【課題】簡単な構造を有するモノクロメータを提案して、このモノクロメータが簡単に調整できかつ濾波された粒子ビームの指向性ビーム値に対する不利な影響を有しないようにすること
【解決手段】荷電粒子用モノクロメータにおいて、粒子の拡散方向に相前後して直列に配置された複数のウィーンフィルタを有しており、このウィーンフィルタの一部は、別のウィーンフィルタに対して光軸の周りに９０°の回動角で回動して配置されていることを特徴とする荷電粒子用モノクロメータを構成する。 （もっと読む）