【課題】薄板基板のフィルムの初期剥離段階から、フィルムを基板から剥離しながら搬送する段階までに発生する基板の変形などを防止し基板に損傷を与えることなく、又剥離時の塵飛散で基板の品質を阻害しないフィルム剥離装置を提供することにある。
【解決手段】フィルム剥離段階において、基板前端部に上下面より基板を把持するクランプ具を押し付け、粘着テープで巻き上げられたフィルム先端部をフィルム保持具で把持しフィルムを剥離しながら基板反搬送方向に移動する機構を設置し、フィルム保持具の基板搬送方向に基板支持搬送ロ−ラ上面から基板を挟む基板支持圧接ローラを設置した。 （もっと読む）

【課題】ウエハの外周部に形成されたノッチがウエハ把持部に位置する状態でも、ノッチ部を把持部からずらすためのウエハの持ち替えとノッチの再検出動作を行うことなく、一度のウエハ把持とノッチ検出動作でノッチ合せを終了し、ノッチがウエハ把持部にある場合のノッチ合せ時間を従来に比べて大幅に短縮することが可能なエッジグリップ式ノッチ合せ装置を提供する。
【解決手段】ウエハのエッジグリップ式ノッチ合せ装置において、ウエハの外周部に形成されたノッチを検出するノッチ検出センサに光学式測長センサを使用し、このセンサがウエハの上方に位置し、ウエハが把持された状態でノッチの形成されたウエハ外周部までの距離を測定可能な位置に配置され、センサのＯＮ・ＯＦＦ信号や受光量の変化ではなく、センサからウエハまでの距離の変化を判定してノッチ位置を判断するように構成される。 （もっと読む）

【課題】基板から粘着テープで巻き上げられたフィルム先端部をクランプ具で把持し、フィルムを基板から剥離しながら搬送する段階で発生するフィルムの弛みによる基板への皺跡を与えることなく基板の品質を阻害しないフィルム剥離装置を提供することにある。
【解決手段】フィルム剥離段階で、粘着テープで巻き上げられたフィルム先端部をクランプ具で把持し該フィルムの幅方向に張力を与えるフィルム把持搬送機構を設け、基板を把持しフィルムを剥離しながら基板を基板搬送方向に移動させる基板支持搬送ローラ上面から基板を挟む圧接ローラを設置した。 （もっと読む）

【課題】
微小な磨耗粉や塵埃が基板表面に落下することがなく、歩留まりが低下しないフィルム貼り付け方法を実現する。
【解決手段】
フィルムの先端部に対応する先端吸着プレートと、先端以外のフィルムの領域に対応する吸着プレートとを備え、フィルムを吸着した吸着プレートを鉛直方向に起立させ、基板を鉛直方向且つ吸着プレート側に所定量傾斜保持し、フィルム先端位置に圧着ロールを押付けた状態で圧着ロールを鉛直方向下側に移動させることにより、フィルムと基板の角度がフィルムの先端から終端まで一定に保たれた状態で圧着ロールによりフィルムを基板に貼り付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】吸着保持力の微妙且つ複雑なコントロールを必要としなくてもフィルムが基板上に落下することがなく、簡便で確実にフィルムを基板に貼り付ける。
【解決手段】基板２の上方でフィルム１を吸着プレート３３と先端吸着プレート３４で保護フィルム７とは反対面側で傾斜させて吸着保持し、保護フィルム７に粘着テープ５５を貼り付けて、粘着テープ５５をフィルム１の先端部で逆進させて保護フィルム７の先端部を剥離させ、先端吸着プレート３４をフィルムの先端部から離脱させ、基板２の先端部に保護フィルムの先端部を剥離したフィルムの先端部を合せて圧着ローラ４６で加圧し、吸着プレート３３によるフィルムの吸着保持を解除し、基板２をフィルム１の先端部側を先頭として移動させつつ粘着テープ５５の移動で保護フィルム７を剥離するとともにフィルム１を基板２に供給し、圧着ローラ４６で基板２にフィルム１を貼り付ける。 （もっと読む）