手段】 ワークの整列搬送装置１は、ワーク移送面が形成され水平回転する回転式フィーダ９０と、前記移送路からワークを次工程に供給するためワーク搬送面が形成され水平回転する複数の搬送用ディスクＤ８を備えた直線式フィーダ７０から構成され、回転式フィーダ９０上で前記移送面が独立したワーク搬送路となるように区画する円弧状の整列壁Ｇから、直線式フィーダ７０上で前記搬送面が独立したワーク搬送路となるように区画する直線状の整列壁Ｊへと前記ワーク搬送路が引き継がれ、これら搬送用ディスクＤ８が上流側が上で下流側が下となるようにそれぞれの外周縁が一部重なって配されており、それぞれの外周縁同士の段差が０．１ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 ワークを従来よりも大幅に高速搬送し外観検査することが可能な構成のワークの整列搬送装置を提供する。
【解決手段】 投入用ディスクＤ１と、受け渡し用ディスクＦ１、Ｆ２と、前記投入用ディスクＤ１の外周に近接してワーク２０の移送路となる移送面を有する鍔部が形成された整列用ディスクＤ２を備え、前記投入用ディスクＤ１に形成された窪み部の凹状の内周面に投入されたワーク２０が、受け渡し用ディスクＦ１，Ｆ２にて掻き上げられて前記鍔部の移送面へと受け渡される回転式フィーダを用いた構成とされ、前記鍔部の移送面を内周側と外周側とに区画するためのガイド板Ｇが前記鍔部の移送面上に近接配置されており、前記ガイド板Ｇによって内周側移送路と外周側移送路に区画されながら、複数列で整列搬送される。 （もっと読む）

【課題】 微小ワークを検査し易いように所定間隔に揃えながら高速搬送することが可能であるとともに、ワーク吸着ミスが生じ難い構成の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 第１のインデクサ４がフィーダ３によって整列搬送されたワーク２０に背後上方から接近し当該ワークを追い越す際にエア吸着して掬い上げるようにして吸着固定して搬送して直接受け渡す構成とし、ワーク２０をいったん減速あるいは停止させる中継ガイド部材をなくして、ワーク搬送速度を落とさずに、その間隔を狭めることなくワーク２０を受渡しながら外観検査する。 （もっと読む）

【課題】 チップ部品（ワーク）をダメージやストレスを生じさせず、ワーク同士の重なりをなくし、大量供給して高速に搬送して、検査し易いように所定間隔に揃えることが可能なチップ部品の整列供給装置を提供する。
【解決手段】 第１の搬送路４によって搬送されたワークをＸ方向に移動させて第２の搬送路５の入口に移載する移載手段３と、移載されたワークをＹ方向に搬送する第２の搬送路５とを備え、前記移載手段３がワークをエア吸着してＸ方向に移動させた後エア脱着して第２の搬送路５の入口に移載し、第２の搬送路５の搬送面に形成された微細孔からＹ方向に向けて斜め上方にエアを噴出させてワークを浮上させながら搬送し、次工程に供給する。 （もっと読む）

【課題】装置の大幅な小型化を図りながら、被検査部品の種類や大きさ等を問わず安定して搬送させ、多角度的な撮像ができる部品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査部品２０を投入する所定形状の窪み部Ｋ１が形成された内側の回転テーブルＤ１と、内側の回転テーブルＤ１の外周に配された外側の回転テーブルと、外側の回転テーブルの外周に一体的に設けられた透明な鍔部と、被検査部品２０を透明な鍔部に受け渡すための受け渡し手段Ｆ１と、被検査部品２０を撮像する複数の撮像カメラＣ１、Ｃ２・・・とを備え、前記被検査部品２０を透明な鍔部に受け渡すため回転テーブルＤ１の上面Ｔ１ａと透明な鍔部の上面Ｔ２ａに複数のガイド部材Ｇが略螺旋状に配される。 （もっと読む）

【課題】 被検査部品（ワーク）の全ての面が多面的（多角度的）にガラスを介さずに直接撮像されるとともに、外観検査装置に供給された姿勢のまま、ワークが排出される部品の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査部品２０を吸引して搬送する少なくとも３つの回転円盤Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４と当該部品２０を撮像する複数の撮像カメラＣとを備える部品の外観検査装置であって、上記部品２０を載置状態で搬送する複数の回転円盤Ｄ２，Ｄ４は、それらの上面Ｄ２ａ，Ｄ４ａが同じ高さであり、かつ、駆動軸Ｊ２，Ｊ４が上向きとなる駆動手段Ｍ２，Ｍ４に連結され、上記部品２０を吊り下げ状態で撮像するために配される回転円盤Ｄ３は、その前後の搬送用の回転円盤Ｄ２，Ｄ４と平行であり、かつ、駆動軸Ｊ３が下向きとなる駆動手段Ｍ３に連結される。 （もっと読む）

【課題】 光沢のある金属製の棒状ワークの外観検査を高速で正確に検査する。
【解決手段】 第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２による搬送過程において金属製の棒状ワークＣに照明を照射する照明手段Ｒｅと、上記棒状ワークを撮影する撮像手段Ｓ１〜Ｓ６とを備え、第１の回転インデクサＩＤ１の外周に形成された外周溝ｖ１に上記棒状ワークＣの外周表面の半分を露出させる状態で収納し、第２の回転インデクサＩｄ２の外周に形成された外周溝Ｖ２に棒状ワークＣの残りの外周表面を露出させる状態で収納し、上記照明手段Ｒｅを上記棒状ワークの露出表面を囲むように複数の光源が配される円弧型の照明手段Ｒｅとして配し、この円弧型の照明手段Ｒｅによる照明を介して上記外周溝ｖ１（ｖ２）に収納された上記棒状ワークＣを撮像手段Ｓ１〜Ｓ６により撮像する。 （もっと読む）

【課題】 検査用回転ディスクの周囲のどの位置に配置されても、ワークを脱落させたり詰まらせることなく搬送溝に確実に供給（収納）する。
【解決手段】 外周にワークＣが配される搬送溝ｖ１が形成された検査用回転ディスクＩＤ１と、検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１にワークＣを供給する供給手段Ｆと、検査用回転ディスクＩＤ１の外周に配置される第１のガイド用ディスクＧ１を備え、上記第１のガイド用ディスクＧ１は、その外周に上記検査用回転ディスクＩＤ１の搬送溝ｖ１を覆うガイド溝Ｇｖが形成されて、検査用回転ディスクと同一方向に回転する。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送する各種の回転ディスとその駆動手段の安定姿勢が確保され、しかも、ワークの移送路に搬送異常が生じても素早く対応可能なように、ワークの全搬送状態を観察しながら検査することができるようにする。
【解決手段】 上記搬送ライン６に、搬送用回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３が水平に配され、上記ワーク検査部２１に検査用回転ディスク２２が水平に配され、これらの回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３，２２は、駆動軸Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ２２が上方に向けられた駆動手段Ｍｄ１，Ｍｄ２，ＭＤ３，Ｍ４と連結されている。 （もっと読む）