説明

真空光学株式会社により出願された特許

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【課題】偏芯および面振を低減させ、高精度な回転制御が可能な中空型回転導入機を提供する。
【解決手段】ハウジング80に軸受83を固定した後に回転フランジ82に取付けることにより、軸受83の堅牢な固定及び調整を可能にし、偏芯および面振を低減させた。また、角度位置決め用エンコーダリング90を組み込み、角度読取装置91を用いることにより、高精度の回転制御を可能にした。また、駆動部88、89からの軸受83へのモーメント負荷の低減させるために、耐摩耗性、低摩擦性、および金属に対する非粘着性の特徴を有するフッ素ゴムOリング86を用いた。 (もっと読む)


【課題】各種の試料ホルダーを取り扱うことができ、製作や改良及び修理も容易であって、作業性に優れ、製作及び維持コストを低減することができる真空装置への試料搬送導入装置を提供すること。
【解決手段】可動パイプ15が直進運動により前進及び後退する直線導入機10と、試料を設置する試料ホルダー90を格納する試料ホルダー格納部30と、試料ホルダー格納部30の試料ホルダー受け板31とはめ合うことで試料ホルダー90を収容する真空槽53を形成する真空容器50とを備えた真空装置への試料搬送導入装置において、試料ホルダー格納部30を直線導入機10の可動パイプ15の先端部分に着脱可能に取り付け、かつ真空容器50を直線導入機10の本体11の先端部分に着脱可能に取り付けた。 (もっと読む)


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