説明

アプリシアテクノロジー株式会社により出願された特許

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【課題】本発明はエッチング処理装置で循環使用、あるいは、エッチング処理後、珪素除去装置で珪素成分を除去した燐酸溶液中の珪素濃度を弗化水素酸で分解し、発生した四弗化珪素(SiF4)を赤外吸収測定器で簡易に迅速かつ精度よく測定し、安定した珪素濃度管理が可能とする測定装置及び測定方法を提供すること。
【解決手段】稼働中の半導体基板処理装置においてエッチング液として循環使用されている燐酸溶液中の珪素濃度の測定方法であって、前記半導体基板処理装置から100〜180℃に加熱された一定量の燐酸溶液を抜き出し、これを急速に5〜50℃に冷却し、しかる後、急速に5〜50℃に冷却された該一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を添加して両者間の反応により四弗化珪素を生じさせ、更に、生成した四弗化珪素をキャリアガスにより気化させ、気化した四弗化珪素ガスの濃度を赤外吸収測定器により測定することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度の測定装置及び測定方法。 (もっと読む)


【課題】ダブルの供給系を設けることなく、ダブルの供給系と同様にスラリーの供給エンジンがダウンしても、処理中のウエハを完全に処理することができ、初期投資のコストを低減したまま、処理中のウエハの損害を出すことなく処理できるスラリー供給装置及び方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも一つのスラリー供給タンクと、スラリーをCMP装置に供給する供給エンジンと、供給タンク内のスラリーをCMP装置に供給し供給タンクに循環する循環ラインと、循環ライン内のスラリーをCMP装置に供給する分岐ラインと、分岐ラインに設けたバルブと、CMP装置内にセットされているウエハを処理するのに充分な量のスラリーを保持できる容量を有する分岐ラインに接続したバッファー部材と、供給エンジンが停止したときバッファー部材内の残留スラリーを加圧し、CMP装置に供給する加圧部材とよりなるスラリー供給装置及びスラリー供給方法。 (もっと読む)


【課題】安定した過硫酸塩水溶液を供給することが出来る、薬液供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】少なくとも1つの溶媒投入口を有する密閉された充填容器に一定量の過硫酸塩の固形物を充填し、当該充填容器の底部まで挿入した挿入管を用いて当該充填容器の底部まで溶媒を投入することで過硫酸塩の固形物を溶解し、溶解した過硫酸塩水溶液を前記充填容器より排出し、貯蔵用タンクへ投入するとともに、前記充填容器より排出する過硫酸塩水溶液の濃度を測定することで、所望の濃度とする為に不足した溶媒の量を計算し、過硫酸塩水溶液を前記貯蔵用タンクへ投入すると同時に、不足した量の溶媒を前記貯蔵用タンク内へ投入しながら所望の濃度の過硫酸塩水溶液を作成し、所望の濃度に調整した過硫酸塩水溶液を供給する薬液供給方法及び薬液供給装置。 (もっと読む)


【課題】使用後のドラムに残存するスラリー量を最少化するスラリー供給方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
1)使用中のスラリー供給タンク内のスラリーを、スラリー循環用ポンプにより循環ラインを介してユースポイトに供給、循環する通常工程と、
2)使用中のスラリー供給タンク内の液量が移送開始レベルになった段階で切替バルブを切り替え、使用中のスラリー供給タンク内のスラリーを、スラリー循環用ポンプにより循環ラインを介してユースポイトに供給、循環するとともに、使用中のスラリー供給タンク内に残存するスラリーの略全量を待機中のスラリー供給タンクに移送する移送工程と
を繰り返して行うことにより、使用中のスラリー供給タンクに残っているスラリーを待機中のスラリー供給タンクへ移送するスラリー供給方法及びその装置にある。 (もっと読む)


【課題】流動する燐酸溶液中に所望の量の珪素を簡単且つ、迅速に溶解させるエッチング液の調製方法、エッチング方法及びエッチング装置を提供すること。
【解決手段】液状のテトラエトキシシランを水または気体と混合した後、これを流動する燐酸溶液中に少量ずつ添加し、所望量のテトラエトキシシランを溶解させて燐酸溶液を調製することを特徴とするエッチング液の調製方法、エッチング方法及びエッチング装置を構成したことにある。 (もっと読む)


