【課題】高いコンタクト確実性及び動作確実性を有しており、これにより電気被検体の検査を誤りなく実施可能な、電気被検体の検査のための電気検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合された導体基板を備えており、この導体基板が、第１補強装置と機械的に結合されており、且つそれによって補強されている、電気被検体の検査のための電気検査装置に関する。導体基板（１２）を貫く少なくとも一つのスペーサ（３０）が、コンタクト部間隔変換器（７）と機械的に結合されており、且つ第１補強装置（２６）では傾斜調整手段（３４）を介して保持されることを企図する。 （もっと読む）

【課題】高いコンタクト確実性及び動作確実性を有しており、これにより電気被検体の検査を誤りなく実施可能な、電気被検体の検査のための電気検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コンタクト部間隔変換器を介して検査ヘッドと電気的に結合された導体基板を備えており、この導体基板が、第１補強装置と機械的に結合されており、且つそれによって補強されている、電気被検体の検査のための電気検査装置に関する。導体基板（１２）を貫く少なくとも一つのスペーサ（３０）が、コンタクト部間隔変換器（７）と機械的に結合されており、且つ第１補強装置（２６）では傾斜調整手段（３４）を介して保持されることを企図する。 （もっと読む）

【課題】小さくても、十分な接触力と高い電流負荷容量を確保出来る電気接点素子を提供する。
【解決手段】電気検査の対象物と接触方式により接点を形成するための、電気的な接触に利用される二つの端部領域２、３と、前記両端部領域２、３の間に位置する一つの縦長の中間領域４とを有している縦長の電気接点素子１に関する。前記中間領域４は、実質的に長方形の断面を有するとともに、その長手方向に沿って積層されて構成される。また、本発明は、関連する接触配列に関する。 （もっと読む）

【課題】極端な検査条件の下でも確実に被検体を検査できる電気検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、電気被検体(2)、好ましくはウエハ(3)を検査するための電気検査装置(1)に関し、この検査装置は、少なくとも1つの電気的接触システム(5)と、少なくとも1つの電気/電子部品(16)を備える少なくとも1つの電気接続装置(7)とを有しており、この接続装置は、被検体(2)とコンタクト可能な接触システム(5)をタッチ接触させるためのコンタクト面(13)を備えており、配線基板(9)および接続要素(8)を有する。電気/電子部品(16)が接続要素(8)の内部/表面にある。 （もっと読む）

【課題】電気的被検体とくにウェハを接触させるための接点装置を提供する。
【解決手段】接点装置は、コンタクトヘッドと接続装置とを有する。この場合、コンタクトヘッドは、被検体と電気的に接触可能なプローブ接点を有し、プローブ領域12に配分されたプローブ接点の位置が、コンタクトヘッドに属する少なくとも1つの案内要素9によって決められている。当該案内要素は、コンタクトヘッドの保持装置11に固定されている。この場合、プローブ接点はその被検体とは反対側が、接続装置の接点領域と、電気的に接触することができる。意図されているのは、案内要素9を個別セグメント17から構成し、当該個別セグメントはそれぞれが、プローブ領域の一部を構成し、そしてそれぞれが、固定支承22によって、保持装置および/または接続装置と結合されているものとすることである。 （もっと読む）

【課題】電気試験片を試験するための電気試験装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、電気試験片(2)と接触可能な接触装置(5)を直接接触させるための接触領域(12)を有しかつ支持機構(8)が関連付けられている電気接続機構(7)を備えた、電気試験片(2)、好ましくはウェハ(3)を試験するための電気試験装置(1)に関する。本発明は、ガイド(22)中で半径方向の温度調整遊びだけを許容する、支持機構(8)と接続機構(7)の相互の中心位置合せのための心合せ機構(20)を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接触装置の接触要素、特に針の耐用期間を決定的に延ばす接触装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、検査すべき電気被検体(25)、特にスズメッキされた接触部を備えた被検体(25)を接触させるための接触装置(1)に関し、この装置は、貫通孔(16、17、18、19)を有するガイド要素(2、3、4、5)を少なくとも2つ備えており、この貫通孔を通って接触要素(20)が基本的に軸方向に延びており、この接触要素は、ガイド要素(5)の被検体(25)に面した側で、被検体(25)に接触するために、ガイド要素から突き出ている。突出長(H)を適合させるために、ガイド要素(2、3、4、5)の軸方向間隔または被検体(25)に面したガイド要素(5)の軸方向位置を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】電気被験体(2)の検査用の、少なくとも1つのガイド穴(10,11,12)の内部を軸方向に変位可能であるとともに回転可能であるように案内されるようになっている、屈曲ワイヤの原理に基づき作動する少なくとも1つの接点要素(15)を有している電気接触装置(1)および電気接触方法において、簡単な構成で常に被験体との非常に良好な電気接触を保証すること。
【解決手段】前記接点要素(15)が、一定のオフセット(O)を、少なくとも1つの第1の向き(19)を持つ側方への撓み(18)の形態で有すること、および前記ガイド穴(10,11,12)が、少なくとも1つの第2の側方への向き(20)を持つ、前記接点要素(15)用の少なくとも1つのガイド部(13)を有すること、またその際に前記第1の向き(19)が前記第2の向き(20)とゼロと等しくない角度(α)で交わることが提案される。 （もっと読む）

【課題】被験体の検査のために被験体の確実で再現可能な接触を可能にする電気的接触装置を提供すること。
【解決手段】本発明は被験体の有接点式の電気的接触のための検査接点7と、接触装置3を検査機(プローバ)内に保持するために中間部品30を取り付けることができる支持装置14とを有する電気的接触装置3に関するものである。永続的モジュールユニット32を形成するために、支持装置14が前記接触装置3のみに属する独自の中間部品30と連結される。本発明はさらに、電気的接触装置3を有する電気的検査装置1に関するものである。 （もっと読む）

【課題】現在の温度に関係なく、確実にしかも優れた再現性で被験体の有接点式接触が実現されるようにする、電気検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被験電気部品(39)、特にウェハ(40)の検査用の、前記被験体(39)の有接点式の接触のために利用される接触装置(3)が挿入されている/挿入可能な検査機(2)(プローバ)を有する電気検査装置(1)に関しており、接触装置(3)と検査機(2)とを互いに対して心出しするための、半径方向の温度補償運動だけを許容するセンタリング装置(24)が備えられる。さらに本発明は、それに対応する方法にも関する。 （もっと読む）