エヌ・イー有限会社により出願された特許
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エアベアリング式エアシリンダ装置
【課題】パイプ体からなるシリンダ本体と、このシリンダ本体に嵌めた外周面からエアを噴出するエアベアリングを備えたエアピストンと、このエアピストンに結合したピストンロッドとを備えたエアベアリング式エアシリンダ装置において、シリンダ全長に比してロッドストロークを長くする。
【解決手段】従来リジッドであったエアピストン20とピストンロッド30との結合構造をフレキシブルな構造に改め、エアピストン20の軸部に形成した貫通穴21に挿通したピストンロッド30を軸方向に相対移動可能に支持する軸方向弾性結合手段23及び上記エアピストン20と、上記貫通穴21に挿通したピストンロッド30とを径方向に相対移動可能に支持する径方向弾性結合手段22とを設けた。
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ソレノイドバルブ
【課題】可動プランジャの往きと戻りのストローク差を軽減することができ、ひいては精度の高い流量制御が可能なソレノイドバルブを提供する。
【解決手段】本バルブは、ヨーク100にソレノイドコイル110を設け、ソレノイドコイル110の中心部にプランジャホルダ120を挿着している。プランジャホルダ120内には固定プランジャ130と可動プランジャ140が直列に設けられている。可動プランジャ140はボール部材160を介してニードル150の流入側開口部151を開閉するようになっている。固定プランジャ130と可動プランジ140の間にゴム板バネからなる第1の弾性材200を介設し、さらに第1の弾性部材200の周囲に波形バネからなる第2の弾性部材300を並列に介設し、これら第1および第2の弾性部材200,300の付勢力により可動プランジャ140をニードル150側に付勢する。
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エアベアリングシリンダ
【課題】ピストン及びピストンロッドを高精度で進退させることができるだけでなく、高精度で回転させることもできるエアベアリングシリンダを提供する。
【解決手段】軸部材6を軸方向に進退させるシリンダ本体2と、軸部材6をその軸回りに回転させるブラシレスDCモータ3と、軸部材6の回転角度を検出するレゾルバ4と、軸部材6の進退距離を検出するインダクトコーダ5とを備える。ブラシレスDCモータ3のマグネット32の長さは、軸部材6のストロークと巻線コイル35の直径との和にほぼ等しくなるように設定され、レゾルバ4の磁性体47の長さは、軸部材6のストロークと励磁コイル43及び出力コイル44(45)の直径和との和にほぼ等しくなるように設定されている。これにより、軸部材6の進退時における軸部材6の回転駆動や回転角度検出を可能にしている。
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平面移動ステージ装置
【課題】駆動案内機構を小型化することができ、駆動手段による複雑な静止制御が不要で、装置の製造コストを低く抑えた平面移動ステージ装置を提供する。
【解決手段】支持面2a上を、支持面2aに対して平行な方向の力を受けることによって移動可能な平面移動ステージ3と、平面移動ステージ3の底面を、支持面2aから浮上させた状態で支持する第1静圧軸受4と、平面移動ステージ3に、非接触で、支持面2aに対して平行な方向の力を付与する第2静圧軸受6を備えた第1フレーム5等とを備える平面移動ステージ装置1。第1フレーム5は、平面移動ステージ3の、支持面2aに対して垂直な軸線回りの位置決めを行う調芯手段20等を備えることが好ましい。第1静圧軸受4は、浮上状態にある平面移動ステージ3を支持面2aに向かって吸引する吸引手段を備えることが好ましい。
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