説明

エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト,トリュープバッハにより出願された特許

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【課題】改善されたアーク蒸着プロセスよって良好な性質を有する酸化硬質皮膜を経済的に析出させて提供する。
【解決手段】 本発明は、機能膜(32)として加工物(30)上でアーク−PVD法によって析出される硬質材料膜において、この膜が本質的に、周期系の亜族IV、V、VIの遷移金属およびAl、Si、Fe、Co、Ni、Co、Yの金属(Me)の少なくとも1つからなる電気的に絶縁する酸化物として形成され、かつ前記機能膜(32)が希ガスおよびハロゲンを含有しない硬質材料膜に関する。 (もっと読む)


【課題】被洗浄基板、あるいは、さらに処理される清潔な基板を製造するための、方法および装置を提供する。
【解決手段】電子源カソード(5)およびアノード機器(7)を備えたプラズマ放電機器を用いることによって、基板のプラズマエッチ洗浄が実行される。アノード機器(7)は、一方ではアノード電極(9)を、他方では、自身から電気的に孤立されている閉じ込め部(11)を備えている。この閉じ込め部(11)は、洗浄されるべき基板(21)の領域(S)に向けられた、開口部(13)を備えている。電子源カソード(5)およびアノード電極(9)は、供給源(19)を有する供給回路によって、電気を供給されている。この回路は、電気的に浮遊して操作される。 (もっと読む)


【課題】アーク蒸発ソースに基づいた製造システムに使用することができる経済的な問題を解決する。
【解決手段】本発明は、ターゲットとして実施され、アーク蒸発ソースの一部である第1の電極を有する真空処理システム内でワークピースを表面処理する方法であって、第1の電極によって、アーク電流を用いてアークを動作させ、ターゲットから、ワークピース上に少なくとも部分的に、かつ断続的に堆積させる材料を蒸発させ、ワークピースホルダとして実施され、ワークピースと共にバイアス電極を構成する第2の電極を有し、電圧供給部によって、バイアス電極にアーク電流と整合するようにバイアス電圧を印加し、したがって本質的に、表面上に材料が正味で蓄積されない方法に関する。 (もっと読む)


本願は、複合Al−Crターゲットの反応性陰極アーク蒸発、ならびに、合成されたAl−Cr−O層の核形成および相形成に関する。酸素分圧およびアーク電流のパルス動作が、ターゲット表面での金属間相および固溶体の形成に影響を及ぼす。基板箇所での三元酸化物の核形成は、ターゲット表面に形成された金属間化合物または固溶体によってある程度制御可能であるように思われる。したがって、基板箇所での特定の核形成プロセスは、酸素反応性ガスの分圧と組合せてターゲット組成を自由に選択できることによって引き起こされ得る。それはまた、酸素分圧がより高い状態で時折生じるターゲット表面での酸化物アイランドの成長に対する制御も可能にする。これは、層およびターゲット表面のX線回折分析によって立証される。 (もっと読む)


本発明は、固体本体表面の少なくとも部分の上に堆積され、物理蒸着法によって堆積されたAl−Cr−B−N個別層を多層構造中に含有する多層被覆システムであって、多層被覆システムの全体厚みの少なくとも部分において、Al−Cr−B−N個別層はTi−Al−N個別層と組合され、Al−Cr−B−NおよびTi−Al−N個別層は互いに交互に堆積され、Al−Cr−B−N個別層の厚みはTi−Al−N個別層の厚みよりも大きく、これにより多層被覆システムの残留応力は対応の類似のAl−Cr−B−N単層被覆の残留応力と比較してかなり低いことを特徴とする、多層被覆システムに関する。 (もっと読む)


本発明は、コーティング設備の副次面に適用されるべき洗浄法に関する。コーティングの前に、付着防止層(10)が副次面に塗布される。コーティング材料が付着防止層に付いた後、ドライアイス噴射またはCOスノー噴射によって副次面が洗浄される。
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【課題】(AlyCr1-y)Xコーティング工作物、たとえば鉋がけ工具(Zerspanungswerkzeug)、切削工具および成型工具あるいは機械製造および金型製造のための部品、ならびに工作物上にこのような層を析出するための方法を提供し、その際先行技術にあった問題を回避する。
【解決手段】工作物あるいは部品であって、組成(AlyCr1-y)Xの少なくとも1層を含む層システムを有し、X=N、C、B、CN、BN、CBN、NO、CO、BO、CNO、BNOまたはCBNOでありかつ0.4≦y<0.68であり、上記層中の層組成は、実質的に一定であるか、または層厚にわたって連続的あるいは段階的に変化する。 (もっと読む)


本発明は、チャンバ内で磁界を生成するためのコイル構造を備える真空処理チャンバに関するものであり、コイル構造は少なくとも1つの第1の部分コイルと第2の部分コイルとを含んでおり、第1の部分コイルと第2の部分コイルは、第1のコイルの少なくともそれぞれ1つの部分区域が第2のコイルの部分区域の形状を実質的に引き継ぐように、断面で見て相並んで特に1つの平面に位置しており、第2の部分区域に対する第1の部分区域の間隔は少なくとも場合により小さいほうの部分コイルの断面よりも小さいオーダーである。
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本発明は、摩耗および腐食からの保護が改善された、基板上のコーティングシステムに関する。本発明に従い、基板をダイヤモンドライクカーボン(DLC)層でコーティングする。このDLC層を、DLCコーティング材料と異なる材料を用いたさらなる層でコーティングすることにより、DLC層のピンホールを閉じる。
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【課題】少なくともAl/Cr比に関して調節可能な均質または変更可能な層組成を有しかつ少なくとも特定の用途においては従来公知の層を設けた工作物よりも高い耐摩耗性を有する工作物を提供する。
【解決手段】工作物あるいは部品であって、組成(AlyCr1-y)Xの少なくとも1層を含む層システムを有し、X=N、C、B、CN、BN、CBN、NO、CO、BO、CNO、BNOまたはCBNOでありかつ0.2≦y<0.7であり、上記層中の層組成は、実質的に一定であるか、または層厚にわたって連続的あるいは段階的に変化する。 (もっと読む)


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