【課題】ピットと呼ばれる微細な加工ひずみが加工面に生ずるのを防止でき、ワークのエッジの断面形状が砥石形状で決定されることなく、断面形状精度が砥石の精度により左右されず、断面形状違いのワークの品種ごとに砥石交換をする必要がなく、また砥石がワークの下側にも自由に入り込め、砥石幅を広く保つことができ、加工時間が短く、砥石の寿命を長くすることができるワークの加工方法及び装置を提供する。
【解決手段】カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを研削加工することを最大の特徴とし、半導体ウェーハ等のワークのオリエンテーションフラットやノッチ等の加工を施すに際して溝のない砥石面でワークのエッジの各種の断面形状を作成することができるようにする構成を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ピットと呼ばれる微細な加工ひずみが加工面に生ずるのを防止でき、ワークのエッジの断面形状が砥石形状で決定されることなく、断面形状精度が砥石の精度により左右されず、断面形状違いのワークの品種ごとに砥石交換をする必要がなく、また砥石がワークの下側にも自由に入り込め、砥石幅を広く保つことができ、加工時間が短く、砥石の寿命を長くすることができるワークの加工方法及び装置を提供する。
【解決手段】カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを研削加工することを最大の特徴とし、半導体ウェーハ等のワークのオリエンテーションフラットやノッチ等の加工を施すに際して溝のない砥石面でワークのエッジの各種の断面形状を作成することができるようにする構成を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の加工テーブルで並行してウェーハを面取り加工し、スループットを向上させるとともに、砥石の総数を抑えて装置全体のコストやサイズを低減させ、維持管理も容易であるウェーハの面取り装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ１を戴置する複数の加工テーブル２と、上記ウェーハ１の周縁部を面取りするための複数種類の加工工程にそれぞれ対応した異なる加工特性を有する複数の砥石３、４、５、６と、上記各砥石３、４、５、６をそれぞれ上記加工テーブル２間で移動させる砥石移動手段とを有し、上記各砥石３、４、５、６が、それぞれ一つの加工テーブル２に接近してウェーハ１を面取り加工し、次いで他の加工テーブルに順次移動して加工することを繰り返すことにより、複数の上記ウェーハ１、…１を上記複数の砥石３、４、５、６が同時並行して面取りする。 （もっと読む）

【課題】従来のウェーハの面取り加工では、ウェーハ一周の面取り形状（断面形状）が均一であるが、ウェーハ製造の後工程処理方法では均一な面取り形状が円周位置ごとに変化してしまうことから、ウェーハ製造の後工程処理に応じたウェーハ面取り加工方法を提供することにある。
【解決手段】溝なし砥石をウェーハの周端部（エッジ）に接触させてウェーハを面取りする面取り加工方法であって、前記ウェーハと砥石をZ軸およびY軸方向に相対的に移動させてウェーハ全周で同一の断面形状を形成する移動軌跡を基準とし、
ウェーハ回転角度位置に応じてZ軸またはY軸のうち少なくとも1軸方向にウェーハと砥石の相対的位置を上記基準軌跡位置から変動させて加工する動作のために、圧電アクチュエータを使用して、ウェーハの回転角度位置に応じて異なる断面形状を形成することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【解決手段】２つの円筒部２１、２２が第１方向Ｘに沿って直列に配置されたボビンと、第１方向Ｘに直交する第２方向Ｙからボビンに取り付けられる２つのコアカバーと、２つのコアカバーがボビンに取り付けられた状態で２つの円筒部２１、２２間に形成される第１壁１１０と、を備えたトランス用構造体１であって、第１カバー及び第２カバーがボビンに取り付けられた状態で、ボビンの内側フランジ部２５、２５と、各コアカバーの仕切壁部及び屈曲板部３２ａとによって、第１壁１１０が構成されるものであり、第１壁１１０が、第１方向Ｘに直交する面内で円筒部２１、２２の全外周から外側に広がっている垂直壁１１１と、垂直壁１１１から第１方向Ｘに延びている被覆壁１１２、１１３と、を有している。
【効果】巻き線間の沿面距離及び空間距離を大きく出来る。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置において、液晶パネルの表示面上にて、タッチ操作並びに非接触式ＩＣカードの読み書き操作を行えるようにすることを目的としている。
【解決手段】液晶パネル２の表示面２ａの所定位置に、透明な導電性材料よりなると共に所定の周波数の電磁波を発信可能な膜状の非接触式ＩＣカード用透明アンテナ１０と、透明な導電性材料よりなる膜状の透明タッチセンサー電極１１と、を設けている。好ましくは、前記液晶パネル２は、前記透明アンテナ１０に対応する位置に、ＩＣカードをかざす箇所であることを示すアイコンを表示可能とすると共に、前記タッチセンサー電極１１に対応する位置に、接触する箇所であること示すアイコンを表示可能としている。さらに、前記透明アンテナ１０は、液晶パネルの表示面上の円又は楕円に概ね沿って面状に延びるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】取替作業を不要にできる研磨シートを提供すること。
【解決手段】研磨装置の回転テーブル上に貼り付けて用いられる、研磨シート１であって、円形の第１研磨シート片１２と、第１研磨シート片１２の表面に同心円状に設けられた、３個の研磨領域１１Ａ、２１Ａ、３１Ａと、を備えており、各々の研磨領域１１Ａ、２１Ａ、３１Ａは、均一な粒度の研磨材で構成されており、研磨材の粒度は、内側の研磨領域ほど小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】ウエハ上のパーティクル、傷、欠陥を、自動的に検査することができるウエハ外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ウエハに光束を照射する光源と、上記光源からの光が上記ウエハで散乱した散乱光を受け、この受けた散乱光を複数の光に分割する光分割手段と、上記光分割手段によって分割された上記複数の光のうちの１つの光を受光し、受光量を検出する光センサと、上記光分割手段によって分割された上記複数の光のうちの他の光に基づく上記ウエハの像を撮影するカメラとを有するウエハ外観検査装置である。 （もっと読む）

【課題】静電容量式のスイッチに操作感を与える。
【解決手段】指等の被検出体を電極により検出してスイッチを切り換える静電容量式のスイッチ本体と、該スイッチ本体を操作したときに操作感を与えるための操作キー部材とを備える。前記電極を、絶縁性のパネルの裏面に設け、前記操作キー部材を、前記パネルの表面に設ける。前記操作キー部材に、弾性変形可能な操作凸部を前記電極に対応して形成する。前記操作凸部を前記被検出体で押して弾性変形させたときに、該被検出体が前記電極により検出されるようにする。 （もっと読む）

【課題】電子機器ケースにおいて、各種内部コネクタに対し、カバーを共通化することにより、金型制作費を節約すると共に、金型及びカバー部品の管理を容易にする。
【解決手段】ケース本体１１は、概ね矩形状の底壁１２と、該底壁１２の一対の側壁１３，１４と、端壁１５と、を有すると共に、前記端壁１５と反対側の端部に第１の開口部２３が形成されている。基板１には、第１の開口部２３側の端部に、前記外部コネクタが接続可能な内部コネクタ３が設けられている。カバー３１には、ケース本体１１の第１の開口部２３及び端壁１５のいずれか一方側の端部に、上方から外部コネクタが挿入可能な第２の開口部４３が形成されている。カバー３１は、ケース本体１１に対し、第２の開口部４３が第１の開口部２３側に位置する第１の取付状態と、前記第２の開口部４３が端壁１５側に位置する第２の取付状態とに、選択的に取付可能となっている。 （もっと読む）