【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源１からの出発ビーム２を測定ビーム３と第１の参照ビーム４ａとに分割するビームスプリッタ５ａと、光の重ね合わせ手段と、第１の検出器８ａとを備える。重ね合わせ手段と第１の検出器８ａとは互いに連携する。物体７によって反射された測定ビームと第１の参照ビームとが第１の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ５ａは、出発ビーム２を測定ビーム３と、第１の参照ビーム４ａと、少なくとも第２の参照ビーム４ｂとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第２の検出器８ｂが備えられ、物体７によって散乱させられた第１の受信ビーム４ｂ’としての測定ビームと第２の参照ビーム４ｂとが第２の検出器８ｂの検出面で重ね合わされる。 （もっと読む）

【課題】コヒーレンス走査干渉計及びこのコヒーレンス走査干渉計を用いた物体の高さ形状測定するための方法に対して、測定精度や測定特性の再現性に関する改良を行なうことである。
【解決手段】光源２と、干渉計と、経路長変更ユニットと、検出面を有するカメラ３とが備えられている。経路長変更ユニットは、測定ビームと基準ビームの光路長を変更するように構成されている。経路長変更ユニットは、経路目盛１１と経路検出器１２とを有しており、経路目盛１１と経路検出器１２とは、経路長変更ユニットによる測定ビームの光路長変更または基準ビームの光路長変更あるいはその両方の光路長変更の際に、経路検出器１２の同期的な動きが経路目盛１１に対して相対的に行なわれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】最大可測振動周波数を改善したレーザドップラー振動測定技術を提案する。
【解決手段】物体１２によって反射された測定ビーム９と参照ビーム１０とを干渉させるための光学干渉装置と、測定ビームと参照ビームとの間の周波数差からビート周波数を生成する光学周波数シフタとを備えたヘテロダイン振動計。ビームスプリッタと前記光学周波数シフタとは元ビーム８を回折させるための音響光学変調器２として１つの光学素子によって構成されている。音響光学変調器は進入する元ビームが少なくとも２つの回折ビームとして回折次数１の第１の回折ビーム及び回折次数−１の第２の回折ビームに分割するように構成され、この２つの回折ビームの一方が測定ビームとなり、他方の回折ビームが参照ビーム１０となる。 （もっと読む）

【課題】より容易、迅速かつ効率的な物体の非接触式振動測定を可能にする方法および装置を提供することである。同時に、物体の振動測定の精度の向上も意図される。
【解決手段】ホルダ５に取り付けられた少なくとも１台のレーザ干渉計６ａ，６ｂ，６ｃを物体８上の前記測定点９を測定するための測定位置Ｍ１に移動させ、物体上の測定点に向かって前記レーザ干渉計から測定ビーム７ａ，７ｂ，７ｃ及び物体から散乱反射された前記測定ビームから振動データを算定し、この振動データを評価して、測定点の評価された振動データとして出力する。物体上の少なくとも１つの任意に前設定された既知の測定点を用いたレーザ干渉計の位置の較正が少なくとも１度行われ、任意の測定位置Ｍ１，Ｍ２における物体に対するレーザ干渉計の相対位置を算定するための変換関係が前記較正に基づいて作成される。 （もっと読む）

【課題】特に雑音信号の回避によって測定品質が改善された干渉計を備えた光学測定装置を提供する。
【解決手段】信号評価ユニット２と、コヒーレンス長１ｃｍ以下の光を発生する光源３と、少なくとも１つの検出器４ａ、４ｄとを含む干渉計を備えた、物体１の光学的測定を行うための光学測定装置。信号評価ユニットは検出器）の測定信号から物体１の運動データを算出するように形成された振動測定評価部２ｆを含む。焦点制御部２ｄによって制御される光路長を変化させる光路長調整手段１１は、測定ビームまたは参照ビームの光路長を前記焦点制御部の制御信号に応じて変化させる。焦点制御部は、光路長調整手段を制御して、測定ビームと参照ビームの光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】物体の運動とくに測定光線に対して実質的に垂直な運動ならびに測定光線と実質的に平行な運動のいずれもが測定される走査型顕微鏡を提供すること。
【解決手段】走査型顕微鏡は、信号検出部１２と信号記憶部１３とを備え、信号検出部は走査型顕微鏡の光路内に配置されて、反射光線は信号検出部に集束され、信号記憶部は信号検出部と接続されるとともに、信号検出部の測定信号からなる測定信号列を記憶するように構成され、その際、走査制御部１１は信号記憶部と接続されて信号記憶部を制御して、物体上のそれぞれの測定点につき、時間的に順次連続する少なくとも２つの前記測定信号を有する少なくとも１つの測定信号列が記憶される。 （もっと読む）

【課題】測定ビームによる測定物体へのエネルギー伝達の悪影響を減少させることを可能にする、物体の光学的測定方法及び光学測定装置を提供すること。
【解決手段】干渉計２０と、干渉計からの重畳ビームを入力する光検出器１６と、光検出器の測定信号を処理する信号処理ユニット１７が備えられた光学測定装置。干渉計は、ビーム制御信号入力部１８に印加されているスイッチング信号に応じて測定ビームを測定ビーム射出口１２から出射させるように構成され、かつ信号処理ユニット１７は前記ビーム制御信号入力部１８と接続されたビーム制御信号出力部を有し、測定信号の測定中のみに測定用の所定の光強度ならびに所定の角度で測定ビーム射出口１２からビームが出射されるように干渉計２０を制御する。 （もっと読む）

【課題】フォーカス調整装置を備える顕微鏡と光波干渉計とを備えた光学的測定装置においてより高い精度の測定が実現すること。
【解決手段】 顕微鏡が共焦点オートフォーカス顕微鏡として形成されるとともに、光源から発したフォーカスビームが対物レンズ１２を経て物体１とフォーカス検出器８とにフォーカスされるとともに、フォーカス調整装置１８とフォーカス検出器８とに連携しているフォーカス制御装置１７に前記フォーカス検出器８が測定信号を出力することで、この測定信号に応じてフォーカス制御装置１７が物体１の測定点が対物レンズ１２の焦点に位置するようにフォーカス調整装置１８を制御するように構成され、かつ光波干渉計はフォーカスビームをつくり出すための光源である。 （もっと読む）