【課題】スラリーを使用する化学機械的研磨工程に、過硫酸塩を含む溶液を供給する方法であって、過硫酸塩の有効成分量を迅速に計測管理する薬液供給方法及び装置を提供する
【解決手段】粉末または固形物の過硫酸塩を溶媒に溶解して所望濃度の過硫酸塩溶液として、スラリーを使用する化学機械的研磨工程に供給する薬液供給装置であって、溶解直後における導電率(En)を測定することによって過硫酸塩溶液の初期濃度(Cn)を算出し、その後、薬液供給時における導電率(en)を測定し、薬液供給時における過硫酸塩溶液の分解変化率(ΔCn)/(ΔEn)を算出することにより、薬液供給時の過硫酸塩溶液の濃度(C)を計算して、酸化力の低下を管理する薬液供給方法及び装置を構成したことにある。 (もっと読む)


【課題】スラリーを使用する化学機械的研磨工程に、過硫酸塩を含む溶液を供給する方法であって、過硫酸塩の有効成分量を迅速に計測管理する薬液供給方法及び装置を提供する。
【解決手段】粉末または固形物の過硫酸塩を溶媒に溶解して所望濃度の過硫酸溶液として、スラリーを使用する化学機械的研磨工程に供給する薬液供給装置であって、溶解後に導電率を測定することによって過硫酸塩の成分分濃度を求め、その後pHの変化を計測することによって過硫酸塩の分解率を捉えることにより、分解後の有効過硫酸塩成分の濃度を計算して、酸化力の低下を管理する薬液供給方法及び装置を構成したことにある。 (もっと読む)


【課題】本発明は、各種基板をリンス液により洗浄処理した後、乾燥させる基板処理方法及び基板処理装置に関するものである。
【解決手段】リンス液吐出ノズルヘッドよりリンス液を基板主面の全面に行き渡せ、基板を洗浄する基板洗浄工程と、
前記基板洗浄工程が終了した前記基板を低速で回転させると同時に、リンス液吐出ノズルヘッドより、リンス液を吐出しながら前記基板の中心近傍から徐々に前記基板の外周へと前記リンス液吐出ノズルヘッドを移動し、リンス液を大きな液塊として前記基板上から排出させ、基板を乾燥する基板乾燥工程と、
前記基板乾燥工程が終了した前記基板の外周に残ったリンス液を飛散させるため前記基板を前記基板乾燥工程のときより高速で回転させる飛散工程を有することを特徴とする基板処理方法及び基板処理装置にある。 (もっと読む)


【課題】燐酸水溶液を使用する窒化珪素膜のエッチング液を対象とし、該エッチング液中において生成する珪素化合物の除去を極めて高効率で除去することが出来、工業的プロセスに一層適し、エッチング液の再生処理経費を低減することにある。
【解決手段】前記エッチング液を再生する方法において、エッチング槽から取り出したエッチング液が流れる配管流路に、複数のフィルターを並列、直列に交互に切り替えて接続し、前記複数のフィルターを並列、直列のいずれに接続する場合においても、前記取り出したエッチング液を、珪素化合物を蓄積した珪素化合物の珪素除去速度の高い濾材を有するフィルターに供給することにより、常に、珪素化合物の珪素除去速度を高い状態に維持することにある。 (もっと読む)


【課題】エッチング処理で循環使用している高温高濃度の燐酸溶液中の珪素濃度を前処理することなく、連続的に、簡易に且つ安価に測定し、エッチング装置を常に良好な処理が行える状態に管理可能とする測定装置及び測定方法の提供。
【解決手段】半導体基板処理装置の稼働中にエッチング液として使用されている燐酸溶液中の珪素濃度を測定するための装置であって、少なくとも反応槽と濃度測定槽とを有してなり、上記反応槽は、前記半導体基板処理装置から抜き出された一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を加えることで弗化珪素化合物を生じさせ、更に該弗化珪素化合物を蒸発させる反応ユニットを有し、且つ、上記濃度測定槽は、反応槽からの蒸発した弗化珪素化合物を脱イオン水に通気させて加水分解する加水分解ユニットと、通気した後の脱イオン水中の珪素濃度の変率を測定する測定ユニットとを有する燐酸溶液中の珪素濃度測定装置。 (もっと読む)


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